Эллипсометр

 

Изобретение относится к оптическим поляризационным приборам и может использоваться для экспрессною неразрушающего определения физических параметров (толщины пленок, их степени пористости , спектоов показателя преломления и поглощения, двулучепреломления, шероховатости и качества обработки поверхностей, химического состава, концентрации растворов и т.д) твердых и жидких материалов в различных областях науки и техники Эллипсометр содержит источник монохроматического излучения 1, расположенные последовательно по ходу пучка систему формирования пучка 2, элемент разделения пучков, модулятор и элемент объединения пучков, установленные с возможностью одновременно вращения держатель образца9анализатор10и приамно-регистрирующую систему, содержащую фоюприемник 11 и блок усиления, обработки и отображения информации 12 Для повышения точности измерений и увеличения отношения сигнал/шум, элементы разделения и объединения поляризованных пучков Б предложенном эллипсометре обьединачы в один элемент, выполненный е виде равнобедренной призмы 3 из двулучепреломляющсго материала ось которой расположена в , перпечдикупярной направлению распространения первоначального и проходящей через лингю перэсе-«ения плоскостей входной и ви одной боковых граней призмы idpar лелььо или перпендикуляоно основанию призмы, а на выходе призмы по ходу обык- ИОВРННОГО и необыкновенного пучков симметрично относительно указанной плоскости уст ановлены сферические или парабспические зеркала 4-7 при этом модулятор 8 установлен между зеркалами В эллипсометре реализуются малые потери излечения, высокая степень поляризации переключаемых пучков широкий спектральнкй диапазон 5 з п ф-лы, 5 ил (Л С ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ж)s 3 01 J 4/04

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTKPblTNRM

ПРИ ГККТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4469691/25 (22) 03,08.88 (46) 30.11.91. Бюл. N. 44 (71) Институт радиотехники и электроники

AH СССР (72) В.И.Ковалев (53) 535.8(088 8) (56) M.Abraham and А Jadjeddlne, The

influence of plasma waves on the dispersion

of surface plasrnons experimental evidence.

J ourn. of Physique, 48, 1987, р.267-275.

Ковалев B.È. и др, Эллипсаметрия с дискретной модуляцией состояния полярлзации. Труды конференции "Эллипсометрия в науке и технике", Новосибирск, 1987, с.4349. (54) ЭЛЛИПСОМЕТР (57) Изобретение относится к оптическим поляризационным приборам и может использоваться для экспресснога неразрушающего определения физических параметров (толщины пленок, их степени пористасти, спектаав показателя преломления и поглощения, двулучепреломления, шероховатости и качества обработки поверхностей, химического состава, концентрации растворов и т.д.).твердых и жидких материалов в различных областях науки и техники, Эллипсометр содержит источник монохраматлческого излучения 1, расположенные последовательна па ходу пучка систему

Изобретение относится к оптическим поляризационным приборам и может использоваться для экспресснага неразрушающего определения физических параметров (толщины слоев, спектров показа. теля преломления и поглощения, двулучеп„„50 „„1695145 А1 формирования пучка 2, элемент разделения пучков, модулятор и элемент объединения пучков, установленные с возможностью однавременнога вращения, держатель образца 9 анализатор 10 и приемно-регистрирующую систему, содержащую фотоприемник 11 и блок усиления, обработки и отображения информации 12.

Для повышения точности измерений и увеличения отношения сигнал/шум, элементы разделения и объединения поляризованных пучков с предложенном эллипсаметре абьединены в адин элемент, выполненный в виде равнобедренной призмы 3 из двулучепреламляющега материала, ось которой расположена в г.:ласкасти, перпендикулярной направлению распространения первоначального пучка и проходящей через линию пересечения плоскостей входной и выходной боковых граней призмы,; араллельна или перпендикулярна основанию призмы, а на выходе призмы па ходу обыкновеннога и необыкновеннога пучков симметрична относительно указанной плоскости установлены сферические или парабслические зеркала 4 — 7 при этом модулятор 8 установлен между зеркалами, В эллиг.саметре реализуются малые потери излучения, высокая степень поляризации переключаемых пучков, широкий спектральный диапазон. 5 з.п.ф-лы, 5 ил, реламления, концентрации рас - ooe и т.д.) твердых и жидких материало"- .. - личных областях науки и техники.

