Устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов

Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано для двухсторонней обработки пластин квадратной формы. Устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов, содержит установленные на основании разгрузочную и загрузочную кассеты, механизмы шагового перемещения их, первый и второй независимые транспортеры, блок двухсторонней гидромеханической очистки пластин, блок мегазвуковой очистки. При этом устройство дополнительно снабжено блоком сушки пластин с помощью нагревателя, механизмами извлечения пластин из разгрузочной кассеты и загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету, снабженными пластинчатыми держателями пластин, установленными с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной плоскости, при этом первый и второй транспортеры снабжены носителями пластин, установленными на штангах с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной и вертикальной плоскости, блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин снабжен двумя захватами, установленными на коромысле штанги с возможностью возвратно-поступательного перемещения во взаимно перпендикулярных направления, а блок сушки пластин содержит держатель пластин, выполненный в виде четырех игл с регулируемым зазором между нижней стороной пластины и плоскостью нагревателя. Техническим результатом является повышение функциональных возможностей устройства, повышение качества обработки и надежности устройства. 19 ил.

 

Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано для двухсторонней обработки пластин квадратной формы, например фотошаблонов, при очистке их щетками, затем мегазвуком с последующей сушкой.

Известны различные устройства для обработки пластин [1-3], содержащие блок обработки пластин, загрузочные и разгрузочные устройства, транспортирующие механизмы. Эти устройства не могут быть использованы для двухсторонней обработки пластин. В качестве транспортирующих механизмов используют либо пассики, либо грейферы [3], а в качестве держателей - вакуумные захваты. Причем для загрузки пластины в блок обработки и выгрузки обработанных пластин используют одни и те же механизмы. Кроме того, отсутствие устройств корректировки точного расположения пластин в кассете сказывается на точности расположения пластин на рабочей позиции. Все это не обеспечивает хорошее качество обработки.

Устройство для двухсторонней очистки пластин с помощь щеток [4] включает установленный между моющими щетками приводной сепаратор и предусматривает ручную загрузку-выгрузку пластин, а для передачи пластин на другую позицию необходимы дополнительные механизмы.

Устройство для автоматической высокоскоростной транспортировки плоских изделий [5] предназначено для транспортировки полупроводниковых пластин на позиции обработки. Устройство содержит механизмы вертикального перемещения пластин, транспортеры, блок обработки пластин, перегрузчик-рычаг с вакуумным захватом, механизм задания положения перемещения пластин в определенной плоскости, манипулятор для подачи пластин из кассеты на механизм задания положения и из него во вторую кассету.

Наличие множества перегрузочных, транспортирующих средств и приводов усложняет конструкцию устройства в целом, увеличивает ее габариты, что неприемлемо в условиях «чистой комнаты», снижает надежность работы. А применение вакуумных захватов, держателей из-за вносимых загрязнителей не обеспечивает качественную обработку пластины.

Известный захват [5] для переноса плоских пластин, например фотопластин, обеспечивает удержание плоских пластин за счет сжатия их по торцам. Это не позволяет использовать его для транспортировки хрупких стеклянных пластин прямоугольной формы, например фотошаблонов, так как из-за возможных сколов, царапин при обработке пластин щетками снижается качество их обработки.

Из известных наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для двухсторонней очистки пластины [7]. Устройство содержит загрузочную и разгрузочную кассеты, механизмы шагового перемещения кассет, механизмы вертикального перемещения пластин, механизмы горизонтального перемещения пластин, выполненные в виде двух независимых транспортеров с захватами для пластин, блок очистки пластин щетками, блок мегазвуковой очистки.

Захваты механизмов горизонтального перемещения выполнены в виде держателя, снабженного роликами, имеющими круговые канавки с V-образной заходной частью. Механизмы вертикального перемещения пластин содержат держатель с носителем, выполненным в виде сектора тонкого кольца, взаимодействующим с захватом одного из транспортеров. А каждый блок обработки снабжен механизмом загрузки-выгрузки пластин, выполненным в виде подвижной штанги с жестко закрепленным на нем носителем пластин, выполненным аналогично носителю механизмов вертикального перемещения пластин.

Устройство позволяет повысить качество очистки пластин, установленных вертикально.

Недостаток известного устройства заключается в том, что оно позволяет очищать пластины только круглой формы и не позволяет обрабатывать квадратные стеклянные пластины, например фотошаблоны.

Техническим результатом предложенного изобретения является повышение функциональных возможностей устройства, повышение качества обработки и надежности устройства.

