Электролюминесцентный экран и способ его изготовления

 

Изобретение относится к технической физике. Технический результат - создание электролюминесцентного экрана, позволяющего при малом рабочем токе увеличить быстродействие путем снижения величины паразитной емкости конструкции, увеличить величину светового выхода и создать светоизлучающие приборы большой площади. А также создание способа изготовления электролюминесцентного экрана, позволяющего уменьшить затраты на его изготовление при использовании традиционных (известных из уровня техники) технологических процессов для формирования точечных контактов на больших площадях. Электролюминесцентный экран содержит: слой 1 люминофора; размещенный на нем слой 2 для разогрева подвижных носителей заряда; слой 4 диэлектрической изоляции; группы контактов 8; адгезионный слой (АС) 3, размещенный между слоем 4 и слоем 2. В слое 4 и в АС 3 выполнено множество сквозных отверстий 5 и 6. Каждое отверстие 5 в слое 4 сужается в направлении АС 3 и соосно переходит в соответствующее отверстие 6 в АС 3. Каждая группа контактов 8 представляет собой ограниченный по площади слой электропроводящего материала, который покрывает слой 4, включая стенки отверстий 5 в этом слое, а также стенки отверстий 6 в АС 3 и оголенные участки поверхности слоя 2, функционально являющиеся дном отверстий 6 в АС 3. В результате на указанных участках образуются точечные контакты 8. Группы контактов 8 соединены между собой параллельно. Слой 2 выполнен высокоомным по отношению к указанному слою 1 люминофора и с толщиной не менее длины свободного пробега носителя заряда в этом слое. Толщина АС 3 не превышает величины диаметра отверстий 6 в этом слое 3. Способ изготовления экрана включает формирование: слоя 1 люминофора, слоя 2 для разогрева подвижных носителей заряда, слоя 4 диэлектрической изоляции, а также отдельных групп контактов 8. Слой 2 формируют на поверхности слоя 1 люминофора. На поверхность слоя 2 наносят АС 3. Для формирования слоя 4 изготавливают диэлектрическую пленку, формируют в ней сквозные сужающиеся отверстия 5 и стороной с узкими выходами отверстий 5 указанную пленку приводят в контакт с АС 3. Через отверстия 5 формируют сквозные отверстия 6 в АС 3. На поверхности слоя 4, включая стенки отверстий 5 в этом слое 4, а также на стенках отверстий 6 в АС 3 и оголенных участках поверхности слоя 2 формируют слой электропроводящего материала. Группы контактов 8 формируют посредством проведения по слою электропроводящего материала операции литографии. 2 с. и 19 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области технической физики и может быть использовано при изготовлении люминесцентных экранов, преимущественно, телевизионных, а также для компьютерной техники.

Известен плоский электролюминесцентный экран, содержащий подложку, матрицу электропроводящих элементов в виде строк и столбцов, размещенную на подложке, слой люминофора с активаторами люминесценции, слой для разогрева электронов, выполненный из полупроводника, отдельные группы контактов, выполненные в виде микроострий, в областях между которыми размещен диэлектрический материал (RU, 2155412 С1, кл. Н 01 J 29/18, опубл. 27.08.2000 г.).

Известен способ изготовления электролюминесцентного экрана (RU 2155412 С1), включающий формирование отдельных групп контактов в виде множества микроострий, конденсацию на вершинах микроострий пленки полупроводника в виде слоя для разогрева электронов, конденсацию на этом слое пленки люминофора с активаторами люминесценции и размещение диэлектрического материала в областях между микроостриями.

К недостаткам известного экрана можно отнести следующие: - отсутствие электроизоляции между шинами строк и столбцов, что делает невозможным формирование изображения методом матричной адресации; - цилиндрическая форма микроострий при больших отношениях высоты цилиндра к его диаметру создает высокое электросопротивление каждого микроострия, что приводит к разогреву микроострия рабочим током и тепловой деградации материала микроострия, а при уменьшении рабочего тока снижается яркость экрана; - при уменьшении высоты микроострия увеличивается емкость между шинами и слоем полупроводника, что приводит к снижению быстродействия экрана; - экран может иметь люминофоры только с дырочной проводимостью, поскольку в слой люминофора из слоя для разогрева электронов переносится поток разогретых электронов, для рекомбинации которых необходимы дырки; - разогрев электронов может дать увеличение яркости экрана только в том случае, если он приводит к увеличению скорости рекомбинации; в известном экране дополнительная энергия, полученная электронами от электрического поля на длине свободного пробега, при отсутствии условий возникновения лавинного пробоя, будет быстро передана кристаллической решетке, не успев выделиться в виде квантов светового излучения.