Известна паляризациа :- ческая установка. в которой последов; . :ьна па ходу лу Га расположены источник каллими1695145

20 рованного монохроматического излучения, элемент разделения поляризованных лучей, содержащий тонкую светоделительную пластину (СП) с полупрозрачным покрытием и алюминированное зеркало, расположенные под углом 45 к падающему на них излучению, два поляризатора с ортогональными азимутами направления поляризации, установленные в двух пространственно разделенных параллельных лучах, модулятор и элемент объединения поляризованных лучей в один, содержащий алюминированное зеркало и СП, столик для крепления образца и ОЭУ с регистрирующей системой, Диск модулятора прерывает пространственно разделенные лучи, поляризованные в плоскости падения излучения на образец и перпендикулярно ей, на различных частотах, Сигнал с ФЭУ поступает на селективные усилители, настроенные на эти частоты, на выходе которых регистрируется отношение сигналов, определяющее эллипсометрический параметр (tg ф = —, где Rp u Rs — модули коэфRs фициентов отражения по интенсивности излучения, поляризованного в плоскости падения излучения на образец и перпендикулярно ей соответственно.

К недостаткам этой установки относятся возможность определения только одного эллипсометрического параметра ф, низкое отношение сигнал/шум, обусловленное большими потерями в элементах разделения и объединения лучей, так как коэффициенты отражения и пропускания полупрозрачных СП составляют ЗОД, а общее пропускание пучков с ортогональными поляризациями меньше 9,ь. Остаточное двулуче- 40 преломление в материале СП и интерференция многокоатно отраженных лучей в тонкой СП приводят к температурным изменениям степени поляризации лучей и нестабильности, что понижает точность измерения ф, B эллипсометре после источника монохроматического излучения по ходу луча расположены система формирования слабо сходящегося или коллимированного пучка излучения, диафрагма с двумя отверстиями, обтюратор, два поляризатора, каждый из которых оптически связан с соответствующим отверстием в диафрагме и установлен с возможностью вращения вокруг направления падающего на них излучения, анализатор, и приемно-регистрирующая система.

Каждый из поляризаторов выполнен в виде последовательно установленных и оптически связанных двух параллельных зеркал с металлическим покрытием и двух отражательных пластин из полупроводникового материала, установленных под углом Брюстера к падающему излучению. Деление пучков на верхний и нижнии пучки диафрагмой, их последовательное прерывание и формирование двух линейно поляризованных лучей с различными азимутами поляризации с последующей регистрацией азимутов анализатора А1 и А, при которых наблюдается равенство сигналов на фотоприемнике, соответствующих переключаемым лучам, обеспечивают точность определения эллипсометрических параметров g и Л по воспроизводимости 0,05-0,1 в спектральном диапазоне длин волн от 05 до 2,5 мкм.

К недостаткам эллипсометра относится уменьшение отношения сигнал/шум из-за потерь излучения при диафрагмировании и при отражении от полупроводниковых пластин. Недостаточно высокая степень поляризации в видимой ближней ИК-области спектра приводит к уменьшению абсолютной точности измерений эллипсометрических параметров ф и Л . Эллипсометр не перекрывает важную область спектра от

0,25,до 0,5 мкм, Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является эллипсометр, содержащий источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходу пучка элемента разделения поляризованных пучков, модулятор, элемент объединения пучков и анализатор, установленные с возможностью вращения, и приемно-регистрирующую систему. Элементы разделения и объединения лучей содержат светоделительные пластины из ВаЕ2 и полированные пластины из легированного кремния, расположенные параллельно друг другу под углом Брюстера к падающему излучению, Наиболее точный вариант измерений на эллипсометре-измерения с дискретной (бинарной) модуляцией состояния поляризации, когда последовательно переключают два пучка с различными азимутами линейной поляризации и регистрируют азимуты анализатора А1 и Az, при которых наблюдается равенство сигналов на фотоприемнике, соответствующих переключаемым пучкам.

По значениям А1 и А2 определяются эллип-. сометрические параметры IP и Л . Точность определения ф и Л по воспроизводимости при измерениях с дискретной (бинарной) модуляцией состояния поляризации дости30

40

55 гает +0,03 и 0,05 соответственно. Основной недостаток зллипсометра — большие потери интенсивности, приводящие к снижению точности измерений и отношения сигнал/шум. Вычисления Отражения поляризованного излучения при наклонном падении по формулам Френеля показывают, что интенсивность пучка А, поляризованного пеопендикулярно плоскости чертежа, уменьшается на 60% при отражении от каждой из прозрачных пластин из ВаР, и на

30% при отражении от кремниевых пластин. Интенсивность пучка А после четырех отражений составляет 8% от интенсивности перпендикулярной компоненты пучка, падающего на первую светоделительнро пластину. Потери интенсивности пучка Б после прохождения через светоделительные пластины составляют около 40% для компоненты, поляризованной в плоскости чертежа, и около 85% для компоненты, поляризованной перпендикулярно плоскости чертежа.

