Устройство для совмещения рисунка фо|с1щ^лрна '• i с рисунком подложки при контактной фотопеч/стй-^

 

ОПИСАНИЕ l902lO

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 06.! Х.1965 (№ 1026479126-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опуоликовано 16.XII.1966. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 2.11.1967

Кл. 57d, 2/03

15h, 4/01

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

М11К 6 03f

В 41f

УДК 778.644(088,8) Лвчоры изобретения

В. И. Мальто, Я. И. Точицкий, С. Е. Фидориненко и В. В. Сосидко 3 " ++8

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКА ФО ОШМэЛОНА

С РИСУНКОМ ПОДЛОЖКИ ПРИ КОНТАКТНОЙ ФОТОПЕЧАТЙ

Известны устройства для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком подло?кки при контактной фотопечати, в которых применены копировальные установки, содержащие основание, координатно-поворотный стол с микрометрическими винтами для совмещения под микроскопом рисунка или отметки на фотошаблоне с соответствующими отметками на подложке.. Однако эти устройства не обеспечивают высокоточного совмещения всех знаков на фотошаблоне со всеми знаками на подложке и при?ким ее к фотошаблону, не нарушая совмещения. Полупроводниковая пластина (подложка) имеет клиновидную, а не плоскопараллельную форму, отдельные пластины отличаются по толщине, что значительно затрудняет совмещение их с рисунком фотошаблона известными средствами.

Предложенное устройство для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком подложки при контактной фотопечати, содержащее неподви?кное основание, подвижной стол и поворотный столик, укрепленный с помощью полой трубы на неподвижном основании, позволяет получить равномерный зазор между фотошаблоном и подложкой независимо от толщины полупроводниковой пластины (подложки) и ее клиновидности. С этой целью подло?кка расположена на шарнирном сегменте, размещенном в гнезде, кинематически связанном с двумя соосно расположенными плунжерами различной длины, укрепленными на подвижном столике, положения которых фиксируются пневматически. Для устранения возможности смещения подложки относительно фотошаблона гнездо связано с подвижным столиком при помогци параллелограмма с пружинными шарнирами.

На фиг. 1 схематически изображено описы. ваемое устройство, общий вид; на фиг. 2 представлена принципиальная схема устройства совмещения и ориентирования подложки и фотошаблона.

На столе 1 под скафандром 2 размещены устройство совмещения 8, оптическое устройство 4 для наблюдения за совмещением и устройство для экспонирования. Устройство совмещения содержит узел б установки и ориентирования подложки, поворотный столик 6, кассету 7 и микроманипулятор 8, перемещающий устройство для ориентирования и установки подложки в горизонтальной плоскости.

Устройство совмещения установлено на подви?кном столике манипулятора 9 и представляет собой гнездо 10 с шаровым сегментом

11, подвешенным к основанию 12 при помощи

napaллелограмма с пружинными шарнирами

18, обеспечивающего при его небольших вертикальных перемещениях смещение гнезда 10

30 в горизонтальной плоскости на величины ничf90210 тожно малые, практически исключающие горизонтальные смещения.

В шаровом сегменте 11 имеется полость 14, отделенная от полости 15 в гнезде 10 мембранным клапаном 1б.

На основании 17 по оси гнезда 10 в отверстии концентрично расположены плунжеры 18 и 19, длину последнего можно изменять с помощью микрометрической гайки 20.

Плунжер 19 может быть зафиксирован в любом положении относительно основания 12 при помощи фиксатора 20, который включается при подаче давления воздуха в диафрагменную камеру с вялой мембраной 21.

При помощи диафрагменной камеры 22 с вялой мембраной, через плунжер 18, гнездо 10 с шаровым сегментом 11 подложка 28 имеет возможность вертикально перемещаться.

Поворотный столик б установлен на неподвижной части микроманипулятора 8 при помощи неподвижной тумбы 24 так, что его верхняя и нижняя плоскости параллельны плоскости перемещения подвижного столика манипулятора 9. Радиальному смешению при повороте столика 25 препятствуют два ролика

2б и подвижной ролик 27, установленный на эксцентричной оси 28 и при помощи пружины

29 прижимает поворотный столик 25 к двум роликам 2б, чем устраняются радиальные биения.

Вертикальное перемещение столика 25 обеспечено винтами, на чертеже не указанными, а угловые смещения — микрометренными винтами, установленными на кронштейне 80.

Подложку 28 укладывают на поверхность шарового сегмента 11, и вакуум, созданный в полости под ней, фиксирует ее положение.

Фотошаблон 81 размещен в кассете 82 и установлен на поворотный столик 25. Положение кассеты 82 также зафиксировано при помощи вакуума.

Под давлением воздуха, нагнетаемого в полость 15, всплывает шаровой сегмент 11. Переместившийся от давления в диафрагменнои камере 22 плунжер 18 прижимает подложку

28 к шаблону 81. При этом шаровой сегмент

5 11 легко развора ивается, и происходит совмещение поверхности подложки с нижней поверхностью шаблона. При дальнейшем движении плунжера 18 вверх гнездо 10 плотно сконгактирует с шаровым сегментом. Положение плунжера 19 фиксирует фиксатор 20. В строго фиксированном положении производят экспонирование светочувствительного слоя на фотоподложке.

После снятия давления воздуха в камерах гнездо 10 с подложкой 28 опускаются на величину разности длин плунжеров 18 и 19, что создает зазор между подложкой и шаблоном для перемещения и совмещения.

20 Предмет изобретения

1. Устройство для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком подложки при контактной фотопечати, содержащее неподвижное основание, подвижной стол и поворотный столик, укрепленный с помощью полой трубы на неподвижном основании, отличающееся тем, что, с целью обеспечения постоянного равномерного зазора между фотошаблоном и подложкой вне зависимости от толщины и клиновидности последней, в нем подложка расположе. на на шаровом сегменте, размещенном в гнезде, кинематически связанном с двумя соосно расположенными плунжерами, различной длины, укрепленными на подвижном столике, внешний из которых снабжен пневматическим стопором, а внутренний — пневматическим приводом.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью устранения смещения подложки

40 относительно фотошаблона, в нем гнездо связано с подвижным столиком при помощи параллелограмма с пружинными шарнирами.

f90210

11 32 Z4 to Ю

Фиг, 2

Редактор Е. Кречетова

Заказ 8/18 Тираж 535 Подписное

1Ц-1ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типографии, пр. Сапунова, д. 2

Составитель А. Массон

Техред Т. П. Курилко

Корректоры; M. П. Ромашова и А. М. Смак