Конвейерная электропечь

 

Изобретение относится к оборудованию для термообработки изделий электронной техники. Цель изобретения - повышение качества обработки путем удаления продуктов возгонки без нарушения технологическою процесса. Конвейерная электропечь содержит многозонную секционную камеру нагрева с камерой 1 выжига связки и камерой 2 вжигания, муфелем 3, свод и направляющие с щелевидными каналами. В направляющих установлен сменный свод 9. выполненный из жаропрочной металлической ленты. Концы ленты свода 9 зяделэны D барабаны 11 и 12, Между камерой 1 выжига и камерой 2 вжигания установлено вытяжное устройство 16. Изобретение позволяет осуществить очистку СРОДЭ бет нарушения технологического процесса термообработки , исключив время простоя. 2 а. п. ф-ль, 7 ил.

СОЮЗ СОВгТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)л Г 27 В 9/22

ГОСУДАРСТВЕ Н<Ъ|й КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4753383/02 (22) 25.10.89 (46) 15.01.92. Бюл, М 2 (71) Конструктивное бюро "Гюйс" (72) Н.В. Щукин и В.И. Добронравина (53) 621.365.413 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1223000, кл, F 27 В 5/04, 1984.

Авторское свидетельство СССР

f4 1177630, кл. F 27 В 9/22, 1983. (54) КОНВЕЙЕРНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

57) Изобретение относится к оборудованию для термообработки иэделий электронной техники. Цель изобретения — повышение качества обработки путем удаления продуктов. Ы 1705683 А1 возгонки без нарушения технолог ческо о процесса. Конвейерная электропечь содержит мнсгозонную секционную камеру нагрева с камерой 1 выжига связки и камерой

2 вжигания, муфелем 3, свод и направляющие с щелевидными каналами. В направляющих установлен сменный свод 9. выполненный иэ жаропрочной металлической ленты. Концы ленты свода 9 заделаны в барабаны 11 и 12, Между камерои 1 выжига и камерой 2 вжигания установлено вытяжное устройство 16. Изобретение позволяет осуществить очистку слога без нарушения технологического процесс» термообработки, исключив время простоя. 2 з. и. ф-лы, 7 ил, !

705683

Изобрв ение от .эсится х оборудованию для термообрвботки изделий электронной техники, в частности стекло-керамических корпусов интегральных схем (СКК ИС) нэ опе рациях вжигвния золотосодержащих паст и оплэвления стеклопокрытия и может быть использовано при выполнении друтихтермических операций при производстве толстопленочных микросхем.

Известна проходная муфельнэя печь, содержащая последовательно соединенные камеры нагрева и выдержки с гэзогорвлочными устройствами и дымоотводящими каналами, выполненными в футероокв, камеру охлаждения, эжекторы, дополнительную футврованмую камеру с подом и дополнительным промежуточным перфорировэнныФФ сводом, образующим со сводом печи камеру смешения, соединенную с подподовым пространством.

Известна муфвльмая печь для восстановления окислов, содержащая футерованный корпус с нагревательными элемемтами и муфелвм, загрузочное м разгрузочное устройства, холодильник, систему удаления газообразных продуктов реакции, трубчатые газоходы е о гвврстмями по их длине и установленными в нижней части муфеля вдоль его боковых станок.

Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому эффекту является конввйер <ая электропвчь, содержащая многозонную секционную камеру нагрева с нагревателя и м фвлем и с вытяжным òройетвом.

К недостаткам известной печи следует отнести то что нвгнетэтельным вентилятором инертный гьэ со стороны загрузки печи нагнетается в рабочее пространство. Смешиваясь с продуктами возгонки в зонах выжига связки, этот гэз частичмо попадает и в чистые гоны печи — зоны вжигания пасты, что трицэтвльно сказыаавтсл на качветав изделий. Кроме того, средство отбора и удаления из рабочего пространства продуктов возгонки, SblnoflM8HH06 в виде двух коаксиальных труб, не может полностью удалить эти продукты по всей длине зон выжига связки, особенно flpH значительной ширине рабочего пространства. Часть этих продуктов неизбежно оседает на своде и боковых стенках муфеля, г остоянно загрязняя атмосферу рабочего пространства, э в конструкции печи не предусмотрена очистка этих поверхностей без демонтэжэ печи. Перфорация Внешней трубы в пространстве атборэ продуктов Возгонки постепенно зарастает продуктами выжига связки, т. в.

35

20 уменьшэется проходное сечение отверстий и снижается эффективность вытяжки.

Цель изобретения — повышение качества обработки изделий путем удаления продуктов возгонки беэ нарушения технологического процесса.

Предлагаемая печь позволяет осуществить очистку свода беэ нарушения технологического процесса термообрэботки, исключив время простоев, и повысить качество изделий.