Отношение интенсивностей компонент, а, следовательно, и азимут линейной поляризации пучка Б, определяются значением показателя преломления прозрачных пластин, которое изменяется с изменением длины волны излучения и температуры, Изменения азимута линейной поляризации с колебаниями температуры приводит к уменьшению точности измерений и отношения сигнал/шум, Большие потери интенсивности пучка А (- в !2 раэ) приводят к уменьшению точности измерений ф и Ь и отношения сигнал/шум, особенно при спектральных эллипсометрических измерениях, Изменение величины отношения интенсивностей пучков А и Б и азимута линейной поляризации пучка Б от длины волны приводит к необходимости сложных калибровок, что также понижает абсолютную точность эллипсометрических спектральных измерений. Степень поляризации пучков А и Б мала в спектральной области 0,25-0,5 мкм, что также уменьшает точность измерения ф и

Л, Эффекты деполяризации и остаточного двулучепреломления в прозрачных СП приводят к уменьшению степени линейной поляризации пучка Б и температурным нестабильностям, что также уменьшает абСОЛЮтНУЮ тОЧНОСтъ ИЗМЕРЕНИЯ ф И Л .

Целью изобретения является повышение точности измерения эллипсометри.ческих параметров Р и Л и повышение отношения сигнал/шум.

Поставленная цель достигается тем, что в эллипсометре, содержащем источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходу пучка элемент разделения поляризованных пучков, модулятор и элемент обьедин;-11ия пучков, ус- тановленные с возможностью одновременного вращения, анализатор и приемнорегистрирующую систему, элементы разделения и объединения поляризованных пучков обьединены в один элемент, выполненный в виде равнобедренной призмы из двулучепреломляющего материала, оптическая Ось которой расположена в плоскос-ги, перпендикулярной направлению распространения первоначального пучка и проходящей через линию пересечен1." плоскосгей входной и выходной б;;..вых граней призмы параллельно или пер1анрикулярно основанию призмы, а по ходу обь,.:.новенного и необыкновенного riy::êîR, выходягцих из призмы под углами фо и ре к первоначальному направлению пучка соответственно, расположены сферические либо параболические зеркала, установленные симметрично относительно указанной плоскссти, при этом модулятор установлен между зеркалами.

В предлагаемом эллипсометре, в отличие от известного, для разделения и Обьеди- нения поляризованных пучков вместо светоделительных пластин и полированных

ПЛаетИН ИЗ ЛЕГИРОВаННОГО КРЕМНИЯ ИСПОЛЬзуются г1ризма из двулучеllреломляющеco материала и систе1 а сфери вских iN! параболицеских зеркал, расположенные указанным выше образом, Благодзря этому в несколoKG раз уменьшаются потери излучения, достигается оолее высокая степень поляризации переключаемых пучков, что в совакупнос-,и позволяет повыс;:,ть ",Очность

Г измерении и отношение сигналгшум.

