Устройство перемещения подложкодержателя

 

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки. Цель достигается тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, жестко связанном с неподвижным основанием с возможностью вращения относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертикальном направлении две тяги-привода, устройство также снабжено вторым подложкодержателем, установленным на первом с возможностью осевого вращения, который связан с вводом вращательного движения посредством дополнительного упругого сильфона, герметично связанного с вводом вращения и вторым подложкодержателем. 2 ил.

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме, а более конкретно - к устройствам перемещения подложкодержателя.

Известно устройство перемещения подложкодержателя [1], содержащее механический привод, подложкодержатели с возможностью их планетарного вращения с помощью механического привода.

Недостатком аналога является большая неравномерность нанесения тонких пленок за счет того, что закон планетарного вращения подложек является жестким.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения подложкодержателя [2], содержащее привод перемещения, подложкодержатель с подложками и неподвижное основание. Установленные под углом 120o по отношению друг к другу подложкодержатели могут вращаться вокруг собственной оси и обкатываться по направляющей относительно испарителя, получая движение от привода карусели. Таким образом, подложки имеют сложное планетарное движение.

Недостатком прототипа является неравномерность нанесения тонких пленок за счет того, что закон перемещения подложек с подложкодержателем является жестким, в результате чего не представляется возможным варьировать положением подложкодержателя относительно источника распыляемого материала по любому закону движения.

Цель изобретения - обеспечить возможность снижения неравномерности толщины пленки за счет варьирования положения подложкодержателя относительно источника распыляемого материала по заданному программатором закону движения с возможностью его изменения.

Эта цель достигается тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, жестко связанном с неподвижным основанием, подложкодержатель установлен на сильфоне с возможностью реализации вращательных движений относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертикальном направлении две тяги-привода, шарниры на неподвижном основании - цилиндрические, а на подложкодержателе - сферические, причем шарниры на неподвижном основании и подложкодержателе расположены под углом 90o относительно оси сильфона, устройство перемещения дополнительно снабжено вторым подложкодержателем, установленным на первом с возможностью осевого вращения, второй подложкодержатель связан с вводом вращательного движения посредством дополнительного упругого сильфона, герметично связанного с вводом вращения и вторым подложкодержателем.

Введение в устройство перемещения подложкодержателя двух сильфонов, второго подложкодержателя, двух тяг-приводов и ввода вращательного движения обеспечивает возможность варьирования положения второго подложкодержателя относительно источника распыляемого материала по трем угловым координатам: вокруг осей X, Y, Z.

Сопостовительный анализ заявляемого устройства перемещения подложкодержателя и прототипа показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".

Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники позволило выявить в нем совокупность признаков, отличающих заявляемое техническое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 показана схема устройства перемещения подложкодержателя; на фиг. 2 - вид сверху устройства.

Устройство перемещения подложкодержателя (фиг. 1) содержит тяги-приводы 1 поступательного перемещения, подложкодержатель 2 с подложками 3 и неподвижное основание 4. Подложкодержатель 2 установлен на упругом элементе - сильфоне 5, жестко связанном с неподвижным основанием 4. Подложкодержатель 2 установлен на сильфоне 5 с возможностью реализации вращательных движений относительно горизонтальных осей координат. Между подложкодержателем 2 и неподвижным основанием 4 шарнирно закреплены в вертикальном направлении две тяги-привода 1, шарниры на неподвижном основании 4 - цилиндрические 6, а на подложкодержателе 2 - сферические 7, причем шарниры 6, 7 на неподвижном основании 4 и подложкодержателе 2 расположены под углом 90o относительно оси сильфона 5 (фиг. 1). Устройство перемещения (фиг. 1) дополнительно снабжено вторым подложкодержателем 8, установленным на первом 2 с возможностью осевого вращения, например с помощью роликов 9, установленных на раме 10.

Второй подложкодержатель 8 связан с вводом вращательного движения 11 (контактным) посредством дополнительного упругого сильфона 12, герметично связанным с вводом вращения 11 и вторым подложкодержателем 8 посредством торцевой заглушки 13.

Устройство перемещения подложкодержателя работает следующим образом.