Цель достигается тем, что конвейерная электропечь преимущественно для вжигания пасты в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многозонную камеру нагрева с зонами выжига связки и вжигания пасты, муфелем, газораспределительным коллектором и вытяжным устройством, снабжена сменным промежуточным сводом, выполненным в виде закрепленных ° верхней части боковых стенок муфты зоны выжига связки, продольных направляющих с щелевидными каналами и размещенной ° них металлической лентой, закрепленной на барабанах. установленных на входе и выходе зоны выжига связки. При этом распределительный коллектор установлен мад промежуточным сводом. Вытяжное устройство размещвмо между зонами выжига связки и вжигамия.

Лента выполнена мэ жаропрочного сплава.

На фмг. 1 изображена конвейерная электропечь, общий вид: ма фиг. 2 — сечение А-А на фмг. 1, поперечный разрез камеры выжига еаязкм; ма фиг. 3 — сечение 6-6 мэ фиг. 1, поперечный разрез камеры вжигания; на фиг. б — вид В ма фиг. 1, барабан перемещения сменного свода с приводом; мэ фмг. 5 — сечение Г-Г ма фиг. 2, Одна из направляющих муфвля со щелевидными каналами; ма фиг. 6 — элемент 1 на фиг. 1, уплотнение сменного свода со стороны загрузочного конца печи; на фиг. 7 - сечемие Д-Д на фиг. 1, схема устройства вытяжного патрубка.

Конвейерная электропечь содержит футврованную камеру 1 выжига связки, футеровэнную камеру 2 вжигания, муфель 3 со сводом4,гаэораспределительнывколлекторы 5 и 6 с равномерно расположенными по длине отверстиями для выхода воздуха. Направляющие 7, размещенные в муфеле 3 на участке выжига связки. В направляющих выполнены щелевидные каналы 8.

Сменный свод 9 установлен в направляющих 7 и образует со сводом 4 муфеля 3 газораспределитвльную камеру 10. Концы сменного свода 9 заделаны в барабаны 11 и

12, установленные ма муфеле 3 с помощью

1705683 кронштейнов 13. Общая длина сменного свода 9 рассчитана так, чтобы его часть, находящаяся в рабочем пространстве камеры выжига связки, полностью должна быть выведена из него (заменена). Вращение барабана 11 может осуществляться вручную рукояткой 14 или с помощью привода 15.

Аналогично осуществляется вращение барабана 12 (рукоятка и привод барабана 12 не показаны).

На муфеле 3 между камерой 1 выжига связки и камерой 2 вжигания установлено вытяжное устройство 16 в виде патрубка.

Печь содержит также геплообменник

17, газовые(воздушные) завесы 18, нагреватели 19, термопары 20, конвейерную ленту

21, привод 22 конвейерной лен1ы.

На входе в муфель 3 и выходе иэ него сменный свод 9 уплотнен устройствами 23 и 24, причем уплотнительное устройство 23 выполнено с воэможностью перемещения по вертикали.

Печь снабжена также устройством очистки и сушки воздуха, пультами управления нагревом и механизмами печи, устройством распределения очищенного и осушение"о воздуха в печь (не показаны).

Очищенный и осушенный воздух подается в завесы и рабочее пространство;,е«« через патрубки 25.

Формула изобретения

1, Конвейерная электропечь, преимущественно для выжигания пасты в 1одложки

5 при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многоэонную камеру с зонами выжига и вжигания связки. м, фелем. газораСпределительным коллектором н вытяжным устрблством, о т л и ч а ю щ а я10 с я тем, что, с целью повышен..я ка,ествз обработки и делий путем удаления прсду;тов воз онки беэ нарушения технологического процесса, он» снабжена сменным промежуточным ссодом, выполненным в ви15 де закрепленных в верхней части боковых стенок муфеля зоны выжига продольных направляющих с щелевидными каналами и установленной в них металлич ;ской ленты. барабанов, установленных на входе и выхо20 де зоны выжига и на которых закреплены ленты, при этом гаэораспределительныЛ коллектор устаноелен над промежуточным сводом.

2. Электропе« по и. 1, о т л и ч а ю щ25 а я с я тем, что вытяжное устройство размещено между зонами выжига и ожигания связк .

3. Элек ропе:ь по и. 1, а л и a ю ща я с я ем, что лента выполнена иэ жароп30 рочного сплава.

1705683, 7

Составитель Н.Щукин

Редактор М.Кобылянская Техред M,Морген,;л l,,î inv, о . . -«

Заказ 187 Тираж, с,1и

ВНИИПИ Государственного комитета по изоб; тени, " " г и : );<"

113035. Москва, Ж- 5, Р " vf«:.. ; ч на, - :.

Производственно-издательский комбинат - Патент". г. <ж гро, ул .- -.=,и . .