Указанный технический результат достигается тем, что устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов, содержащее установленные на основании загрузочную и разгрузочную кассеты, механизм шагового перемещения их, первый и второй независимые транспортеры, блок двухсторонней гидромеханической очистки пластин, блок мегазвуковой очистки, дополнительно снабжено блоком сушки пластин с помощью нагревателя, механизмами извлечения пластин из разгрузочной кассеты и загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету, снабженными пластинчатыми держателями пластин, установленными с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной плоскости, при этом первый и второй транспортеры снабжены носителями пластин, установленными на штангах с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной и вертикальной плоскости, блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин, снабженный двумя захватами, установленными на коромысле штанги с возможностью возвратно-поступательного перемещения во взаимно перпендикулярных направлениях, а блок сушки пластин содержит подвижный в вертикальной плоскости держатель пластин, выполненный в виде четырех игл с регулируемым зазором между нижней стороной пластины и плоскостью нагревателя, кроме того, ось симметрии механизма шагового перемещения разгрузочной кассеты и механизма извлечения пластин из разгрузочной кассеты и ось симметрии механизма шагового перемещения загрузочной кассеты и механизма загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету развернуты на 45° в горизонтальной плоскости, при этом держатель механизма извлечения пластин из загрузочной кассеты снабжен двумя противоположно расположенными относительно друг друга выступами с наклоненными сторонами и ограничительными площадками в основании, а также двумя плоскими пружинами с прямоугольным отгибом с одного конца пружины, установленными в пазах держателя, а держатель механизма загрузки пластины в загрузочную кассету также снабжен двумя противоположно расположенными относительно друг друга выступами с наклонными сторонами, основания которых содержат площадки, выполненные под углом 3-5° к горизонтали и объединенные сквозным окном, и по боковым торцам упомянутого держателя установлены ограничительные кронштейны с боковыми сторонами, отогнутыми в противоположные от боковых торцов кронштейнов стороны, каждый носитель транспортеров выполнен в виде Г-образных кронштейнов, установленных на штанге напротив друг друга нижними выступами, снабженных фторопластовыми вкладышами, выполненными с углублениями в виде прямоугольников с заходной фаской на боковой стороне, при этом гипотенузы прямоугольников расположены друг против друга и ось симметрии, проходящая через их вершины совпадает с одной из диагоналей обрабатываемой пластины, а захваты блока гидромеханической очистки пластин выполнены из фенилона, каждый захват содержит сквозной паз в виде прямоугольника, гипотенузы которых расположены напротив друг друга таким образом, что ось симметрии, проходящая через их вершины, совпадает с другой диагональю обрабатываемой пластины.

Наличие блока сушки пластин с помощью нагревателя повышает качество обработки пластин. Конструкция подвижного держателя в виде четырех игл обеспечивает точечный контакт держателя с обработанной пластиной, что исключает загрязнение чистой пластины. Регулируемый зазор между нижней стороной пластины и нагревателем обеспечивает равномерный нагрев ее. Следовательно, это улучшает качество сушки, а значит и качество обработки.

Пластиночный держатель механизма извлечения пластин из разгрузочной кассеты позволяет переносить пластины квадратной формы в горизонтальной плоскости в ориентированном положении за счет наличия двух пружин с прямоугольным выступом и обеспечивает минимальный контакт пластин и держателя. А пластиночный держатель механизма загрузки обработанной пластины в загрузочную кассету позволяет также загружать пластины в кассету сориентированными за счет ограничительных кронштейнов с отогнутыми боковыми сторонами.

Выполнение носителей двух транспортеров в виде Г-образных кронштейнов, снабженных фторопластовыми вкладышами с углублениями, выполненными в виде прямоугольников, позволяет переносить квадратные пластины за противоположные углы, обеспечивая минимальный контакт носителя с пластиной, исключая ее разрушение.

А два захвата блока гидромеханической очистки, каждый из которых выполнен из фенилона в виде прямоугольника, позволяют надежно удерживать пластину за два других противоположных угла, обеспечивают минимальный контакт их с пластиной, исключают ее разрушения. Кроме того, захваты, установленные на коромысле штанги с возможностью перемещения во взаимно перпендикулярных направлениях, обеспечивают перемещение пластины между неподвижными щетками по сложной траектории, что повышает качество гидромеханической очистки пластин.

Таким образом, предложенная совокупность существенных признаков является новой, обеспечивает положительный эффект и не вытекает очевидным образом из известного уравнения техники. Следовательно, она соответствует критериям патентоспособности: «новизна», «изобретательский уровень», «промышленная применимость».

