Интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения
20I72I
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт, свидетельства №
Кл. 42h, 34/11
42h, 35/01
Заявлено 18.1 I.1966 (№ 1056750/26-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 08.IX.1967. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 1З.XI.1967
МПК G 02d
G 02d
УДК 531.715.1:535.818.8 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Д. T. Пуряев
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ
ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ
Известные интерферометры для контроля качества вогнутых параболических,поверхностей вращения, содержащие эталонную ветвь и рабочую ветвь с установленными в ней контролируемой деталью и компенсатором, не позволяют контролировать параболические поверхности выпуклых линз, расширить диапазон контролируемых фокусных расстояний параболических поверхностей линз с плоской второй поверхностью или исключить влияние их разнофокусности и контролировать линзы с асферической второй поверхностью.
Интерферометр по настоящему изобретению отличается от известных тем, что в нем компенсатор установлен на оптическом контакте со второй поверхностью контролируемой детали и выполнен в виде линзы с плоской поверхностью и коэффициентом преломления, равным коэффициенту преломления контролируемой детали, а,сумма толщин компенсатора и контролируемой детали равна фокусному расстоянию отр ажающей поверхности. Отличием является также и то, что компенсатор может быть выполнен в виде составленной из двух клиньев плоскопараллельной пластинки переменной толщины или кюветы с иммерсионной жидкостью.
На чертеже изображена, принципиальная схема описываемого интерферометра.
Интерферометр содержит источник света 1, точечную диафрагму 2, объектив 8,коллиматора, полупрозрачное зеркало 4, эталонный объектив 5, плоское зеркало б, дополнительную линзу 7, контролируемую линзу 8, объектив 9 для зрительной трубы и диафрагму 10.
В рабочей,ветви интерферометра на оптическом контакте со |второй поверхностью контролируемой линзы 8 установлена дополни10 тельная линза 7, плоская поверхность которой совпадает с фокальной,плоскостью отражающей параболической поверхности, а показатели преломления линз 7 и 8 одинаковы.
При этом толщина дополнительной линзы равна разности между фокусным расстоянием отражающей,параболической .поверхности и толщиной контролируемой линзы, На плоской поверхности дополнительной линзы 7 нанесено зеркальное, покрытие, размер которого
20 практически исключает центральное виньетирование. Такое устройство рабочей ветви интерферометра дает возможность осуществить ход лучей, при котором выпуклая параболическая поверхность работает как вогнутое параболическое зеркало, фокусируя действительные лучи, падающие, параллельным пучком на параболическую поверхность.
Предлагаемый способ позволяет контролировать качество выпуклых, параболических
30 линз только по интерфернционным кольцам, 201721
Получение интерференционных полос принципиально невозможно,,поэтому определение очень малых:погрешностей затруднено.
Описываемый интерферометр применим практически для любой формы второй, поверхности параболической линзы 8 (а, б, в, г).
При контроле серии одинаковых линз, например,,выпукло-плоских (в), дополнительную линзу можно выполнить переменной толщины, в виде двух,подBH?KHbIx клиньев, образующих,плоскопараллельную пластинку, с целью расширения диапазона фокусных расстояний отражающих параболических поверхностей или исключения влияния их разнофокусности. Для контроля линз, вторая поверхность которых является асферической, шлифованной или грубообработанной, последняя может быть установлена в кювете с иммерсионной жидкостью, показатель преломления которой равен показателю лреломления контролируемой линзы (г).
Предлагаемый способ принципиально не.применим для контроля линз, толщина которых больше фокусного расстояния отражающей параболической поверхности, и наиболее удачен для .контроля линз, имеющих небольшое,фокусное расстояние отражающей, параболической поверхности.
Применение современных источников света, например оптических квантовых генераторов, лозволит контролировать линзы, имеющие .практически неограниченное относительное отверстие отражающей, параболической поверхности,,при этом в рабочей ветви может быть установлено только одно .плоское зеркало, В зависимости от мощности применяемого источника света, параболическая поверхность либо имеет зеркальное покрытие, либо работает без него как полированная отражающая
5 поверхность.
Предмет изобретения
1. Илтерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей,враще10 ния, содержащий эталонную ветвь и рабочую ветвь с установленными в ней контролируемой деталью и комленсатором, отличающийся тем, что, с целью контроля, параболических поверхностей:выпуклых линз, компенсатор уста15 новлен,на оптическом .контакте со второй го верхно стью контролируемой детали и выполнен в виде линзы с плоской поверхностью и коэффициентом преломления, равным .коэффициенту преломления контролируемой дета20 ли, а сумма толщин компенсатора и контролируемой детали равна фокусному расстоянию отражающей, поверхности.
2. Интерферометр,по,п. 1, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона кон25 тролируемых фокусных расстояний .параболических поверхностей линз с плоской второй поверхностью или исключения влияния их разнофокусности, компенсатор выполнен в виде составленной из двух клиньев ллоскопа50 раллельной,пластинки.
3. Интер ферометр .по,п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля линз с асферической .второй поверхностью,,компенсатор выполнен в виде кюветы с иммерсионной жид35 костью.
201721
Составитель В. Ф. Вантории
Техред Т. П. Курилко Корректоры: Е. Ф. Полионова и Н. И. Быстрова
Редактор А. А. Эйдис
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 3455/16 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
