Устройство для шлифования и полирования плоских поверхностей деталей
Использование: для шлифования и полирования плоских поверхностей деталей свободным абразивом при нагруженном давлении, в частности полупроводниковых пластин и стекол фотошаблонов в злектрснной промышленности. Сущность изобретения: над механизмом подъема и нагружения верхнего шлифовального диска 2, включающего винт 10, гайку 11, пружину 12, взаимодействующую с валом 9 для приведения во вращение гайки 11, зубчатые колеса 13 и 14, в верхней части вала 9 установлен механизм аварийного подьема верхнего диска 2, корпус 16 которого жестко закреплен на винте 10 механизма подьема. На верхней части вала 9 также размещен механизм фиксации верхнего шлифо ялсного диска 2, выполненный в виде гайки 17 с несамотормозящейся резьбой, которая взаимодействует с несамотормозчщейся резьбой, выполненной нэ салу 9. ГРЙХЗ 17 взаимодействует через подшипники fp/ с подпружиненной втулкой 19 установленной в цилиндре 20 с возможностью верт чапьного перемещен:1 Ппунжер 22, едпру чиненный сверху пру-к-1но 23, зспс коке1 от гайки 17 на рассюяни- I, в дзч эагз меньшем, чем от втулхи 19. Втулка 19 - цилиндр 20 имеют одинзкогый зазор отксситель 0 плунжера 22, который равняется h, но при этом h t че менее, чем в 2 раза, «тобы исключить при подъеме возможность контакта плунжера 22 с втулко 7 19. В поотивном случае подъема н-э произойдет, тдк как гайкч 17 будет свободно прокручиваться на резьбе пеоедаи л гз с-вал. При необходимости бь:строго подъема и фиксации: а лифосального ...иска 2 подают сжатый воздух Б полосг под плунжоо 22 механизма подъем,0, которь й поеодолевая усилие пружины 23 упирается вторецгайки I7 и заклинивает ее к несамотормозящс1С-1 резьбе вала 9. обеспечивая резкий подьем диска 2 и его фиксацию г таком полосони : 1 ил. Ico -жА о Ј
са; . з сс ветсд х
СО!!ИЛЛИСТИЧЕСК! <Х е г
0!З
PECIi YEflidK ъ-" фА
ГОСУДЛРСТБЕг!НЬ Й KOIVIV ПО ИЗ06РЕТЕНИЯЧ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕГЬСТВУ (21) 4765953/08 (22) 07,12.89 (46) 15.09.92. Бюл, № 34 (71) Научно-исследовательский инсти-;ут полупроводникового машиностроения (72) B.È.Ситников, А.M,Êoïûòèí и В.Г,Николаенко (56) Патент США ¹ 3848365, кл. В 24 В 7/00, 1972. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ И ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ (57) Использование: для шлифовзния и полирования плоских говерхностей деталей свободным абразивам при нагруженном давлении, в чзстности полуправодчикавых пластин истекал фоташаблонав в злектронной промышленности. Сущность изобретения: над механизмам подъема и нагружения верхнего шлифовальнаго диска 2, вкл,очающего BMHT 10, гайку 11, пружину 12, взгимадейству!Ощую с валом 9 для приведения Во вращение гайки 11, зубчатые колеса 13 и 14, в верхней части вала 9 установлен механизм аварийного падьема верхнего диска 2, корпус 16 которого жестко закреплен на винте 10 механизма подьема. На верхней части вала 9 также размещен механизм фиксации Изоб )етение относится к абразивной обработке и может быть использовано для шлифования и.полирования плоских поверхностей деталей свободным абразивом при нагруженном давлении, в частности лолупроводниковых пластин и стекол фатошабланов в электронной промышленности. верхнего шлифовзль;-Ого диска 2, выполненный в виде гайки !7 с несаматормозяшейся пе.- ьбай которая взаимодействует с несзматармозящейся резьбой, выполненной нз -".,àë)/ 9. Г кз 17 взаимодействует ОоРЕ Пг>,.