Сущность предложенного изобретения поясняется чертежами, где схематично изображены:

на фиг.1 - общий вид устройства двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов;

на фиг.2 - механизм вертикального перемещения загрузочной кассеты и механизм извлечения пластины из загрузочной кассеты с держателем пластин, разрез А-А;

на фиг.3 - вид сверху механизма вертикального перемещения загрузочной кассеты и механизма извлечения пластины из загрузочной кассеты, вид Б;

на фиг.4 - носитель первого транспортера, разрез В-В;

на фиг.5 - носитель первого транспортера, вид сверху, вид Г;

на фиг.6, 7 - вкладыши носителя, разрез Д-Д, Е-Е;

на фиг.8 - блок двухсторонней гидромеханической очистки пластин, разрез Ж-Ж;

на фиг 9 - блок двухсторонней гидромеханической очистки пластин, разрез 3-3;

на фиг 10 - блок двухсторонней гидромеханической очистки пластин, разрез С-С;

на фиг 11 - блок двухсторонней гидромеханической очистки пластин, разрез Т-Т;

на фиг 12 - блок мегазвуковой очистки пластин, разрез П-П;

на фиг.13 - блок мегазвуковой очистки пластин, вид К;

на фиг.14 - блок сушки пластин, разрез Л-Л;

на фиг.15 - блок сушки пластин, вид сверху М;

на фиг.16 - механизм вертикального перемещения загрузочной кассеты и механизм загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету, разрез Н-Н;

на фиг.17 - механизм вертикального перемещения загрузочной кассеты и механизм загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету, вид О;

на фиг 18, 19 - разрез держателя пластин механизма их загрузки в загрузочную кассету, по П-П, Р-Р.

Предлагаемое устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов (фиг.1-19), содержит разгрузочную 1 и загрузочную 2 кассеты для пластин 3, установленные соответственно на механизмах шагового перемещения их 4 и 5, механизм извлечения пластин 6 из кассеты 1, механизм загрузки обработанных пластин 7 в кассету 2, блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин 8, блок двухсторонней мегазвуковой очистки пластин 9, блок сушки пластин 10 с помощью нагревателя, первый транспортер 11 с носителем пластин 12, второй транспортер 13 с носителем пластин 14, основание 15.

Разгрузочная кассета 1 (фиг.1, 2) с пластинами, например фотошаблонами 3, установлена на платформе 16 механизма шагового перемещения 4. Платформа 16 через кронштейн 17 связана с винтовой передачей 18, имеющей привод от шагового электродвигателя 19.

Загрузочная кассета 2 (фиг.16, 17) установлена на площадке 20 механизма шагового перемещения 5 за счет привода 21, винта 22, размещенного в корпусе 23.

Механизм извлечения пластины 6 из разгрузочной кассеты 1 (фиг.1-3) содержит держатель 24, установленный на каретке 25 с возможностью возвратно-поступательного горизонтального перемещения от пневмопривода 26.

Держатель 24 снабжен двумя противоположно расположенными относительно друг друга выступами 27, 28, имеющими наклонные стороны 29, 30. На основании держателя 24 выполнены ограничительные горизонтальные площадки 31, 32 и закреплены две плоские пружины 33 с прямоугольным отгибом с одного конца, установленные в пазах держателя.

Механизм загрузки обработанных пластин 7 в загрузочную кассету 2 (фиг.16, 17) содержит держатель пластин 34, установленный с возможностью возвратно-поступательного перемещения на каретке 35 с помощью пневмопривода 36 с кронштейнами 37, 38, закрепленными на основании 15.

Держатель пластины 34 снабжен двумя противоположно расположенными относительно друг друга выступами 39, 40 (фиг.16, 18), одна из боковых сторон которых 41, 42 выполнена наклонной.

Основание этих сторон содержат площадки 43, 44, выполненные под углом 3-5° к горизонтали и объединенные сквозным окном 45. По боковым торцам держателя 34 установлены ограничительные кронштейны 46, 47 с боковыми сторонами 48, 49, отогнутыми в противоположные от боковых торцов кронштейнов стороны.

Ось симметрии 50 механизма шагового перемещения загрузочной кассеты 4 и механизма извлечения пластин из загрузочной кассеты 6 (фиг.1), а также ось симметрии 50 механизма шагового перемещения загрузочной кассеты 5 и механизма загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету 7 развернуты на 45° в горизонтальной плоскости.