К недостаткам известного способа изготовления электролюминесцентного экрана можно отнести применение сложных и дорогостоящих технологических операций при изготовлении экрана, в частности, при формировании микроострий.

В основу настоящего изобретения поставлена задача создания электролюминесцентного экрана, позволяющего при малом рабочем токе увеличить быстродействие путем снижения величины паразитной емкости конструкции, увеличить величину светового выхода и создать светоизлучающие приборы большой площади.

В основу настоящего изобретения также поставлена задача создания способа изготовления электролюминесцентного экрана, позволяющего уменьшить затраты на его изготовление при использовании традиционных (известных из уровня техники) технологических процессов для формирования точечных контактов на больших площадях.

Поставленная задача в отношении объекта изобретения "устройство" осуществляется посредством того, что электролюминесцентный экран, содержащий слой люминофора с активаторами люминесценции, размещенный на нем слой для разогрева подвижных носителей заряда, слой диэлектрической изоляции и отдельные группы контактов, разнесенные по экрану, согласно изобретению, дополнительно содержит адгезионный слой, размещенный между слоем диэлектрической изоляции и слоем для разогрева подвижных носителей заряда с возможностью обеспечения соединения этих слоев, в слое диэлектрической изоляции и в адгезионном слое выполнено множество сквозных отверстий таким образом, что каждое отверстие в слое диэлектрической изоляции сужается в направлении адгезионного слоя и соосно переходит в соответствующее отверстие в адгезионном слое, каждая группа контактов представляет собой ограниченный по площади слой электропроводящего материала, который покрывает слой диэлектрической изоляции, включая стенки отверстий в этом слое, а также стенки отверстий в адгезионном слое и оголенные участки поверхности слоя для разогрева подвижных носителей заряда, функционально являющиеся дном отверстий в адгезионном слое, тем самым образуя на указанных участках точечные контакты, при этом группы контактов соединены между собой параллельно, слой для разогрева подвижных носителей заряда выполнен высокоомным, по отношению к указанному слою люминофора, и с толщиной не менее длины свободного пробега носителя заряда в этом слое, а толщина адгезионного слоя не превышает величины диаметра отверстий в этом слое.

Целесообразно, чтобы указанные слой для разогрева подвижных носителей заряда и слой люминофора были выполнены из полупроводникового материала, причем полупроводниковый материал слоя люминофора должен иметь примесь, активирующую люминесценцию.

В этом случае указанный слой люминофора может иметь как n-тип проводимости, так и р-тип проводимости.

Допустимо, чтобы указанный слой люминофора и слой для разогрева подвижных носителей заряда были выполнены из полимера.

Слой диэлектрической изоляции также может быть выполнен из полимера, в частности из полиимида.

Для любого из указанных случаев слой электропроводящего материала может быть выполнен из металла с примесью, являющейся мелким донором для слоя для разогрева подвижных носителей заряда или из полимера.

В ряде случаев оптимально, чтобы слой для разогрева подвижных носителей заряда имел бы тот же тип проводимости, что и слой люминофора.

В определенных случаях слой электропроводящего материала может быть выполнен в виде двух монослоев, один из которых является металлическим, а другой - полимерным.

Оптимально, чтобы ось каждого (вышеуказанного) сквозного отверстия была ориентирована ортогонально поверхности слоя для разогрева подвижных носителей заряда.

