Устройство для нанесения износостойких покрытий
Использование: в электронной промышленности для производства компакт-дисков с магнитной записью. Сущность изобретения: повышение износостойкости достигается тем, что в устройстве, содержащем испаритель и подложкодержатель с подложкой, электроды, вмонтированные в подложкодержатель, выполнены в виде игл, на заостренных концах которых размещена подложка. 1 ил., 1 табл.
Изобретение относится к устройствам для нанесения износостойких покрытий в вакууме из органических соединений и может быть использовано в приборостроении, радиотехнической и электронной промышленности при изготовлении изделий типа компакт-дисков с магнитной записью. Цель изобретения повышение технологических возможностей устройства. На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид. Устройство, размещенное в вакуумном объеме 1, содержит разборный испаритель 2 с отверстием-соплом 3 для выхода пара, контактирующий с дисковым электродом 4, который вместе с испарителем находится под постоянным отрицательным потенциалом. В испаритель, снабженный нагревателем 5, помещают навеску 6 испаряемого материала. Подвижная заслонка 7 размещена вблизи электрода 4. Подложка 8 находится на заостренных концах электродов 9, вмонтированных в подложкодержатель 11. Электроды и подложкодержатель находятся под постоянным положительным потенциалом. Лампа с оптическим устройством 10 служит для нагрева подложки. Устройство работает следующим образом. Навеску испаряемого вещества помещают в испаритель 2. Подложку располагают на остриях стержневых электродов 9. Вакуумную камеру откачивают. Подложку 8 и испаритель нагревают до заданных температур при закрытой заслонке 7. Подают высокое напряжение на электроды 4 и 9. Открывают заслонку 7 и производят нанесение покрытия на подложку 8. Время препарирования расчетное. Использование предлагаемого устройства обеспечивает повышение технических возможностей за счет увеличения износостойкости покрытия на диэлектрической подложке по сравнению с известным устройством в четыре раза (см. таблицу).
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ в вакууме из органических соединений, содержащее испарительную камеру с отверстием в виде сопла для выхода пара, подключенную к отрицательной клемме источника напряжения, подложкодержатель с подложкой, подключенные к положительной клемме источника напряжения, отличающееся тем, что, с целью повышения технологических возможностей, в подложкодержатель со стороны размещения подложки вмонтированы стержневые электроды в виде игл с радиусом заострения 17 - 23 мкм.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2