Носитель 12 (фиг.1, 4, 6) установлен на цилиндрической штанге 51 с возможностью горизонтального и вертикального перемещения с помощью транспортера 11, снабженного кареткой 52 горизонтального перемещения и приводом 53 вертикального перемещения, и служит для передачи пластин 3 с держателя 24 механизма извлечения пластин из загрузочной кассеты 1 на позиции гидромеханической, а затем мегазвуковой очистки пластин.

Носитель 14 (фиг.1, 14, 15) установлен на удлиненной цилиндрической штанге 54 также с возможностью горизонтального и вертикального перемещения с помощью транспортера 13, снабженного кареткой 55, приводом 56, и служит для передачи обработанных пластин 3 на держатель 34 механизма загрузки обработанных пластин 7 в загрузочную кассету 2.

Носители 12, 14 (фиг.4, 14) выполнены в виде двух Г-образных кронштейнов 57, 58, установленных напротив друг друга нижними выступами и снабженных фторопластовыми вкладышами 59, 60, выполненными с углублениями 61 в виде прямоугольников с заходной фаской 62 (фиг.5, 6, 7) на боковых сторонах. Гипотенузы прямоугольников расположены друг против друга, а ось симметрии, проходящая через вершины их, совпадает с одной из диагоналей обрабатываемой пластины (фотошаблона).

Блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин 8 (фиг.8, 9, 10, 11) содержит нижнюю 63 и верхнюю 64 щетки.

Нижняя щетка закреплена на трубе 65, установленной на плите 66, связанной с основанием 15.

Верхняя щетка 64 может перемещаться в вертикальной плоскости от привода 67, подпружинена и самоустанавливается по верхней плоскости пластины за счет корпуса 68 и гайки 69. Ванна 70 со сливным отверстием 71 имеет возможность подниматься и опускаться от привода 72.

Блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин 8 снабжен дополнительно двумя захватами 73, установленными на коромысле 74. Коромысло 74 (фиг.8, 9, 10, 11) закреплено на штанге 75. Штанга 75 перемещается возвратно-поступательно в горизонтальном направлении в корпусе 76 от привода 77 эксцентриком 78 и поводком 79. От другого привода 80 штанга 76 вместе с коромыслом 74 и захватами 73 перемещается возвратно-поступательно в направлении, перпендикулярном первому (эти перемещения совершаются только в нижнем положении щетки 64).

Захваты 73 (фиг.9, 11) выполнены, например, из фенилона. Каждый захват содержит сквозной паз 81 в виде прямоугольника. Гипотенузы прямоугольников расположены друг против друга. При этом ось симметрии, проходящая через их вершины (фиг.9), совпадает с другой диагональю обрабатываемой пластины (фотошаблона).

Блок мегазвуковой очистки пластин 9 (фиг.1, 2, 13) содержит ванну 82 со сливным отверстием 83, установленную с возможностью перемещения в вертикальном направлении с помощью привода 84 и кронштейна 85, ротор 86 с фторопластовыми штырями 87, ориентатор 88 с диском 89.

Ротор 86 с помощью подшипников 90 установлен в корпусе 91, размещенном на штанге 92. Вращение ротора 86 осуществляется от привода 93 шкивов 94, 95 и ремня 96.

Мегазвуковая форсунка 97 закреплена на вилке 98 с возможностью перемещения в вертикальной плоскости с помощью кронштейна 99 от привода 100 и с возможностью вращения на оси 101 от привода 102 через эксцентрик 103. Подача воды на обрабатываемое изделие 3 с обратной стороны осуществляется через форсунку 104, установленную на кронштейне 105.

Штыри 87 на роторе 86 имеют наклонные площадки 106, обеспечивающие точный контакт с обратной стороной пластины.

Блок сушки пластин 10 (фиг.14, 15) содержит нагреватель 107 с плитой 108, установленной на станине 15, подвижный держатель, выполненный в виде игл 9, установленных на кронштейне 110, привод вертикального перемещения 111.

Работа устройства происходит следующим образом.

