Кассета для загрузки электродных сплавов

 

2О3076

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКС А,7 . I,„,ETEËÜÑTÂÓ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Исеоок, „ тта г., . .з." ая

" Мтно-;, .

" ЛИО.ТЕКИ .

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.Х11.1964 (№ 934996/26-25) Кл, 21 о., 1 J,/ 02 с присоединением заявки ¹

МПК Н 011

Приоритет

Опубликовано 28.1Х.1967. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 15.XII,1967

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.382.3.002,2 (088.8) Авторы изобретения

О, Е. Цехановская, А. 3. Познанский, В. К. Черновский и В. П. Ковалевский

Таллинский радиотехнический завод им. Х. Пегельмана

Заявитель

КАССЕТА ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ЭЛЕКТРОДНЫХ СПЛАВОВ

В известных кассетах для загрузки электродных навесок трафареты имеют сквозные отверстия круглого сечения.

Предлагаемая кассета позволяет загружать на активные «мез໠— области полупроводниковой пластины сначала эмиттерные, а затем, после их вплавления, базовые электроды.

Для этого трафарет имеет углубления, соответствующие конфигурации «мез໠— области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру загружаемого электрода.

На фиг. 1 изображена описываемая кассета, общий вид; на фиг. 2 — кассета в разрезе.

Пластина 1 из полупроводникового материала с предварительно выделенными в виде

«меза» активными областями коллектора и нанесенной пленкой глицерина, размещенная на подвижном вкладыше 2, удерживается на основании 8 кассеты при помощи вакуума.

На кассету устанавливается юстировочная рамка (на чертежах не показана) и под микроскопом путем перемещения вкладыша 2

«мез໠— области на пластине 1 совмещаются с их изображением на визирном стекле.

Юстировочная рамка снимается, и на ее место ставится загрузочная рамка 4 с трафаретом 5. Трафарет изготовляется из молибдена методом фотолитографии с последующим электролитическим травлением.

На трафарет насыпаются шары эмиттерного сплава, и кассета приводится в возврат5 но-поступательное движение в горизонтальной плоскости. При этом шары закатываются в отверстия трафарета и фиксируются глицерином на пластине. Загрузочная рамка снимается, и пластина передается на вплавление.

10 При последующей загрузке базовых электродов б все операции повторяются с той разницей, что пластина 1 устанавливается на вкладыше 2 с поворотом на 180 относительно первоначального положения. При этом вплав15 ленные эмиттерные электроды 7 оказываются в углублениях на обратной стороне трафарета.

Предмет изобретения

Кассета для загрузки электродных сплавов

20 в производстве вплавных диффузионных триодов, содержащая трафарет, отличающаяся тем, что, с целью загрузки на активные «мез໠— области полупроводниковой пластины сначала эмиттерных, а затем, Нос7с их вплав25 ления, базовых электродов, ее трафарет содержит углубления, соответствующие конфигурации «мез໠— области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру за30 гружаемого электрода.

2ОЗО76

Ф г 1

Фиг 2

Техрст Л. Я. Бриккер Корректоры: И. Л Кириллова и М. П. Ромашова

Редактор Р. Чистова

Типография. ". р. Сапунова, 2

Заказ 3846<2 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам пзобрете шй и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4