ШИ P!!Иy!Р 5, O ПР ПРУжИНЕННOИ втулкой,9. установленной в цилиндре 20 с вазмажностькз вертикзльнога перемещения. Плунжер 22, псдпрузкиненный сверху пружиной 23, ";Bc ïoлажен ат гайки 17 на засстаянии т, в два )BB меньшем, чем От вту-;ки 19, Втулка 19 и цилиндр 20 имеют ОДИНЗКаВЫй ЗаЗОР ОтНССИтЕЛЬНО ПЛУНжЕРЗ 22, который равняется h, на при атом h > t не менее чем в 2 раза, чтобы исключить при подъеме возможность контакта плунжера 22 с втулкой 19, В противном случ":å подъема не произойдет, тзк кзк гайка 17 будет свободно прокручиваться на резьбе передаи га,K=-вал. При неабход - мости быстрого подъема и фиксации шлифавальнога,;иска 2 пода от сжатый вазд;-х в полость год плунжзр 22 механизма авзаийнаго падьемз, катарь.й преодолевая усилие пружинь, 23 упирается в торец гайки 17 и ззклинивает ее на несамотармазяшейся резьбе вала 9, обеспечивая pBBKIIA подъем верхнего диска 2 и ега фиксаци!О в такoM oëo>".< Hvl!;. 1 ил, Целью изобретен..я является позышение надежности устройства. Нз чертеже схематично показана устройства для шл.":фовзния и;а.",иравания ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОС Ей ДЕ1 ЗЛЕЙ. з страйс1 Во садерж 1т 1еподзижн)"о сТВ нину1, верхний 2 и нижни -; 3 шлифавальные диски, кинемзтическ; св: ззнные с прива1761447,лом 4 для nopb8MB M orii7ci:BHMrI 58p".н8го И3 3а росТВ гB6BpMTHbl I ра3мерОВ 48xBHN3диска 2, сепараторы 5 с гнездами для ра3- ма, «:.ещения обрабатываемых детале 6 (пла- Устройство работает следу«ощим обрастин, стекол фотошаблонов, внешнее 7 и зом. Внутреннее 8 цевочные колеса, вал 9. HB 5 Перед началом цикла обработки Верхкотором закреплен верхний шлифовальный ний шлифовальный диск 2 находится В придиск 2, и механизм подъема и нагружения, поднятом положении для обеспечения содержащий в свою очередь винт 10, rBйку доступа в зону обработки во время загрузки 11, прух<ину 12, взаимодействующую с Ва- обрабатываемых деталей 6, например полулом9для приведения во вращение гайки11, 10 пооводниковых пластин. Детали 6 укладызубчатые колеса 13, 14, Механизм 15 инды- BBются в гнезда сепараторов 5, (ации служит для регистрации Величины на- разм8щенных на нижнем шлифОВальном гружения и съема во "-.,p8ìë обрабо-,ки диске 3, Подъем верхнего шлифовального полупроводниковых пластин. HBä механиз- диска 2 производится от привода 4 через мом подъема и нагружения на верхней чBO- 15 зубчатые колеса 13, 14, гай (у 11,взаимодейти вала 9 размещен механизм аварийного ствующую с винтом 10, который в свою очеподъема, корпус16 которого><есткозакреп- редь взаимодействует с валом 9 через лен на винте 10 механизма подъема, На пружину 12. Опускание верхнего шлифоверхней части вала 9 размешен механизм Вального диска 2 и нагружение производятфиксации верхнего шлифовального диска. 20 ся в обратном порядке пои изменении выполненный в виде гайки 17 с несамотор- Враи18ния привода 4, мозящей резьбой, установленной на неса- «: сcлучае необходимости быстрого подьмотормозящей резьбе, выполненной на 8МВ верхнего шлифовального диска, напривалу 9. Гайка 17 Взаимодействует через под- мер, после окончания процесса шлифовки, шипники 18 с размещенной на них подпру- 2о когда во Время обработки полупроводникожиненной втулкой 19, установленной в вых пластин происходит Возникновение цилиндре 20 с возмо>кностью вертикально- "сил адгезионного сцепления" между шлиго перемещения. Гайка 21 служит для рогу- фовальными nисками, или в случае возниклирования усилий пружиHü . втулки 19 и новения аварийной ситуации с целью ее регулирования зазора между Втулкой 19 и 30 пре,<ращения (сохранение целыми обрабагайкой 21, что опрецеляет ход механи".