Разгрузочную кассету 1 (фиг.1, 2) с пластинами, например фотошаблонами 3, устанавливают на платформу 16 механизма вертикального перемещения 4. После этого каретка 25 пневмопривода 26 перемещает держатель пластин 24 и заводит его под нижнюю пластину кассеты 1. При этом, если пластина в кассете сместилась, пружины 33 держателя 24 с помощью открытых концов установят ее в нужном положении. Кассета 1 опускается от привода 19 и пластина 3 опускается на держатель 24, сжимая своим весом пружины 33 и занимая ориентированное положение благодаря наличию выступов 27 и 28 на держателе 24 и наклоненным сторонам выступов 29, 30. Нижняя сторона пластины (фотошаблона) опирается лишь на ограничительные горизонтальные площадки 31, 32 держателя 24, что исключает повреждение поверхности пластин. После размещения пластины 3 в ориентированном положении на держателе 24 каретка 25 пневмопривода отходит назад, вынося пластину из кассеты 1. Под пластину заходит носитель 12 (фиг.4, 5, 6, 7), ось симметрии носителя 12 совпадает с линией, соединяющей два противоположных угла прямоугольной пластины (с одной из ее диагоналей). Носитель 12 поднимается с помощью привода 53; два противоположных угла пластины 3 попадают в углубление 61 вкладышей 59, 60 кронштейнов 57, 58. Пластина 3 поднимается над держателем 24 (фиг.2, 3), удерживаясь на вкладышах 57, 58 только на двух углах. Таким образом, обратная сторона пластины не контактирует с поверхностью транспортного устройства, остается чистой и не повреждается. Носитель 12 переносит пластину 3 на блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин 8 и укладывает пластину 3 на плоскость нижней щетки 63 с помощью привода 53.

После укладки пластины 3 на щетку 63 верхний уровень вкладышей 59, 60 носителя 12 опускается ниже нижней плоскости пластины 3. Носитель 12 выходит из-под пластины 3 в обратную сторону в исходное положение. Пластина 3 остается на нижней щетке 63.

После ухода носителя 12 опускают захваты 73, которые охватывают пластину 3 за два противоположных угла. Ось симметрии захватов, проходящая через вершины прямоугольников, совпадает со второй диагональю пластины (фиг.9).

Вместе с захватами 73 на пластину 3 опускают верхнюю щетку 64, которая подпружинена и самоустанавливается по верхней плоскости пластины за счет корпуса 68 и гайки 69. Ванну 70 поднимают, подают моющий раствор в полость верхней 64 и нижней 63 щеток. Затем включают привод 77, который, взаимодействуя с поводком 79, передает возвратно-поступательное перемещение штанге 75, на которой закреплено коромысло 74 с захватами 73. Пластина 3 перемещается также возвратно-поступательно в горизонтальном направлении между верхней 64 и нижней 63 щетками. А от другого привода 81 пластина также перемещается возвратно-поступательно в направлении, перпендикулярном первому.

Таким образом, пластина 3 совершает сложные движения между щетками и очищается. После окончания процесса очистки пластины 3 щетками подача раствора заканчивается и пластина останавливается.

Верхнюю щетку 64 с захватами 73 поднимают, освобождая пластину 3.

Пластина 3 остается лежать на нижней щетке 63. Под пластину подходит носитель 12, поднимает ее за два противоположных угла и переносит ее на следующею позицию (фиг.12, 13), на блок двухсторонней мегазвуковой очистки 9, укладывая пластину на фторопластовые штыри 87 ротора 86.

Ротор 86 находится в ориентированном положении благодаря ориентатору 88 и диску 89 с пазом. После укладки пластины на ротор центрифуги носитель 12 отходит в исходное положение. Ориентатор 88 освобождает ротор 86 и ротор с пластиной начинает вращаться от привода 93. Одновременно с началом вращения ротора с пластиной поднимается ванна 82 и опускается форсунка 97. На форсунку 97 подают деионизованную воду и включают мегазвук. Форсунка 97 сканирует поверхность пластины 3 от периферии к центру, промывая ее озвученной деионизованной водой.

А через форсунку 104, установленную в отверстии ротора 86, подается деионизованная вода на нижнюю поверхность пластины при ее вращении. Таким образом, осуществляется двухсторонняя мегазвуковая очистка пластин деионизованной водой.

По истечении заданного времени подача деионизованной воды прекращается, верхняя форсунка 97 отходит на исходную позицию. Ротор 86 центрифуги переходит на большую скорость вращения, осуществляя сушку пластины методом центрифугирования (удаляется капельная влага).

После окончания процесса сушки ротор 86 останавливается и ориентируется с помощью ориентатора 88. Наличие наклонных площадок 106 на штырях 87 ротора 86 обеспечивает точечный контакт с обработанной стороной пластины 3.

Для снятия пластины 3 с ротора 86 и переноса его на следующую позицию используют второй транспортер 13 с носителем 14. Это исключает влияние загрязнений при транспортировке чистой пластины 3.

