Устройство для металлизации в вакууме

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Gaea Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М

БИ1). .

Кч 48Ь,13ок

Заявлено 24. IX.1964 (№ 922248/22-2) с присоединением заявки ¹

Приоритет.ЧПК С 23с ! ДК 621.793.73: 621.793.

14 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 18.XII.1965. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 8. II.1966

Авторы изобретения

Х. Ф. Рамхен и Е. М. Симонов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ВАКУУМЕ

Известны устройства для металлизации в вакууме, в которых детали помещают в кассетах, вращающихся с помощью карусели вокруг испарителя. В тех случаях, когда металлизации должна быть подвергнута только часть поверхности деталей, применяют специальные приспособления для экранирования их нерабочей поверхности.

В описываемом устройстве кассеты выполнены в виде пластин со штырями, на которые навешиваются детали. Такие кассеты обеспечивают прижатие нерабочей поверхности деталей к пластинам, а все устройство конструктивно выполнено проще.

На чертеже схематически изображено описываемое устройство.

В вакуумной камере 1 на фланце 2 смонтирована карусель 3 со шкивом 4, получающим вращение от привода через клиноременную передачу. Полый вал 5 карусели вращается в двух шарикоподшипниках. В продольные пазы стоек б карусели вставляют вертикально кассеты 7, выполненные в виде пластин со штырями, на которые навешивают детали 8, подлежащие металлизации. K змеевику 9, внутрь которого через полый вал

5 подается холодная вода, припаяны медные пластины 10. Последние плоскими пружинами 11 прижимаются к кассетам, Флапцы 12 соединяют вакуум-камеру с фланцами вакуумного агрегата и распределителя вакуумной системы.

Испаряемьш материал укладывают на полочки зигзагообразного нагревателя-испарителя 18 (кро»e верхней и нижней полочек, которые служат экраном). Ток подается к испарителю по вводу 14.

11о окончании подготовки камеры ее закрываlот крышкой, создают Ва куем Il производт! 1 ионизационную очистку и нагрев испарителя.

После этого металл плавится, испаряется и кристаллизуется на поверхности покрываемых

11 деталей.

В период ионизационной очистки и кристаллизации карусель вращается, и под действием центробежной силы нерабочая поверхность деталей прижимается к пластинам.

Предмет изобретения а стройство для металлизации в в|1кууме, содержаlцее на к 3 ъ!нук) наъ|еру, зигзагооор аз. ныи испаритечь и кару сель с Охлаждс|емыми

25 кассетами, ат.тичающеесл тем, что, с целью упроще|шя конструкции, кассеты выполнены в виде пластин со IllrblplliIII;Irlÿ навешивания дета,чеи,

Устройство для металлизации в вакууме Устройство для металлизации в вакууме 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники
Наверх