Интегральный кремниевый тензоакселерометр

 

1. Интегральный кремниевый тензоакселерометр, содержащий выполненные из единой монокристаллической кремниевой подложки с рабочими поверхностями в одной плоскости основание, закрепленное в корпусе, инерционную массу и соединяющий их концентратор механических напряжений, толщина которого меньше толщины основания, на рабочей поверхности концентратора механических напряжений в монокристалле расположены диффузионные тензорезисторы, соединенные металлизацией в мостовую измерительную схему, узлы которой выведены на расположенные на основании контактные площадки, отличающийся тем, что на кремниевой инерционной массе размещен дополнительный груз, масса которого больше кремниевой инерционной массы, при этом общий центр тяжести кремниевой инерционной массы и дополнительного груза равноудален от плоскостей рабочей и противоположной ей нерабочей поверхностей концентратора.

2. Тензоакселерометр по п.1, отличающийся тем, что дополнительный груз выполнен из материала, температурный коэффициент расширения которого отличается от температурного коэффициента расширения кремния не более чем в 3 раза.

3. Тензоакселерометр по п.1, отличающийся тем, что дополнительный груз соединен с инерционной массой со стороны нерабочей поверхности подложки.