Поставленная задача в отношении объекта изобретения "способ" решается посредством того, что в способе изготовления электролюминесцентного экрана, включающем формирование: слоя люминофора с активаторами люминесценции, слоя для разогрева подвижных носителей заряда, слоя для диэлектрической изоляции, а также отдельных групп контактов, разнесенных по экрану, согласно изобретению, слой для разогрева подвижных носителей заряда формируют на поверхности указанного слоя люминофора, на поверхность слоя для разогрева подвижных носителей заряда наносят адгезионный слой, затем, для формировании слоя для диэлектрической изоляции, изготавливают пленку диэлектрической изоляции, формируют в ней, преимущественно, методом анизотропного травления сквозные направленно сужающиеся отверстия и стороной с узкими выходами отверстий указанную пленку под давлением приводят в механический контакт с поверхностью адгезионного слоя, далее, для активации процесса адгезии, проводят термообработку изделия, после этого методом травлении через вышеуказанные отверстия формируют сквозные отверстия в адгезионном слое, далее, на поверхности слоя диэлектрической изоляции, включая стенки отверстий в этом слое, а также на стенках отверстий в адгезионном слое и оголенных участках поверхности слоя для разогрева подвижных носителей заряда формируют слой электропроводящего материала, после чего, для получения отдельных групп контактов, по слою электропроводящего материала проводят операцию литографии.

Целесообразно слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формировать из полупроводникового материала, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда обеспечивать эпитаксиальным наращиванием методом осаждения из газовой, либо жидкой фазы, или методом молекулярных пучков в вакууме.

Допустимо: - слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формировать из полупроводникового материала, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят напылением с последующей перекристаллизацией напыленного слоя; - слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формировать из полимера, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят нанесением мономера посредством центрифугирования с последующей полимеризацией мономера; - слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формировать из полимера, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят распылением мономера на поверхность указанного слоя люминофора с последующей полимеризацией мономера.

Целесообразно отдельные группы контактов получать посредством проведения по слою электропроводящего материала операции взрывной литографии.

Возможно слой электропроводящего материала формировать из металла с примесью, являющейся мелким донором для слоя для разогрева подвижных носителей заряда, при этом слой электропроводящего материала оптимально формировать либо напылением, либо осаждением из газовой фазы с последующей термообработкой.

Слой электропроводящего материала может быть сформирован из полимера посредством нанесения мономера на центрифуге или распылением мономера, с последующей полимеризацией мономера в обоих указанных случаях Кроме того, слой электропроводящего материала может быть сформирован в виде двух монослоев, один из которых формируют из металла, а другой из полимера.

Изобретение иллюстрируется чертежами.

Фиг. 1 - поперечный разрез фрагмента электролюминесцентного экрана с одной группой контактов без токоподводящих шин.

Фиг.2 - поперечный разрез узла токоподводящих шин.

Фиг. 3 - вид в плане на фрагмент экрана со стороны токоподводящих шин, в зоне которых латинскими буквами (в двойных квадратах) условно обозначены соответствующие каждой шине люминофоры (R - красный, G - зеленый, В - синий), образующие стандартную цветовую триаду в каждом дискретном пикселе (цветовоспроизводящем элементе) экрана, которые формируют цветовоспроизведение исходного объекта (посредством инициации по заданной программе отдельного люминофора и/или совокупности люминофоров в соответствующих микроразрядных ячейках каждого пиксела).

Электролюминесцентный экран (в дальнейшем, сокращенно - экран) согласно фиг. 1 содержит слой люминофора 1 с активаторами люминесценции, имеющий определенный тип проводимости. Слой люминофора 1 может быть выполнен из полупроводника электронного (n-тип), либо дырочного (р-тип) типа проводимости, например из ZnS с примесью, активирующей люминесценцию (активатор люминесценции), или может быть выполнен из полимера (полимерный люминофор).

На поверхности слоя 1 люминофора сформирован слой 2 для разогрева подвижных носителей заряда, имеющий тот же тип проводимости, что и слой 1 люминофора. Слой 2 выполнен из того же материала, что и слой 1, но без примеси, активирующей люминесценцию, т.е. слой 2 может быть выполнен из полупроводника или из полимера.

На поверхности слоя 2 сформирован адгезионный слой 3, который может быть выполнен из полимеризованного клея, например, фоторезиста или из лака на основе полиимидов. Адгезионный слой 3 необходим для соединения слоя 2 и слоя 4 диэлектрической изоляции, размещенного на адгезионном слое 3 и выполненного, например, из полимера, в частности из полиимида.

