Конвейерная электропечь

 

КОНВЕЙЕРНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многозонную секционную камеру нагрева с нагревателями и муфелем, газовый эжектор , холодильник и средства отбора продуктов возгонки, отличающаяся тем, что, с целью создания универсальной -печи nfretn обеспечения различных температурно-газовых режимов , печь снабжена дополнительным холодильником , камера нагрева выполнена в виде секций, имекщих возможность перемещения вдоль муфеля, дополнительный холодильник - в виде разъемных секций с возможностью размещения его между.секциями камеры нагрева, а средство отбора продуктов возгонки - в виде двух коаксиальных труб, при этом внешняя труба заглушена с § одного торца и имеет перфорацию по всей длине, а внутренняя соединена с эжектором и установленас возможностью продольного перемещения.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

COIWIIH

РЕСПУБЛИН (51)4F 27 В 22!

/ т7 Ю

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3630350/22-02 (22) 05.08.83 (46) 07.09.85. Бюл. В 33 (72) И.А.Барил, Л.М.Гришин, А.С.Гаврилов и H.Ï.Êîõàí (53) 621.783.231.3(088.8) (56) Проспект фирмы "Matkins Johnson

Со", Англия, 1982.

Электронная техника. Сер. VI.

Микроэлектроника, вып.3 (24). М., 1970, с. 10. (54)(57) КОНВЕЙЕРНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многозонную секционную камеру нагрева с нагревателями и муфелем, газовый эжектор, холодильник и средства отбора

„„SU„„1177630 А продуктов возгонки, о т л и ч а ю— ш а я с я тем, что, с целью создания универсальной печи путем обеспечения различных температурно-газовых режимов, печь снабжена дополнительным холодильником, камера нагрева выполнена в виде секций, имеющих возможность перемещения вдоль муфеля, дополнительный холодильник - в виде разьемных секций с воэможностью размещения его между. секциями камеры нагрева, а средство отбора продуктов возгонки — в виде двух коаксиальных труб, при этом внешняя труба заглушена с одного торца и имеет перфорацию по всей длине, а внутренняя соединена с эжектором и установлена с возможностью продольного перемещения.

1177630

Изобретение относится к оборудованию для термообработки изделий и может быть использовано в электронной технике для вжигания проводниковых и диэлектрических паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем.

Цель изобретения — создание универсальной печи путем обеспечения различных температурно-газовых режи( мов.

На фиг. 1 представлена электропечь, общий вид на фиг.2 — сечение рабочей камеры с холодильником.

Конвейерная электропечь преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем состоит из многозонной нагревательной камеры 1, представляющей собой легкоразборную конструкцию, включающую муфель 2, выполненный в виде трубы прямоугольного сечения из жаропрочного материала и размещенный внутри нагревательной камеры на теплоизоляционных опорах 3.

Внутри муфеля 2 расположено средt ство отбора продуктов возгонки в виде двух коаксиальных труб: внешней 4,заглушенной с одного торца и имеющей перфорацию 5 по всей длине, и внутренней 6, соединенной гибким шлангом

7 с эжектором 8 и имеющей отверстие

9 и возможность продольного перемещения.

Обе трубы выполнены из жаропрочных материалов. Эжектор 8 расположен внутри каркаса электропечи со стороны загрузки изделий и состоит из нагнетательного вентилятора 10 и трубы 11. Конвейер 12 предназначен для 40 перемещения обрабатываемых изделий вдоль муфеля 2 и представляет .собой мелкоячеистую замкнутую сетку, выполненную из жаропрочной проволоки.

Конвейер 12 приводится в движение 45 приводным устройством, состоящим из электродвигателя 13, ведущего барабана 14 и натяжных роликов 15.

Камера 1 нагрева выполнена в виде секций нагревателей 16, имеющих воз- 50 можность перемещения вдоль муфеля 2.

Нижние нагреватели расположены на теплоизоляционных плитах 17, а верхние — на теплоизоляционных опорах 18.

