Силовой диффузионный лавинный вентиль
2I3I95
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Goes Советских
-Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 08.Ч!!.1966(№ 1088461/26-25) с присоединением заявки №
Кл. 21g, 11/02
МПК Н 01l
УД К 621.382,002.621.314. .632 (088.8) Приоритет
Опубликовано 12Л11.1968. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 7Х.1968
Комитет по делам ивобретеиий и открытий при Совете тлииистров
СССР
Авторы изобретения
А. Д. Булкин и В. П. Михайлов
Заявитель
СИЛОВОЙ ДИФФУЗИОННЫЙ ЛАВИННЫЙ ВЕНТИЛЬ
Область использования настоящего изобретения — силовая полупроводниковая техника.
Известна конструкция диффузионных лавинных вентилей, например, на основе и-кремния. в которых для повышения напряжения поверхностного пробоя создается кольцевая низкоомная область на периферии полупроводниковой пластины, так называемое «защитное кольцо». В этих вентилях «ступенчатый» р — и — переход выводится на боковую поверхность полупроводниковой пластины посредством снятия фаски.
Предлагаемая диффузионная р — и — структура отличается от известной тем, что р — и —— переход выходит на поверхность эмиттерной стороны пластины и может быть вскрыт, например, травлением кольцевой периферийной области пластины кислотными травителями типа CP-4.
Кроме того, предлагаемая конструкция р — п — структуры позволяет осуществить вскрытие р и — переходов непосредственно на пластинах, до пайки их на компенсирующие электродные диски; использовать для защиты р — n — переходов термостойкие кремний-органические лаки; вести контроль р — и— переходов по вольтамперной характеристике на пластинах, применить одновременную пайку кристалла на оба электродных диска.
Высокая эффективность применения предлагаемой р — и — структуры в силовых полупроводниковых лавинных вентилях обусловлена тем, что в этой структуре, в отличие от известной, «защитное кольцо» расположено не на периферии полупроводниковой пластины, а на некотором расстоянии от ее края. Вследствие этого «ступенчатый» р — и — переход имеет дополнительную (внешнюю) область, выходящую на «эмиттерную» сторону пластины.
Вентили. исполненные на основе предлагаемой р — и — структуры, по электрическим параметрам надежности и проценту выхода годных изделий превосходят известные лавинные вентили с «защитным кольцом».
20 Предмет изобретения
Силовой диффузионный лавинный вентиль, содержащий кольцевую низкоомную область эмиттера, отличающийся тем. что, с целью улучшения электрических параметров и на25 дежности, вышеуказанная область эмиттера окружена базовой областью.
