Патент ссср 203973
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскнз
СоциалистнчеДких
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено ЗО.V.1966 (№ 1085000126-25) Ь,л. 42h, 34/11 с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 09.Х.1967. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 20.Х11.1967.
МПК G 026
УД1(535.411(088.8) Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
ДИАМЕТРОВ ОТВЕРСТИЙ
Известны устройства для измерения линейных и угловых величин, построенные по схеме интерферометра Майкельсона.
Предложенный двухлучевой интерферометр позволяет измерять диаметры отверстий непосредственно в длинах световых волн, т. е. абсолютным интерференционным методом, что повышает точность измерения. Это достигается тем, что в интерферометре используют дополнительную оптическую систему, состоящую из двух соосных конических линз, установленную в рабочей ветви интерферометра Memory светоделительной пластиной и отражающей поверхностью.
На чертеже приведена схема описываемого интерферометра.
Свет от источника через входную диафрагму 1 и объектив KOJIJIHivIBTopa 2 падает !i2 светоделительную пластину 8. Здесь падающий луч разделяется на два. Один луч направляется в эталонную ветвь на компенсационную пластину 4, эталонное зеркало б, отражается от него и возвращается к пластине 8. Второй луч проходит через пластину 8 и попадает на коническую личзу б, которая преобразует его в систему плоских медианных пучков, выходящих из линзы под углом а к оптической оси системы. Световой лу l, отразившись от внутренней поверхности измеряемой детали 7, падает через вторую коническую линзу 8 на отражающую поверхность
9 (плоское зеркало). От зеркала 9 луч, пройдя весь путь в обратном направлении, возвращается к пластине 3 и интерферирует с лучом, отразившимся от зеркала б.
Интерференционную картину наблюдают с помощью объектива 10 через выходную диафр агму 11. Внутренняя поверхность отверстия наблюдается в виде кольца, представляющего собой проекцию цилиндрической поверхности на фронт волны света, прошедшего через коническую линзу.
Интерференционная картина имеет две с»стемы полос равной толщины, образованных лучами, прошедшими отверстие детали 7 и отраженными от поверхности отверстия, соогветственно системы полос А и В. Оптическая разность хода лучей 1, диаметр отверстия L и угол наклона лучей а, выходящих из линзы б, находятся в следующей зависимости:
= ".1, 2sin я где К вЂ” коэффициент, постоянный для данного иитерферометра (определяется при его аттестации). Оптическую разность хода определяют по совпадеишо дробных долей полосы, отсчитанных по смещению полос в системах интерференцио.шупх полос 4 и 3
30 для различных длин волн нескольких специ203973
Предмет изобретения
Составитель И. И. Небосклонова
Редактор В. H. Торопова Текред Л. Я. Бриккер Корректоры: А. П. Татариицева и В. В. Крылова окав 3870;7 Тираж 535 Подписиос
Ц(-!ИИПИ Комитета по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров СССР
Москва, j lellTj), пр. СеpoBB, д 4
Типографии, ир. Сапунова, 2 альных линий монохроматического источника света, аналогично тому, как это делается при абсолютных измерениях концевых мер на интерферометре Кестерса.
Двухлучевой интерферометр для измерения диаметров отверстий, содержащий осветительную систему, светоделительную пластину, эталонную и рабочую ветвь с отражающими поверхностями и регистрирующую систему, отлича ощийся тем, что, с целью увеличения точности измерения путем измерения диаметра отверстия непосредственно в длинах световых волн, в рабочей ветви интерферометра между светоделительной пластиной и отражающей поверхностью установлена оптическая система из двух соосных конических линз, создающая в поле зрения интерферометра две концентрические системы интерференционных полос равной толщины.