На концах муфеля 2 внутри него рас- у положены газовые завесы 19 представляющие собой ряд пластин 20, свободно подвешенных на крючках 21. Завесы предназначены для предотвращения попадания кислорода воздуха внутрь муфеля во время технологического цикла. Конец муфеля 2 со стороны выгрузки иэделий имеет водяную рубашку 22, предназначенную для охлаждения обработанных изделий, На концах электропечи расположены столы загрузки 23 и. выгрузки 24, предназначенные для загрузки и выгрузки изделий. Дополнительный холодильник 25 состоит из двух разъемных Г-образных полых секций 26, соединенных между собой (фиг.2), с отверстиями для входа и выхода воды. Секции 26 прикрепляются к муфелю 2 при помощи кронштейнов 27 (фиг.2) и могут быть размещены в любом нужном месте нагревательной камеры на муфеле 2 вместо нагревателей

16 и теплоизоляционных плит 17.

При этом, за счет кронштейнов 27, секции 26 соединяются одна с другой встык и плотно притягиваются к муфелю 2, обеспечивая с ним надежный тепловой контакт, Конвейерная электропечь преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем работает следующим образом.

По заданной температурно-временной кривой устанавливаются. режимы для каждой секции нагревателей 16 (в секцию входят один верхний и один нижний нагреватели). Одновременно включается электродвигатель 13 и конвейер 12 начинает непрерывное движение внутри

1муфеля 2. Выход на заданный режим и отключение секций нагревателей 16 происходит автоматически. 3а несколько минут до выхода печи на заданный режим и начала обработки изделий в муфель 2 и в газовые завесы 19 подается инертный газ газовой системы.

После выхода печи на заданный режим на конвейер 12 загружаются обрабатываемые изделия. Одновременно с подачей инертного газа включается эжектор 8 и подвижная труба 6 устанавливается в неподвижной трубе 4 так, чтобы отверстие или отверстия подвижной трубы 6 располагаются против отверстий неподвижной трубы 4, расположенных в зоне максимального выделения газообразных компонентов с целью их полного удаления из объема муфеля 2

Обрабатываемые изделия перемещаются конвейерам 12 вдоль муфеля 2 и, 30

Составитель Г.Назарова

Редактор Е.Папп Техред С.Мигунова Корректор Л.Бескид

Заказ 5537/39 Тираж 570 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьггий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г,Ужгород, ул.Проектная, 4

3 11776 пройдя водяную рубашку 22, выгружаются из нагревательной камеры 1.

С целью полученик. на одной электропечи различных температурно-временных кривых используется дополнительный холодильник, который размещается на муфеле, например, на месте снятых с определенной зоны нагревателей и теплоизоляционных плит. Это позволяет получить не только любую 10 сложную температурную кривую, т.е. расширить функциональные возможности. электропечи, но также повысить качество обрабатываемых изделий и увеличить процент выхода годных за счет 15 поддержания температурных перепадов по зонам.

Размещение в муфеле средства отбора продуктов возгонки в виде двух 20 коаксиальных труб, внутренняя из которых может перемещаться вдоль наружной трубы и соединяется гибким шланroM с эжектором, расширяет функциональные возможности электропечи, т.е. 25 позволяет отбирать газообразные компоненты паст, наносимых на изделия из любой точки муфеля, в том числе из зоны максимального выделения газообразных компонентов.

При помощи труб полностью удаляются газообразные компоненты паст, наносимых на иэделия, среда в муфеле становится чистой, что приводит к повышению качества изделий и процента выхода годных.

Таким образом, в предлагаемой универсальной электропечи, можно производить большое количество технологических процессов: вжигание медных проводников и диэлектриков в керамические и металлические глазурованные подложки, сушку, спекание„ глазурование и т.д.

Универсальность электропечи достигается за счет точного воспроизведения любой температурно-временной (заданной) кривой при помощи дополнительных холодильников, размещаемых в любом месте муфеля, и полного вывода из любой точки муфеля газообразных компонентов паст, наносимых на изделия, за счет средств отбора продуктов возгонки, выполненных в виде двух коаксиальных труб, внешняя из которых заглушена с одного торца,имеет перфорацию по всей длине и закреплена на крышке муфеля, а внутренняя имеет возможность перемещаться вдоль наружной трубы, соединена гибким шлангом с эжектором и имеет по крайней мере одно отверстие. Достигается также герметичность рабочего пространства муфеля за счет заполнения

его инертным газом при создании газовых завес на входе и выходе муфеля.