В слое 4 диэлектрической изоляции и в адгезионном слое 3 выполнено множество сквозных отверстий, соответственно, 5 и 6. Отверстия 5 в слое 4 выполнены направленно сужающимися в сторону адгезионного слоя 3, например, конической формы. Каждое отверстие 5 на границе с адгезионным слоем 3 соосно переходит в соответствующее отверстие 6 в слое 3. Таким образом, количество отверстий 5 в слое 4 диэлектрической изоляции равно количеству отверстий 6 в адгезионном слое 3. Все отверстия представляют собой пары коаксиально расположенных отверстий 5 и 6. В предпочтительном варианте ось каждого отверстия 5 и 6 (или ось каждой пары отверстий 5 и 6) ориентирована ортогонально по отношению к поверхности слоя 2 для разогрева подвижных носителей заряда.

На фиг. 1 показана одна из отдельных, разнесенных по экрану, групп контактов. Группа контактов представляет собой ограниченный по площади слой 7 электропроводящего материала, который покрывает слой 4 диэлектрической изоляции, включая стенки отверстий 5 в этом слое, а также покрывает стенки отверстий 6 в адгезионном слое 3 и оголенные участки поверхности слоя 2, функционально являющиеся дном отверстий 6. В результате на указанных оголенных участках образованы точечные контакты 8, являющиеся фрагментами слоя 7 электропроводящего материала и образующие группу точечных контактов.

Другие элементы, обычно применяемые в подобных экранах, такие как оптически прозрачная подложка с оптически прозрачными электродами, токоподводящие шины с электрической изоляцией между шинами и т.д., на фиг.1 условно не показаны.

Слой 2 для разогрева подвижных носителей заряда является высокоомным (т. е. имеет большее удельное сопротивление), а также имеет тот же тип проводимости по отношению к слою 1 люминофора и выполнен, преимущественно, с толщиной не менее длины свободного пробега носителя заряда в этом слое 2, например, электрона. Толщина адгезионного слоя 3 (в оптимальном случае) не должна превышать величину диаметра отверстий 6 в этом слое. Толщина слоя 7 выбирается, как правило, не менее необходимой для обеспечения возможности протекания в экране рабочего тока, а материалом этого слоя может быть металл с примесью, являющейся мелким донором для слоя 2, или полимер.

Возможен вариант, когда слой 7 может быть выполнен двуслойным и состоящим из монослоя металла и монослоя полимера, находящегося в контакте со слоями 2, 3 и 4.

Сужающаяся форма отверстий 5 обеспечивает отсутствие разрывов электропроводящего материала слоя 7 на стенках этих отверстий даже в том случае, когда отношение толщины слоя 4 диэлектрической изоляции к диаметру отверстий 6 в адгезионном слое 3 превосходит величину, равную десяти. Указанное отношение может находиться в диапазоне 10-200, что позволяет свести к минимуму паразитные емкости конструкции.

Таким образом, предлагаемая конструкция экрана позволяет формировать параллельно соединенные группы точечных контактов 8, диаметр которых может находиться в субмикронном диапазоне размеров при толщине слоя 4 диэлектрической изоляции не менее 10 мкм. Такое соотношение размеров диаметров контактов 8 и толщины слоя 4 позволяет при малом рабочем токе экрана увеличить его быстродействие путем снижения величины паразитной емкости конструкции между слоями 2 и 7.

На фиг.2 показан разрез узла токоподводящих шин 9 и 10, по которым напряжение питания и управления подается на слой 7 электропроводящего материала, и его расположение относительно группы из двух контактов 8 и слоя 7. Для упрощения слой 7 на фиг.2 показан образующим группу только из двух контактов 8. В этот узел входят также два слоя 11 и 12 электрической изоляции, из которых слой 11 является слоем дополнительной навесной электрической изоляции шины 9, выполненным, как и слой 12, например, из сухого пленочного фоторезиста. Этот слой 11 перекрывает свободные от слоя 7 отверстия 5 без заполнения объема этих отверстий материалом слоя. Слой 12 изолирует шины 9 и 10 друг от друга в местах вне группы контактов. Над группой контактов шины 9 и 10 находятся в электрическом контакте друг с другом, как показано на фиг.2, т.е. шина 9 размещена на слое 7, а шина 10 - на шине 9.