Подложки 3 закрепляются на втором подложкодержателе 8, который вращается относительно осей X, Y, Z. Причем вращение вокруг осей носит вид возвратно-вращательного на угол до а вращение вокруг Z - непрерывно-вращательное. Причем координатные оси X, Y, Z следует рассматривать как подвижные. Применение предлагаемого устройства перемещения подложкодержателя позволяет снизить неравномерность толщины пленки за счет варьирования положения подложкодержателя относительно источника распыляемого материала.

Источники информации: 1. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники в 10 кн.: Учеб. пособие для ПТУ. Кн. 6. Нанесение пленок в вакууме/ В.Е.Минайчев. - М.: Высш. шк., 1989, 110 с.: ил., с. 89 - 90.

2. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники в 10 кн. Кн. 7. Элионная обработка. Учеб. пособие для ПТУ/ О.С.Моряков - М.: Высш. шк., 1990, 128 с.: ил., с. 50.

Формула изобретения

Устройство перемещения подложкодержателя, содержащее привод перемещения, подложкодержатель с подложками и неподвижное основание, отличающееся тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, связанном с неподвижным основанием, с возможностью вращения относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертикальном направлении две тяги - приводы, шарниры на неподвижном основании - цилиндрические, а на подложкодержателе - сферические, причем шарниры на неподвижном основании и подложкодержателе расположены под углом 90o относительно оси сильфона, устройство перемещения дополнительно снабжено вторым подложкодержателем, установленным на первом с возможностью осевого вращения, второй подложкодержатель связан с вводом вращательного движения посредством дополнительного упругого сильфона, герметично связанного с вводом вращения и вторым подложкодержателем.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках

Изобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения ионно-плазменным напылением защитно-упрочняющих и декоративных покрытий на изделиях

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в установках для изготовления приборов с селеновым покрытием, наносимым методом термического испарения или ионного распыления

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий, в частности к кассете для обрабатываемых деталей. Несколько дисков (7) кассеты расположены вдоль центрального вала и снабжены держателями (8), равномерно распределенными по окружности, наклоненными в направлении наружу и предназначенными для установки в них обрабатываемых деталей. Диски (7) опираются на окружающее их кольцо (5). Расположенные последовательно кольца (5) образуют приблизительно цилиндрическую оболочку, предотвращающую нежелательное нанесение покрытия на диски (7). Оболочка имеет группу отверстий для держателей (8) диска (7), равномерно распределенных по окружности на одной и той же высоте, и каждое из отверстий образовано верхним вырезом (14) в кольце (5), на котором установлен диск (7), и смежным нижним вырезом (15) на следующем кольце. Граничные линии (17) между последовательно установленными кольцами (5) начинаются несколько ниже самых узких точек перемычек, разделяющих смежные отверстия, таким образом, чтобы нижние вырезы (15) не сужались в направлении кромки кольца (5), и верхние вырезы (14) слегка сужались таким образом, чтобы обеспечивалась простая сборка кассеты для обрабатываемых деталей снизу вверх. В результате обеспечивается быстрота установки и демонтажа дисков и легкая их очистка без риска повреждения компонентов устройства. 14 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к установке для напыления покрытий на прецизионные детали узлов гироприборов и может быть использовано в точном приборостроении. Мишень-распылитель создает кольцевую зону потока испаряемого материала средним диаметром Dм. Держатели с узлами крепления напыляемых деталей установлены на штоках количеством n. Штоки вращаются с угловой скоростью w1 в одном направлении, а блок редукции вращается с угловой скоростью w2 в другом направлении и на нем равномерно на одинаковом расстоянии 1/2·Dш от его оси вращения размещены указанные штоки. Для наиболее оптимальной ориентации рабочих поверхностей к потоку напыляемого материала плоскость, в которой лежат центры узлов крепления деталей, наклонена к оси симметрии этого потока под углом. Для обеспечения условий постоянного перемещения деталей в зоне испаряемого материала держатели, в которых устанавливают детали, выполнены в виде консольных элементов со смещением центра узла крепления каждой детали относительно оси штока. Для одной пары противолежащих штоков, расположенных на большой оси эллиптической траектории их перемещения, направление смещения L ориентировано к центру эллипса, а для второй пары противолежащих штоков, расположенных на малой оси этой траектории, направление смещения L ориентировано в сторону, противоположную центру указанного эллипса. Такое конструктивное выполнение позволяет повысить качество и функциональные характеристики напыляемых покрытий. 3 ил.

