Контактный интерферометр уверского для линейных измерений

 

207427

ОП ИСА НИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Респуйлик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

3 аявлено 17.Ъ" 1.1965 (№ 1013170/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.Х11.1967. Бюллетень М 2

Дата опубликования описания 22.1I.1968

Кл. 421т, 34/11

МПК 6 02d

УДК 535 411(088.8) Комитет по делам ивооретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

И. Т. Уверский

Заявитель

КОНТАКТНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР УВЕРСКОГО

ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ

Контактные интерферометры предназначены для измерения наружных линейных размеров различных изделий методом сравнения с концевыми мерами.

Известен контактный интерферометр для линейных измерений, построенный по принципу двухлучевой интерференции света при контактном касании измеряемого объекта.

Известные контактные интерферометры для линейных измерений недостаточно точны потому, что не обеспечивают стабильность контактных сближений между измеряемым объектом и предметным столом.

Предлагаемый интерферометр свободен от указанного недостатка, Это достигается тем, что на линии, измерения установлены два отсчетных устройства с заданными измерительными усилиями. Между ними помещается измеряемый объект и сумма их показаний дает показание интерферометра с повышенной точностью.

На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого устройства. Два встречных отсчетных устройства интерферометра в основном одинаковы. Свет от источника 1 с помощью конденсора 2 проходит светофильтр

8 и попадает на пластину 4, которая разделяет свет на два когерентных пучка. Один из них направляется на неподвижное зеркало б, 2 а другой — на подвижное зеркало б, укрепленное на измерительном стержне 7.

Пучки света, отраженные зеркалами, проходят объектив 8 и направляются на приемное

5 устройство, например, экран 9 со шкалой.

Если разность хода лучей невелика, то световые потоки интерферируют в плоскости экрана-шкалы. В белом свете интерференционные полосы окажутся цветными и среди них чер10 ная ахроматическая полоса, видимая на шкале, может служить указателем положения измерительного стержня на оси прибора.

Измерение объекта 10 на предлагаемом интерферометре производится сравнительным

15 методом и заключается в определении суммы осевых смещений измерительных стержней обоих отсчетных устройств от их нулевых положений, установленных по образцовой мере или образцовому изделию.

20 На чертеже экраны показаны раздельно, в промышленном образце они могут быть совмещены известным способом.

Предмет изобретения

25 Контактный интерферометр для линейных измсрений, содержащий оптическую систему двухлучевого интерферометра, которая состоит из светоделительной пластины, подвижного и неподвижного зеркала, столика для измеря30 емого объекта и приемного устройства, отли207427

Составитель И. И. Небосклонова

Редактор Э. Н. Шибаева Техред Т. П. Курилко Корректоры: Л. М. Прохорова и Н. И. Быстрова

Заказ 31/9 Тираж 530 Подписпос

ЦНИИПИ Комптста по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Тнпография, пр. Сапунова, 2 чающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он содержит на оптической оси устройства вторую оптическую систему двухлучевого интерферометра, расположенную встречно относительно первой системы, +Ф при этом столик для измеряемого объекта расположен между оптическими системами, для направления интерференционных картин па приемное устройство на выходе оптической

5 систе: Ibl установлена система зеркал.