На фиг.3 в качестве примера показано взаимное расположение шин 9 и 10 и слоев 11 и 12 в области трех групп контактов R, G и В в случае с тремя слоями люминофоров, которые составляют стандартную цветовую RGB (красный, зеленый, синий) триаду. Группы контактов соединены параллельно. В реальности каждая группа контактов содержит не менее 100 точечных контактов.

Рассмотрим работу устройства на примере экрана, в котором используется слой 1 люминофора и слой 2 для разогрева подвижных носителей заряда, выполненные из полупроводника с электронной (n-тип) проводимостью.

При подаче положительного потенциала на слой 7 электропроводящего материала начинается дрейф электронов из слоя 1 люминофора в слой 2 для разогрева подвижных носителей заряда и из слоя 2 к точечным контактам 8. Контакты 8 выполнены с малой шириной слоя объемного заряда (30-70 ангстрем), практически не препятствующей переносу электронов из слоя 2 в слой 7. Дрейф электронов в слой 7 сопровождается формированием в слое 2 области сильного электрического поля.

Приближенное выражение для распределения напряженности Е_(x) электрического поля в слое 2 в дрейфовом приближении (область слабых полей) имеет вид:

где I - величина силы тока;
σ_i- удельная электропроводность слоя 2;
s_(x) - площадь эквипотенциальных поверхностей в слое 2;
х - координата в направлении, ортогональном поверхности слоя 2, от точечного контакта в сторону слоя 1 люминофора.

Минимальная величина s_(x) равна площади точечного контакта 8.

Из выражения (1) видно, что при малых величинах площади точечного контакта величина напряженности электрического поля, достаточная для начала эффектов сильного поля (лавинного пробоя), может быть получена при малых величинах тока электронов.

Электроны, дрейфующие в области сильного поля, разогреваются до величины, достаточной для начала ударной ионизации, приводящей к генерации электронно-дырочных пар. Сгенерированные электроны переносятся в слой 7, а сгенерированные дырки переносятся из области лавинного пробоя (слой 2) в слой 1 люминофора, где рекомбинируют с электронами. При излучательной рекомбинации дырок с электронами происходит генерация светового излучения.

В случае использования люминофоров и слоя 2 с дырочной проводимостью (р-типа), генерация светового излучения происходит аналогично (при подаче отрицательного потенциала на слой 7, но ударная ионизация вызывается дырками). Сгенерированные в области лавинного пробоя (слой 2) электроны переносятся в слой 1 люминофора, где рекомбинируют с дырками с выделением энергии в виде светового излучения.

Следует заметить, что в экранах, где слой 2 имеет электронную проводимость, применяется один тип электропроводящего материала в слое 7, отличный от типа электропроводящего материала в случае дырочной проводимости в слое 2. Такой выбор электропроводящего материала связан с тем, что оптимальный для одного типа проводимости слоя 2 материал не является оптимальным для другого типа проводимости слоя 2.

Специфичной особенностью контакта с малой площадью (точечного контакта) является возможность формирования с его помощью неоднородного электрического поля вблизи контакта при протекании тока даже в электронейтральных средах, причем эта неоднородность обусловлена только спецификой геометрии контакта. Достаточно большая для начала лавинного пробоя напряженность электрического поля благодаря малости площади точечного контакта достигается при малых рабочих напряжениях, например 30-40 В, при диаметре контакта, равном 1 мкм.

В случае использования люминофоров с достаточно высоким световым выходом, например, ряда полимерных материалов, величина тока лавинного пробоя минимальна. Высокий световой выход обеспечивается непосредственно самим люминофором при малых рабочих токах. Достаточно обеспечить дрейф в области рекомбинации малого количества электронов (для дырочного люминофора) или дырок (для люминофора с электронной проводимостью), которые практически все рекомбинируют с генерацией квантов света.

Точечный контакт может быть поставщиком в область рекомбинации как электронов, так и дырок. Эта особенность позволяет использовать точечный контакт при работе как с электронными, так и с дырочными люминофорами.

Способ изготовления электролюминесцентного экрана осуществляется следующим образом.

На поверхности слоя 1 люминофора с активаторами люминесценции формируют слой 2 для разогрева подвижных носителей заряда. В зависимости от выбора материала слоя 1 и слоя 2 могут быть использованы различные методы формирования слоя 2.

