Устройство для контроля ориентации плоскости среза монокристаллических пластин

Авторы патента:

G01N23/223 - облучением образца рентгеновскими лучами и измерением рентгенофлуоресценции

Устройство, предназначенное для контроля ориентации плоскости среза монокристаллических пластин при изготовлении активных твердотельных подложек и пьезоэлектрических резонаторов, содержит рентгеновскую трубку, фокусирующую рентгеновскую линзу, держатель контролируемой монокристаллической пластины, позиционно-чувствительный детектор и средство для обработки и анализа выходных сигналов детектора. Последний установлен с возможностью регистрации излучения, дифрагированного на контролируемой монокристаллической пластине. Линза установлена между выходным окном рентгеновской трубки и держателем таким образом, чтобы ее выходной фокус находился на поверхности среза контролируемой монокристаллической пластины или под этой поверхностью. Технический результат - повышение точности. 1 з.п.ф-лы, 6 ил.

Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)е

Формула изобретения

1. Устройство для контроля ориентации плоскости среза монокристаллических пластин, содержащее рентгеновскую трубку, держатель контролируемой монокристаллической пластины, позиционно-чувствительный детектор, установленный с возможностью регистрации излучения, дифрагированного на контролируемой монокристаллической пластине, и подключенное к выходу позиционно-чувствительного детектора средство для обработки и анализа, отличающееся тем, что оно снабжено рентгеновской фокусирующей линзой, установленной между выходным окном рентгеновской трубки и держателем контролируемой монокристаллической пластины с возможностью фокусирования излучения рентгеновской трубки на поверхности среза контролируемой монокристаллической пластины или под этой поверхностью.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно выполнено с возможностью регулирования взаимного расположения рентгеновской фокусирующей линзы, держателя контролируемой монокристаллической пластины и позиционно-чувствительного детектора.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14

Изобретение относится к аналитической химии

Блок детектирования для рентгено-флуоресцентного анализа // 2200946

Изобретение относится к области спектрометрических измерений состава веществ

Способ получения трансмиссионных рентгеновских томограмм // 2200468

Изобретение относится к трансмиссионной вычислительной томографии, а именно к способам восстановления структур отдельных слоев объекта контроля по набору многоракурсных проекций каждого исследуемого слоя

Рентгенофлуоресцентная измерительная установка, использующая поляризованное возбуждающее излучение, и рентгеновская трубка // 2199112

Способ измерения содержания солей в жидких средах, преимущественно в нефти // 2178557

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения концентрации солей в нефти

Рентгенооптический эндоскоп // 2168166

Изобретение относится к области неразрушающего контроля материалов и изделий, а именно к устройствам рентгеновской и изотопной дефектоскопии объектов, находящихся в труднодоступных полостях

Рентгеновский измеритель толщины // 2159408

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины лент, полотен и т.п

Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа // 2158918

Способ рентгеноспектрального определения золота в пробе // 2139525

Изобретение относится к области исследования химических и физических свойств веществ, в частности, при проведении рентгеноспектрального анализа руд после их кислотного разложения и экстракции определяемых элементов

Способ многоэлементного рентгенорадиометрического анализа в тонких слоях // 2133957

Устройство для рентгенорадиометрического анализа состава пульп и растворов // 2221237

Способ стабилизации параметров энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализатора // 2237885

Изобретение относится к области рентгеноспектрального анализа сырьевых и других материалов и может быть использовано для определения количественного состава материалов и контроля их качества, в том числе для определения незначительных количеств примесных элементов, в условиях промышленных и научных лабораторий

Рентгенооптический эндоскоп // 2239179

Способ определения скорости конвекции почвенных газов // 2239206

Способ измерения коэффициента эманирования радона-222 в почвогрунтах // 2239207

Способ рентгенофлуоресцентного анализа элементного состава вещества // 2240543

Изобретение относится к области аналитической химии, в частности к рентгеноспектральным методам анализа элементного состава вещества, и может быть использовано для определения количественного содержания элементов с порядковым номером более 25 (Мn и более тяжелых элементов) при анализе в аналитических лабораториях с использованием рентгеновских спектрометров материалов сложного химического состава (одноэлементных и комплексных руд, продуктов их переработки, порошков, сплавов, пульп, растворов), а также при контроле непрерывных технологических процессов на предприятиях металлургической, химической промышленности, а также при геолого-разведочных работах

Флюоресцентный сенсор на основе многоканальных структур // 2252411

Изобретение относится к области химического и биологического анализа и может быть использовано для создания высокочувствительных аналитических приборов для качественного и количественного анализа водных и органических растворов, а именно природных вод и техногенных растворов, содержащих низкие концентрации определяемых неорганических и органических компонентов, а также растворов, содержащих биологически активные соединения

Устройство для анализа состава многокомпонентного потока текучей технологической среды // 2258215

Изобретение относится к области контроля процессов обогащения и гидрометаллургии и может быть использовано для определения состава вещества и его плотности, в частности к устройствам для рентгенофлуоресцентного анализа состава пульп, растворов, промывочных кислот и т.п

Способ определения мольного отношения металлов в гетеробиметаллических соединениях // 2258918

Изобретение относится к области аналитической химии, в частности к способам анализа гетеробиметаллических соединений

Способ локации целей // 2269793

Изобретение относится к способам локации целей в облаке пассивных помех