Способ изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава n @ - f @ - в

 

Изобретение относится к электротехнике , точнее к способам получения постоянных магнитов. Цель изобретения - увеличение коэрцитивной силы. Поставленная цель достигается за счет того, что в способе изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава Nd-Fe-B, включающем напыление на нагретую подложку и термическую обработку, температура подложки при напылении составляет 300-470°С. Ј

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s Н 01 F 10/00

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

О (Л

О

ЬЭ (21) 4748349/07 (22) 11.07.89 (46) 15.01.92. Бюл, М 2 (71) 1-й Московский приборостроительный завод и Московский институт стали и сплавов (72) Б.С. Векшин, Б.А. Капитанов, Н.В. Корнилов, Я.Л. Линецкий, С.Е. Соколовский и

В.Ю. Цветков (53) 621.318.25(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N- 882352, кл. Н 01 F 10/00, 1981.

Изобретение относится к электротехнике, точнее к способам получения постоянных магнитов.

Цель изобретения — увеличение коэрцитивной силы, Пример 1. Пленка сплава Nd — Fe — В, толщиной 100 мкм, получена ионно-плазменным распылением литой мишени со скоростью 25 мкм/ч при давлении аргона 0,1 Па на медную подложку при 280 С. По рентгеновским данным пленка аморфна. Коэрцитивная сила, измеренная как перпендикулярно плоскости пленки, так и вдоль нее, равна 17,5 кА/м. После дополнительной обработки при 800 С в течение одного часа в вакууме 3,0 10 Па пленка прио рела следующие магнитные сврйства:

Нг = 0,98 Тл, IH© = 740 кА/м, (В Н)м = 162 ,Д / q 057-Т- Н ч 880 КА/ где Hr, Нс, (ВН) — соответственно остаточная магнитная индукция, коэрцитивная си„„Я „„1705892 А1 (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТОВ

С ПЕРПЕНДИКУЛЯРНОЙ АНИЗОТРОПИЕЙ ИЗ СПЛАВА Nd — Fe — В (57) Изобретение относится к электротехнике, точнее к способам получения постоянных магнитов. Цель изобретения увеличение коэрцитивной силы. Поставленная цель достигается эа счет того, что в способе изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава Nd-Fe-В, включающем напыление на нагретую подложку и термическую обработку, температура подложки при напылении составляет

300-470 С. ла по намагниченности, максимальное энергетическое произведение, измеренные перпендикулярно плоскости пленочных магнитов, Вг и Нс — соответственно остач ч точная магнитная индукция и коэрцитивная сила по намагниченности, измеренные в плоскости пленочных магнитов.

Пример 2. Пленки сплава Nd — Fe — В толщиной 90 мкм напыляли так же, как в примере 1, но при температуре подложки

300 С. После напыления пленки имели tHc менее 40 кА/м. После термической орработки 700 С, 0.5 часа магниты имели В = 1,05

Тл, IHc = 1112 кА/м, (BH)M = 195 кДж/м .

Пример 3. Пленку сплава Nd-Fe-В толщиной 250 мкм напыляли со скоростью

50 мкм/ч так же, как и в примере 1, на подложку, нагретую до 420 С. Коэрцитивная сила, измеренная как вдоль, так и перпендикулярно плоскости пленки, составляла 24 кА/м.

1705892

Составитель А.Лукин

Редактор Н, Каменская Техред М.Моргентал Корректор О. Кундрик

Заказ 197 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

После дополнительного отжига 700 С три минуты пленка приобрела следующие магнитные свойства:

Вг = 1,0TJI, IHc = 1650 кА/M, (ВН)м = 200 кДж/м, Br = 0,18 Тл, IHc = 720 кА/м.

Пример 4. Планки сплава Nd — Fe-В толщиной 200 мкм напыляли со скоростью

50 мкм/ч на подложку при 470 С, Напыленные пленочные магниты имеют Н = 56 кА/м. После дополнительного отжига

700 С, 1 час напыленные магниты характеризуются; L

Br = 1,0 Тл, IHc = 1200 кА/м, (ВН)

=197 кДж/м .

Пример 5. Пленки сплава Nd — Fe — В толщиной 100 мкм напыляли со скоростью

35 мкм/ч на подложку при 500 С, Напыленные магниты имеют:

J L l

Вг = 0,88 Тл, iHc = 1 8 кА/м, (ВН)м = 66 кДж/мз, Вг = 0,46 Тл, IHc = 192 кА/м. После дополнительного отжига 700 С, 1 час намыленные магниты имеют: Вч =0,95 Тл, iH =

5 =352 кА/м, (ВН)й = 96 кДж/м", Br = 0,55 Тл, IHc =0,256 кА/м.

Как видно из примеров максимальные

L значения коэрцитивной силы iHc наблюдаются при температуре подложки 300 — 470 С.

Формула изобретения

Способ изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава

Nd — Fe — В, включающий напыление на на15 гретую подложку и термическую обработку, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэрцитивной силы, напыление производят на подложку при 300-470 С.