При использовании полупроводниковых слоев 1 и 2 формирование слоя 2 проводят либо эпитаксиальным наращиванием методом осаждения из газовой или жидкой фазы или методом молекулярных пучков в вакууме, либо напылением с последующей перекристаллизацией напыленного слоя.

При использовании полимерных слоев 1 и 2 слой 2 формируют либо нанесением слоя мономера на центрифуге с последующей полимеризацией мономера, либо распылением мономера на поверхность слоя 1 люминофора с последующей полимеризацией мономера.

На поверхность слоя 2, например, методом нанесения на центрифуге или распылением, наносят адгезионный слой 3. Затем при формировании слоя 4 диэлектрической изоляции изготавливают пленку диэлектрической изоляции, формируют в ней методом анизотропного травления сквозные сужающиеся отверстия 5 и стороной с узкими выходами отверстий указанную пленку методом прижима, например, потоком газа, либо накаткой валиком, либо прессом приводят в механический контакт с поверхностью адгезионного слоя 3.

Для активации процесса адгезии проводят термообработку изделия. После этого методом жидкостного, либо газофазного, либо ионного, либо плазменного, либо плазмохимического травления через отверстия 5 в слое 4 диэлектрической изоляции формируют сквозные отверстия 6 в адгезионном слое 3. Далее на поверхности слоя 4 диэлектрической изоляции, включая стенки отверстий 5 в этом слое, а также на стенках отверстий 6 в адгезионном слое 3 и на оголенных участках поверхности слоя 2 формируют слой 7 электропроводящего материала методом напыления, либо осаждения из газовой фазы, либо нанесением и последующей полимеризацией мономера.

После этого для получения отдельных групп контактов по слою 7 электропроводящего материала проводят операцию литографии, в частности, взрывной литографии.

В случае, когда слой 7 электропроводящего материала выполнен из металла с примесью, являющейся мелким донором для слоя 2 для разогрева подвижных носителей заряда, слой 7 формируют либо напылением, либо осаждением из газовой фазы с последующей термообработкой. В случае когда слой 7 выполнен из полимера, указанный слой 7 формируют нанесением мономера на центрифуге или распылением мономера с последующей полимеризацией мономера в том или другом указанных методах формирования.

Таким образом заявленные технические решения могут быть широко использованы в различных областях техники и народного хозяйства для обеспечения возможности создания электролюминесцентных экранов, позволяющих при малом рабочем токе увеличить их быстродействие, путем снижения величины паразитной емкости конструкции, а также увеличить величину светового выхода и создать светоизлучающие приборы большой площади (например, рекламные и/или информационные панели массового пользования).

Формула изобретения

1. Электролюминесцентный экран, содержащий слой люминофора с активаторами люминесценции, размещенный на нем слой для разогрева подвижных носителей заряда, слой диэлектрической изоляции и отдельные группы контактов, разнесенные по экрану, отличающийся тем, что экран дополнительно содержит адгезионный слой, размещенный между слоем диэлектрической изоляции и слоем для разогрева подвижных носителей заряда с возможностью обеспечения соединения этих слоев, в слое диэлектрической изоляции и в адгезионном слое выполнено множество сквозных отверстий так, что каждое отверстие в слое диэлектрической изоляции сужается в направлении адгезионного слоя и соосно переходит в соответствующее отверстие в адгезионном слое, каждая группа контактов представляет собой ограниченный по площади слой электропроводящего материала, который покрывает слой диэлектрической изоляции, включая стенки отверстий в этом слое, а также стенки отверстий в адгезионном слое и оголенные участки поверхности слоя для разогрева подвижных носителей заряда, функционально являющиеся дном отверстий в адгезионном слое, тем самым образуя на указанных участках точечные контакты, при этом группы контактов соединены между собой параллельно, слой для разогрева подвижных носителей заряда выполнен высокоомным, по отношению к указанному слою люминофора, и с толщиной не менее длины свободного пробега носителя заряда в этом слое, а толщина адгезионного слоя не превышает величины диаметра отверстий в этом слое.

2. Экран по п. 1, отличающийся тем, что указанные слой для разогрева подвижных носителей заряда и слой люминофора выполнены из полупроводникового материала, причем полупроводниковый материал слоя люминофора имеет примесь, активирующую люминесценцию.