На фиг. . Приведена общая схема предлагаемсго зллипсометра; на фиг.2 — 5 — различные варианты выполнения узла разделения и обьединения поляризованных пучков света. Предлагаемый зллипсоме1р содержит источник монохроматического,и,лучения 1 iôèã,"1), систему формирования пучка 2, элемент разделения и абьединения пОляризованных пучк0в, вып0лненhûй в виде Оавнобедренной призмы 3 из двулу1епреломляющего материала, зеркала 4,5, установленные на выходе призмы 3 по ходу обыкновенного пучка Б, и 6.7, установленные на выходе поизмы по ходу необыкноВЕ11НОгО ПуцКа СВЕта Б, МОдулятОр 8, установленный между зеркалами 4,5 и,7, дегзжатель обоазца 9, ан".ëèçëòîð 10, установленный с возможнос1ью р.(ë11ë111ë вокруг оси отраженного OT об 1в.".1з пучка света, и приемно-регистрируощу1з систему, содержащую фотоприе1лн. - ; блок 12 уси1695145 ления, обработки и отображения информации. Призма 3 и зеркала 4,5,6,7 установлены с возможностью одновременного вращения вокруг оси первоначального пучка света, Призма 3 может быть выполнена из СаСОз, MgFz, CdS и т.п. в зависимости от длины волны рабочего излучения. Источник монохроматического излучения 1 может быть выполнен в виде лампы накаливания и монохроматора либо ввиде лазера,,Система формирования пучка 2 может быть выполнена из одной или нескольких линз либо зеркал, Оптическая ось призмы 3 расположена в плоскости СС, перпендикулярной направлению распространения первоначального пучка излучения и проходящей через линию пересечения плоскостей входной и выходной боковых граней призмы 3, параллельно или перпендикулярно ее основанию. Зеркала 4,5,6 и 7 выполнены сферическими или параболическими и расположены симметрично относительно плоскости СС, являющейся плоскостью симметрии, Зеркала 4,5 (фиг.2), установленные по ходу обыкновенного пучка света ориентированы так, что угол между осью этого пучка и нормалью к поверхности данного зеркала (4 или 5) в точке пересечения оси с зеркалом составляет pef2, где уъ — угол между первоначальным направлением распространения пучка света и направлением распространения обыкновенного пучка на выходе призмы 3. Зеркала 6,7, установленные по ходу необыкновенного пучка света, ориентированы так, что угол между осью этого пучка и нормалью к поверхности данного зеркала (6 или 7) в точке пересечения оси с зеркалом составляет )ре/2, где ре угол между первоначальным направлением распространения пучка света и направлением распространения необыкновенного пучка света на выходе призмы 3. Углы ре и ре определяются обыкновенным по и необыкновенным пе показателями преломления материала призмы 3 и углом О при ее вершине из соотношений р, = arcsin (no sir) (О - po ) ) —, О

sin g где р, = arcsin (п, 0 д7е = агсз)п (пе sir) (0 фе ) ) ту, О

sin где ъ = arcsin (В варианте, показанном на фиг.2, зеркала

4,5,6 и 7 установлены на расстояниях F> и Fz

or плоскости симметрии СС, равных их фокусным расстояниям. Модулятор 8 выполнен в виде обтюратора, диск которого расположен в плоскости симметрии СС. В диске выполнено две системы отверстий с расстоянием между центрами отверстий по радиусу диска, равном расстоянию между осями пучков А и В, Для скоростных измерений может быть использована схема, показанная на фиг.3, в которой модулятор 8 выполнен в виде двух электрооптических модуляторов 13 и 14 с установленными перед ними полуволновыми пластинами 15 и

16. Злектрооптические модуляторы эффекТМВНо работают при использовании коллимированных пучков света. Для формирования их зеркала 4 и 6 устанавливают на расстояниях от призмы 3, равных их фокусным расстояниям. При этом по ходу первоначального пучка света на выходе призмы 3 установлен формирователь 17 пучка. На фиг,4 приведен вариант схемы, обеспечивающий наибольшую точность измерений в широком интервале температур и длин волн, В этом варианте, в отличие от варианта на фиг.З, каждое зеркало 4,5,6,7 установлена относительно плоскости симметрии

30 СС на расстоянии Х, определяемом из выражения

50 5

/ где Х вЂ” расстояние от призмы 3 до данного зеркала;

F — фокусное расстояние данного зеркала, Модулятор 8 может быть выполнен в виде обтюратора. При работе с широкоапертурными пучками, с призмой 3, имеющей малый угол О, и с длиннофокусными зеркалами удобно использовать схему, показанную на фиг,5. В отличие от схемы 5, показанной на фиг.2, она содержит два сферических или параболических зеркала 18 и

19, установленных на расстояниях ат призмы 3, равных их фокусным расстояниям, при атом зеркала ориентировaíû так, что углы между осями обыкновенного и необыкновенного пучков и нормалями к поверхности зеркала в точках пересечения осей этих пучков с зеркалами составляют соответственно

po/2 и Ое/2

Предлагаемый эллипсометр был изготовлен в модификациях по фиг.1,2 и 5 и опробован в лабораторных условиях. При этом в качестве источника излучения ис1695145

25

35

40 ванный пучок излучения, который поступает 50

55 пользовались лампа накаливания КГМ 70х9 и монохроматор ДМР-4 или Не-Ne лазер

Лà — 79. Призма 3 была изготовлена иэ кальцита, а угол 0 варьировался в различных вариантах от 10 до 20О. В каче=тве фотоприемника 11 использовались ФЭУ 100, кремниевый фотодиод ФД вЂ” 256 и фотосопротивление из PbS. Рабочий диапазон волн эллипсометра 0,25-2,5 мкм.

