Способ удаления органических покрытий и загрязнений с изделий

 

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К ПАТЕНТУ

Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам (21) 5008976/12 (22) 18.1 1.91 (46) 15.12.93 Бюл. ¹ 45-46 (76) Ястребов Виктор Георгиевич; Агриков Юрий

Михайлович (54) СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ И ЗАГРЯЗНЕНИЙ С ИЗДЕПИЙ (57) Использование: для изготовления интегральных схем. Сущность изобретения: изделия с орга()s) RU (u) 2004364 1 (5Ц 5 В 08 В 7 00 ническими покрытиями и загрязнениями обрабатывают факелом кислородно-водородного пламени.

Кислород и водород для формирования пламени получают путем электролиза дистиллированной воды на твердых электролитах или ионнообменных смолах Создают между факелом и поверхностью изделия дополнительный поток нейтрального или реакционно-способного газа. 2 з.п ф-лы.

2004364

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а более конкретно к процессам удаления органических маскирующих покрытий и органических загрязнений с поверхности полупроводниковых подложек, использующихся для изготовления интегральных схем.

Известен способ удаления органических покрытий с иэделий путем подачи на поверхность изделий струи нагретого сжатого воздуха при ее перемещении над изделием.

Данный способ не может быть использован иэ-за низкой эффективности, поскольку при удалении органических маскирующих покрытий происходит лишь оплавление фоторезистивной маски, Кроме того, необходимы очистка и нагрев воздуха, что требует специального нагревательного устройства с высоким энергопотреблением и низким КПД, Ближайшим аналогом является способ удаления органических покрытий и загрязнений с изделий-путем нагрева их поверхности факелом газового пламени при относительном взаимном перемещении факела и иэделия.

Недостатком данного способа является малая эффективность способа в условиях сверхчистого производства интегральных схем, поскольку после очистки последних остаются загрязнения и сокращается количество годных иэделий.

Целью изобретения является повышение эффективности очистки для увеличения числа годных изделий, Данная цель достигается тем, что в способе удаления органических покрытий и загрязнений с изделий путем нагрева их поверхности факелом газового пламени при относительном взаимном перемещении факела и изделия, согласно изобретению, в качестве газа для создания пламени используют кислородноводородную смесь при соотношении. обеспечивающем ее сгорания, Кислородно-водородную смесь получают электролизом дистиллированной воды на твердых электролитах или ионно-обменных мембранах. Для защиты поверхности иэделий от переосаждения удаляемых продуктов и регулирования тепловых и физико-химических характеристик пламени между факелом и поверхностью изделия, дополнительно создают поток нейтрального или реакционноспособного газа с газодинамическим напором, не превышающим напора факела газового пламени. Для создания факела кислородно-водородного пламени может быть использована подача сетевых (баллонных) газов в горелках.

Способ реализуют следующим образом.

На иэделие направляют факел кислородно-водородного пламени при взаимном перемешении факела и иэделия. При этом расстояние между поверхностью изделия и срезами сопел горелки, расходы газов и скорость взаимного перемешения факела и изделия выбирают экспериментально.

Основной критерий пригодности процесса— возгонка (абляция) маскирующего покрытия без его обугливания с эффективным выно"5 сом продуктов из зоны очистки эа счет газодинамического напора потоков. Для исключения загрязнения поверхности микрочастицами из внешней среды, а также для принудительного охлаждения и реализации, в частности, и эффекта адсорбционногазовой защиты, организуют подачу в зону обработки между факелом и изделием (под факел) ламинарного потока обеспыленного инертного или реакционно-способного газа.

Основными преимуществами предлагаемого способа являются;

Исключение попадания на поверхность иэделия микрочастиц, в частности, в виде углерода и его соединений из факела пламени, так как при сгорании чистой кислородноводородной смеси образуется лишь водяной пар.

Возможность создания в факеле избытка кислорода или водорода. что позволяет воздействовать на состояние поверхности иэделия (окисление-восстановление), т,е. модифицировать ее, Защита изделия от попадания на него микрочастиц и других примесей из окружа40 ющей атмосферы и от переосаждения продуктов обработки путем подачи под факел пламени потока инертного или реакционноспособного газа с динамическим напором, не превышающим напора факела.

45 Кроме того, этот прием позволяет регулировать теплофизические характеристики процесса обработкй изделия.

Расширение технологических возможностей процесса за счет подачи выбранного

50 состава указанного допблнительного газового потока под факел. Это позволяет осуществлять такие новые виды воздействия на поверхность изделия как ее адсорбционно-газовая защита или наоборот, прецизионное послойное травление (при использовании, например, фреона или гексафторида серы). (56) Авторское свидетельство СССР

М 927351, кл. В 08 B 7/04, 1982. 004364

Формула изобретения

Составитель В,Шиманская

Техред М.Моргентал Корректор С.Лисина

Редактор А.Зробок

Заказ 3368

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Михайлова А.А, и Игнатьев P.À. "П,эотивокоррозионная защита сельскохозяйст1. СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ И ЗАГРЯЗНЕНИЙ С

ИЗДЕЛИЙ путем нагрева их поверхности факелом газового пламени при относительном взаимном перемещении факела и изделия, отличающийся тем, что в качестве газа для создания пламени используют кислородно-водородную смесь и ри соотношении, обеспечивающем ее сгорание. венной техники". Справочник, Москва, Россельхозиздат, 1981, с, 104 — прототип, 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют кислородно-водородную смесь, полученную злектролизом дистиллированной воды на твердых электролитах или ионно-обменных мембранах.

3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что между факелом газового пламени и поверхностью иэделия дополнительно создают поток нейтрального или реакцион15 носпособного газа с газодинамическим напором, не превышающим напор факела газового пламени.