Изобретение относится к устройствам для напыления покрытий на сферические роторы электростатических гироскопов и может быть использовано в точном приборостроении. Устройство содержит вакуумную камеру, внутри которой размещены источник распыления и механизм вращения ротора в виде двух рамок, выполненных с возможностью независимого вращения, жестко связанные с внутренней рамкой фиксаторы для крепления ротора в виде соосных игольчатых упоров. Рамки выполнены в виде концентричных полуколец, а игольчатые упоры закреплены в диаметрально разнесенных точках на концах полукольца внутренней рамки. Оси вращения рамок и ось игольчатых упоров пересекаются в одной точке, совпадающей с центром ротора при закреплении его в указанных упорах. Ось вращения внутренней рамки наклонена к оси вращения наружной рамки под углом α=35°-80°. Привод вращения внутренней рамки выполнен в виде поворотно-шагового механизма, содержащего стержень, жестко связанный с корпусом камеры, и зубчатое колесо, закрепленное на валу вращения внутренней рамки. Причем количество и конфигурация зубьев зубчатого колеса определены из условия поворота внутренней рамки при контакте колеса со стержнем на угол β, составляющий 30°-90°. Обеспечивается повышение точности и качества нанесения тонкопленочных покрытий. 4 ил.

Изобретение относится к нанесению покрытий на изделия в вакууме. Устройство содержит вакуумную камеру, систему термического напыления материала на обе стороны подложки, дисковую карусель, на которой установлены узлы поворота с держателями подложек, систему вакуумной откачки, два неподвижно закрепленных на крышке вакуумной камеры копира для обеспечения вращения подложек на 180° за один оборот карусели, один из которых выполнен в форме кольца, а второй - в форме разомкнутого кольца. Узлы поворота жестко установлены на периферии карусели симметрично и на одинаковом расстоянии по окружности друг от друга, каждый из узлов поворота содержит вал, на одном конце которого закреплены держателем подложек, а на другом конце - крестовина с четырьмя подшипниками, выполненными с возможностью обкатки по дорожкам копиров с переходом с одного копира на другой. Подшипники установлены на крестовине попарно через 90° и смещены по оси узла поворота на расстояние, равное расстоянию между копирами. Обеспечивается повышение надежности устройства, позволяющего получать сплошные пленки различных материалов на обеих сторонах подложки за один технологический цикл. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к установке для вакуумной обработки изделий и способу вакуумной обработки с использованием упомянутой установки. Заявленная установка предназначена для обработки изделий, закрепленных на карусели (205), размещенной на карусельных салазках (201). Указанная карусель содержит вакуумную камеру (303) с дверцей (305) и привод (101). Вакуумная камера имеет по меньшей мере один задний упор (309) и по меньшей мере один передний упор (311), которые при полном введении карусельных салазок (201) в вакуумную камеру (303) и при закрытой дверце (305) обеспечивают кинематическую связь привода (101) карусели с каруселью (205). Привод (101) карусели расположен в вакуумной камере (303) на ее стенке, противолежащей дверце (305). Упомянутый способ включает введение карусельных салазок (201) с размещенной на них каруселью (205) в открытую дверцу (305) вакуумной камеры (303), закрытие дверцы (305) вакуумной камеры (303), ее откачку и осуществление вакуумной обработки. Карусельные салазки (201) с размещенной на них каруселью (205) с закрепленными на ней изделиями предварительно помещают на рельсы тележки и подводят эту тележку с размещенной на ней упомянутой каруселью к открытой дверце (205) вакуумной камеры (303). После закрытия указанной дверцы (305) карусельные салазки (201) фиксируют посредством упомянутых по меньшей мере одного заднего упора (309) и по меньшей мере одного переднего упора (311). Обеспечивается простое подсоединение карусели к ее приводу. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
Наверх