Ма тываемые пластины и сепараторы) оператор фиксации, который варьируется в пределах нажимает на кнопку АВАРИЙНЫЙ СТОП, 1-3 мм и устанавливается опытным путем в после чего г.роисходит подача сжатого воззависимости от толщины обрабатываемых 35 духа В механизм аварийного подъе ла в попластин и холостого хода гайки 17, При атом лость под плунжер 22, который преодолевая плунжер 22, подпружиненный сверху и "у- усилие пружины 23,упирается вторец гаики жиной 23, расположен от гайки 17 на рпс- 17 и заклинивает ее на несамотормозящей стоянии (, в два раза меньшем, ем от втулки резьбе вала 9, обеспечивая тем самым рез19, но втулка 19 и цилиндр 20 имеют одина- 40 кий подъем верхнего шлифовального диска ковый зазор бтносительно плунжера 22, ко- 2 на 1 — 1.5 мм и его фиксаци о в приподнятом TopI lA равняется и, при Этом t1 > т Н8 8H88 состоянии, по8дОтвращая дальнейшее разчем в2 раза, TBKчтобы исключить при подь- витие аварийной ситуации или В случае еме возможность контакта плунжера 22 с окончания полировки осуществляя отрыв втулкой 19, в противном случае подъема не 45 верхнего диска, При этом за счет того, что произойдет, так как гайка 17 будет свободно втулка механизма фиксации выполнена подпрокручиваться на резьбе передачи гайка- пружиненной, при подъеме верхнего диска Вал. не происходит жесткого удара, Дальнейший Например, зазор t складывается из сле- riîëüñì осуществляется приводом 4 номидующих величин: 50 нальной мощности. зазора ht в резьбе(для резьбы M20 /-й Когда нужно провести обычный подъем степени TO«iHocTN), KQTopblA pBBHti8Tcsi ti =-- pMcKB 2 (например, pti A загpv3f Мм; 55 гайкой 17, и последняя, вращаясь HB резьбе, дополнительного зазора i3, связанного свободно перемещается по валу 9. Подъем с износом подшипников и резьбы: t3 = т + верхнего шлифовального диска в этом слуt2. В результате зазор т = ц - 2+ t3 == 2(ц - - чае будет плавным. tã), т.е. t = 2.(0,9 + 0,05); 2 мм. Отсюда Формула изобретения минимальный зазор идол>кен быть не менее Устоойство для шлифования и полиро4 мм. Увеличение зазора нецелесообразно ани":пnîñêèõ поверхностей д галей, со1761447 Составитель Г.Позднякова Техред M.Moðãeíòàë Корректор A.Âîpoâè "едактор H.Семенова аказ 3218 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4!5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 1Î1 держащий станину, нижний шлифовальный диск, установленный на валу с возможностью вертикального перемещения, верхний шлифовал ьный диск, механизм нагружения и подъема верхнего диска и механизм его аварийного подъема, включающий корпус и плунжер, э также сепараторы для деталей и приводы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, " целью повышения надежности, устройство снабжено механизмом фиксации верхнего шлифовального диска, установленным нэ валу и выполненным в виде гайки с несамотормозящей резьбой, предназначенной для взаимодействия с несамотормозящей резь5 бой, выполненной на валу.и подпружиненной RT) ïêè, Охватывающей подшипники, расположенные на гайке, а плунжер механизма аварийного подъема подпружинен v, предназначен для взаимодействия с торцом 10 гайки механизма фиксации, 