3. Экран по п. 2, отличающийся тем, что указанный слой люминофора имеет n-тип проводимости.

4. Экран по п. 2, отличающийся тем, что указанный слой люминофора имеет р-тип проводимости.

5. Экран по п. 2, отличающийся тем, что указанный слой люминофора и слой для разогрева подвижных носителей заряда выполнены из полимера.

6. Экран по любому из пп. 1-5, отличающийся тем, что слой диэлектрической изоляции выполнен из полимера.

7. Экран по п. 6, отличающийся тем, что слой диэлектрической изоляции выполнен из полиимида.

8. Экран по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что слой электропроводящего материала выполнен из металла с примесью, являющейся мелким донором для слоя для разогрева подвижных носителей заряда.

9. Экран по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что слой электропроводящего материала выполнен из полимера.

10. Экран по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что слой для разогрева подвижных носителей заряда имеет тот же тип проводимости, что и слой люминофора.

11. Экран по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что слой электропроводящего материала выполнен в виде двух монослоев, один из которых является металлическим, а другой - полимерным.

12. Экран по любому из пп. 1-11, отличающийся тем, что ось каждого сквозного отверстия ориентирована ортогонально поверхности слоя для разогрева подвижных носителей заряда.

13. Способ изготовления электролюминесцентного экрана, включающая формирование: слоя люминофора с активаторами люминесценции, слоя для разогрева подвижных носителей заряда, слой для диэлектрической изоляции, а также отдельных групп контактов, разнесенных по экрану, отличающийся тем, что слой для разогрева подвижных носителей заряда формируют на поверхности указанного слоя люминофора, на поверхность слоя для разогрева подвижных носителей заряда наносят адгезионный слой, затем для формирования слоя для диэлектрической изоляции изготавливают пленку диэлектрической изоляции, формируют в ней методом анизотропного травления сквозные сужающиеся отверстия и стороной с узкими выходами отверстий указанную пленку под давлением приводят в механический контакт с поверхностью адгезионного слоя, далее для активации процесса адгезии проводят термообработку изделия, после этого методом травления через вышеуказанные отверстия формируют сквозные отверстия в адгезионном слое, далее на поверхности слоя диэлектрической изоляции, включая стенки отверстий в этом слое, а также на стенках отверстий в адгезионном слое и оголенных участках поверхности слоя для разогрева подвижных носителей заряда формируют слой электропроводящего материала, после чего для получения отдельных групп контактов по слою электропроводящего материала проводят операцию литографии.

14. Способ по п. 13, отличающийся тем, что слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формируют из полупроводникового материала, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят эпитаксиальным наращиванием методом осаждения из газовой либо жидкой фазы или методом молекулярных пучков в вакууме.

15. Способ по п. 13, отличающийся тем, что слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формируют из полупроводникового материала, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят напылением с последующей перекристаллизацией напыленного слоя.

16. Способ по п. 13, отличающийся тем, что слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формируют из полимера, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят нанесением мономера посредством центрифугирования с последующей полимеризацией мономера.

17. Способ по п. 13, отличающийся тем, что слой люминофора с активаторами люминесценции и слой для разогрева подвижных носителей заряда формируют из полимера, при этом формирование слоя для разогрева подвижных носителей заряда проводят распылением мономера на поверхность указанного слоя люминофора с последующей полимеризацией мономера.

18. Способ по любому из пп. 13-17, отличающийся тем, что отдельные группы контактов получают посредством проведения по слою электропроводящего материала операции взрывной литографии.

19. Способ по любому из пп. 13-18, отличающийся тем, что слой электропроводящего материала формируют из металла с примесью, являющейся мелким донором для слоя для разогрева подвижных носителей заряда, при этом слой электропроводящего материала формируют либо напылением, либо осаждением из газовой фазы с последующей термообработкой.

20. Способ по любому из пп. 13-18, отличающийся тем, что слой электропроводящего материала формируют из полимера посредством нанесения мономера на центрифуге или распылением мономера с последующей полимеризацией мономера в обоих указанных случаях.

21. Способ по любому из пп. 13-18, отличающийся тем, что слой электропроводящего материала формируют в виде двух монослоев, один из которых формируют из металла, а другой - из полимера.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3