Интерференционный прибор, основанный на использовании полос равного наклона
203927
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик па те,„„, 6...„-, I ,с
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 04.V1.1966 (М 1080778/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 09.Х.1967. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 22.Х11.1967
Кл. 42Ь, 12/02
МПК б 01Ь
УДК 531.715.1(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Э. П. Янушкевич
Заявитель
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРИЬОР, ОСНОВАННЫЙ
HA ИСПОЛЬЗОВАНИИ ПОЛОС РАВНОГО НАКЛОНА
Известен интерферометр Фабри — Перо, содержащий источник света, входную щель, объектив и окулярную систему.
Предлагаемый прибор отпичается от известных тем, что между объективом и измеряемым изделием установлен цилиндрический объектив, фокус которого совпадает с осью отверстия, диаметр которого измеряется.
Это позволяет измерять диаметры отверстий в изделиях из прозрачных материалов.
На чертеже изображена схема прибора.
Прибор содержит источник света (на чертеже не показан), входную щель 1, объектив
2 и окулярную систему 8. Между объективом и измеряемым изделием 4 установлен цилиндрический объектив 5. Свет от источника света через входную щель, полупрозрачное зеркало
6, объектив 2 и цилиндрический объектив в виде сходящегося к оси О пучка направляется сквозь прозрачную стенку изделия на цилиндрическую поверхность измеряемого отверстия, Цилиндрический объектив и изделие располагают один относительно другого таким образом, чтобы фокальная плоскость объектива совпала с осью измеряемого отверстия. При этом плоскость и ось входной щели должны быть параллельны оси измеряемого отверстия.
Отразившись от участков А и Б цилиндрической поверхности отверстия и снова пройдя объективы 5 и 2, свет с помощью полупрозрачного зеркала направляется в окулярную систему, которая позволяет наблюдать изображение щели и на ее фоне интерференционные полосы равного наклона в виде вырезанной
5 щелью системы колец.
Для измерения диаметров колец на окулярной пластинке нанесена шкала.
Диаметр отверстия d, равный удвоенной оптической разности хода лучей, отраженных от
10 участков А и Б цилиндрической поверхности отверстия, определяют по совпадению дробных долей полосы, подсчитанных по результатам измерения диаметров интерференционных колец для различных длин волн спект15 ральных линий одного или нескольких монохроматических источников света аналогично тому, как это делается при абсолютных измерениях эталона Фабри — Перо.
20 Предмет изобретения
Интерференционный прибор, основанный на использовании полос равного наклона, содержащий источник света, входную щель, объек25 тив и окулярную систему, отличающийся тем, что, с целью измерения диаметров отверстий в изделиях из прозрачных материалов, между объективом и измеряемым изделием установлен цилиндрический объектив, фокус которо30 ro совпадает с осью отверстия, диаметр которого измеряется.
203927!
Составитель Г. Ф. Корчагина
Текред Л. К. Малова Корректоры: Т. Д. Чунаева и В. В, Крылова
Редактор Б. С. Нанкина
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 3874/14 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретении и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