Эллипсометр работает следующим образом.

Монохроматическое излучение от источника 1 поступает на систему формирования пучка 2 (фиг.1), Сформированный пучок излучения разделяется призмой 3 на обыкновенный и необыкновенный пучки. которые зеркалами 4 и 6 направляются параллельно первоначальному пучку в противоположную сторону. Зеркалами 5 и 7 обыкновенный Б и необыкновенный В пучки направляются на призму 3 и совмещаются в один пучок, Модулятор 8 последовательно прерывает пучки Б и В, обеспечивая на выходе призмы 3 переключение пучков с ортогонапьными азимутами линейной поляриэации Р1 и Р2, направляемых на исследуемый образец. Отраженное от образца излучение проходит через анализатор 10 с азимутом оси пропускания А на фотоприемник 11. Сигнал фотоприемника усиливается, обрабатывается и отображается в блоке 12, В вариантах, показанных на фиг.2,4 и 5 зеркала фокусируют обыкновенный и необыкновенный пучки в плоскости симметрии СС, что позволяет существенно увеличить число отверстий в обтюраторе,, расположенном в этой же плоскости, увеличить частоту модуляции излучения f, а, следовательно уменьшить шум типа 1/f и увеличить отношение сигнал/шум. Отметим, что сферические (либо параболические) зеркала осуществляют инверсию пучков излучения, проходящих через призму 3 первый и второй раз, Таким образом, осуществляется идентичность оптического пути при двух прохождениях в призме nо всему сечению пучка, В варианте узла для разделения и объединения поляризованных пучков излучения, приведенном на фиг.2, система 2 формирует коллимирона призму 3, где разделяется на обыкновенный и необыкновенный пучки. Зеркала 4 и 6 фокусируют эти пучки в плоскости СС. Зеркалами 5 и 7 формируются колпимированные пучки и направляются на призму 3, совмещающую эти пучки.

В варианте, показанном на фиг.3, исходный пучок фокусируется системой 2 на призму 3, разделяется на обыкновенный и необыкновенный пучки, которые коллими5

20 руются зеркалами 4 и 6, Полувопновые устройства 15 и 16 поворачивают плоскость поляризации пучков Б и В на 90", В отсутствие напряжения на электрооптических модуляторах 13 и 14 поворот на 90 приводит к гашению пучков на выходе призмы 3 в направлении первоначального пучка. При подаче импульсов электрического поля на электрооптические модулятора 13 и 14 на выходе призмы формируются импульсы излучения с ортогональными азимутами линейной поляризации Р1 и Рг, задаваемыми азимутом блока призмы, жестко связанной с зеркалами, модуляторами и полуво новыми устройствами, На фиг.4 представлен вариант, когда и"чок излучения фокусируют на призму 3, а зеркала 4 и 6 образуют иэображения точки фокусировки в плоскости СС. Зеркала 5,6 направляют пучки на призму 3 в точку фокусировки, формирователь 17 пучка формирует коллимированный либо сходящийся пучок излучения. Особенностью схемы является постоянство положения точек фокусировки в плоскости симметрии СС при изменении длины волны излучения il и температуры Т,.что повышает точность и отношение сигнал/шум в широком интервале изменения А и Т.

В варианте узла разделения и сведения поляризованных пучков, показанном на фиг.5, используют два зеркала для упрощения конструкции и реализации измерений с широкими пучками излучения для повышения отношения сигнал/шум. Коллимированные пучки излучения расщепляются призмой 3 на обыкновенный и необыкно" венный пучки, зеокалом 16 направляются параллельно первоначальному пучку в противоположном направлении, прерываются обтюратором 8 и зеркалом 19 коллимируются и направляются на призму 3, совмещающую пучки. При д 10 и (ро — у е ) 5 1 пучки после второго прохождения призмы 3 совмещаются с точностью до 0,01" и практически идентичны.

Измерения злпипсометрических параметров g> И Л выполняются следующим образом. При калибровке эллипсометра в положение "на просвет" (без образца) с помощью изменения азимута анализатора 10 определяется отношение а итенсивностей переключаемых пучков с установленными значениями азимутов линейной поляризации (например, Pi =- 30, Р— 120 ) по формуле

cos (Р - А„ )

cos (А„ Р1 ) 1695145

12 где Ао — азимут анализатора, соответствующий равенству сигналов на фотоприемнике, индуцированных переключаемыми пучками, После калибровки устанавливают образец под углом р к падающему излучению, а 5 блок анализатор — фотоприемники поворачивают на угол 2 р. Изменяют азимут анализатора 10 и определяют значения азимута анализатора А1 и А2, при которых наблюдается равенство сигналов на фотоприемнике, 10 соответствующих переключаемым пучкам с азимутами Pi и Р2. Зллипсометрические параметры ф И Лопределяются по формулам

tgQ= (3)

cos Л (4)

Исследование точности и чувствительности 25 измерения А1, Az, ф И Лс помощью соотношений (3) и (4) позволяет выбрать оптимальные значения а, Р1 и Р2 для исследования данных образцов. Оптимальные значения а можно установить с помощью изменения 30 азимута дополнительного поляризатора, устанавливаемого после системы формирования пучка 2, При спектральных эллипсометрических измерениях использование дополнительного поляризатора не обяза- 35 тельно, Приведем сравнение точности и величины отношения сигнал/шум, полученных при измерениях на известном эллипсометре и лабораторных макетах спектрального и лазерного эллипсометров, 40 соответствующих данному изобретению, Б измерениях на известном эллипсометре (прототип) погрешности определения фи Л по воспроизВодимости 0,03 и й0,05 соответственно, а абсолютная точ- 45 ность измерения ф И Л +0,1 . На предлагаемом эллипсометре точность измерения ф и Л по воспроизводимости +0,003 и . 0,006 соответственно, а абсолютная точность измерения р и Л- д0 + 0,050, 50

Отношение сигнал/шум повышается в 5 — 7 раз по сравнению с прототипом вследствие значительного снижения по- терь интенсивности излучения в элементах разделения и объединения поляризованных 55 пучков, исключения температурной нестабильности иэ-за остаточного двулучепреломления в светоделительных пластинах, а также увеличения апертур рабочих пучков.

Формула изобретения

1. Зллипсометр, содержащий источник монохроматического излучения, расположенные последовательно на оптической оси систему формирования излучения, элемент разделения излучения на обыкновенный и необыкновенный пучки, модулятор и элемент Обьединения пучкОВ, установленные с

Возможностью Одновременного вращения, анализатор и приемно-регистрирующую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений и увеличение отношения сигнал/шум, элементы разделения и объединения пучков обьединены в один элемент, выполненный в виде равнобедренной призмы из двулучепреломляющего материала, оптическая ось которой расположена в плоскости, перпендикулярной направлению распространения излучения и проходящей через линию пересечения плоскостей входной и выходной боковых граней призмы, на выходе призмы по ходу обыкновенного и необыкновенного пучков симметрично относительно указанной плоскости установлены сферические или параболические зеркала, при этом модулятор расположен между зеркалами, 2. Эллипсометр по п,1, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что по ходу обыкновенного и необыкновенного пучков установлено, соответственно, по два зеркала, ориентированные так, что угол между осью каждого и нормалью к поверхности зеркала в точке пересечения оси пучка с зеркалом составляет pc/2 для обыкновенного и

3. Зллипсометр по п.2, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что зеркала установлены на фокусных расстояниях от указанной плоскости симметрии, 4. Эллипсометр по п.2, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что зеркала установлены на фокусных расстояниях от призмы, 5, Эллипсометр по п.1, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что каждое зеркало установлено относительно плоскости симметрии на расстоянии Х, определяемом из выражения

1 1 1 — + — = -г-, где Х вЂ” расстояние от призмы

Х Х до соответствующего зеркала, F — его фокусное расстояние, 6. Эллипсометр по п.1, о т л и «ю щ ий с я тем, что по ходу обыкновенного и необыкновенного пучков установлено по

1695145 одному зеркалу симметрично плоскости симметрии на расстояниях от призмы, равных фокусным расстояниям зеркал, при этом зеркала установлены так, что углы между осями обыкновенного и необыкновенного пучков, и нормалями к поверхности зеркал в точках пересечения осей пучков с зеркалами составляют соответственно уЪ/2 и p,/2 .

1695145

1695145

Составитель В.Ковалев

Техред М.Моргентал

Редактор Н,Коляда

Корректор О.Кравцова

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 4155 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5