Носитель 14 заходит под пластину 3, находящуюся на роторе 86, поднимает ее за два противоположных угла и переносит ее на блок сушки пластин 10, повышенной температурой укладывает ее на четыре подвижные иглы 100 держателя (фиг.14, 15).

После чего носитель 14 отходит в сторону, а иглы 100 от привода 111 опускают пластину 3 вниз и останавливаются, образуя зазор δ (фиг.14) между обратной стороной пластины и плитой 108 нагревателя 107.

В таком положении пластина сушится при повышенной температуре (120°±20°) заданное время, затем иглы 100 поднимают пластину над плитой 108.

Носитель 14 заходит под пластину 3, поднимает пластину 3 за два противоположных угла и переносит ее на механизм загрузки обработанных пластин 7 в загрузочную кассету 2 (фиг.16, 17), и укладывает на держатель 34 в определенном положении.

Обратная сторона пластины имеет минимальный контакт с держателем благодаря выполнению площадок 43, 44 в основании сторон выступов 39, 40 под углом 3-5° к горизонтали. После укладки пластины 3 на держатель 34 она обдувается азотом через окно 45 из трубки 112 для снижения ее температуры. Это предохраняет кассету 2 от повреждения при загрузке в нее горячей пластины 3.

Держатель 34 от привода 36 перемещается в направлении загрузочной кассеты 2 и пластина 3 заходит в первую ячейку кассеты 2. При перемещении кассеты 2 вверх пластина снимается с держателя 34 вверх, освобождая его.

Привод 36 с кареткой 35 перемещает держатель 34 в исходное положение для приемки следующей пластины.

Источники информации

1. Пат. США 4534695, кл. B65G 25/00, пуб. 1985 г. «Устройство для транспортировки изделий».

2. Пат. США 4465416, кл. B25J 3/00, пуб. 1984 г. «Манипуляционное приспособление при производстве подложек».

3. Авт. св. 1552930, кл. H01L 21/00, пуб. 1987 г. «Устройство для извлечения плоских изделий из кассеты и их транспортирования».

4. Авт. св. 937058, кл. В08В 1/04, пуб. 1982 г. «Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий».

5. Пат. Япония 6069062, кл. H01L 21/08, пуб. 1994 г. «Устройство для автоматической высокоскоростной транспортировки изделий».

6. Захват для переноса плоских изделий. Solid state Technology Auqust 1989, с.98.

7. Пат. РФ 2275972, кл. В08В 1/04, пуб. 2006 г. «Устройство для двухсторонней очистки пластин» (прототип).

1. Устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов, содержащее установленные на основании разгрузочную и загрузочную кассеты, механизмы шагового перемещения их, первый и второй независимые транспортеры, блок двухсторонней гидромеханической очистки пластины, блок мегазвуковой очистки, отличающееся тем, что оно дополнительно снабжено блоком сушки пластин с помощью нагревателя, механизмами извлечения пластин из разгрузочной кассеты и загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету, снабженными пластинчатыми держателями пластин, установленными с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной плоскости, при этом первый и второй транспортеры снабжены носителями пластин, установленными на штангах с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной и вертикальной плоскости, блок гидромеханической двухсторонней очистки пластин снабжен двумя захватами, установленными на коромысле штанги с возможностью возвратно-поступательно перемещения во взаимно перпендикуляторных направлениях, а блок сушки пластин содержит подвижный в вертикальной плоскости держатель пластин, выполненный в виде четырех игл с регулируемым зазорам между нижней стороной пластины и плоскостью нагревателя.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ось симметрии механизма шагового перемещения разгрузочной кассеты и механизма извлечения пластин из разгрузочной кассеты, а также ось симметрии механизма шагового перемещения загрузочной кассеты и механизма загрузки обработанных пластин в загрузочную кассету развернуты на 45° в горизонтальной плоскости, при этом держатель механизма извлечения пластин из загрузочной кассеты снабжен двумя противоположно расположенными относительно друг друга выступами с наклоненными сторонами и ограничительными площадками в основании, а также двумя плоскими пружинами с прямоугольным отгибом с одного конца пружины, установленными в пазах держателя, а держатель механизма загрузки пластин в загрузочную кассету также снабжен двумя противоположно расположенными относительно друг друга выступами с наклонными сторонами, основания которых содержат площадки, выполненные под углом 3-5° к горизонтали и объединенные сквозным окном, при этом по боковым торцам упомянутого держателя установлены ограничительные кронштейны с боковыми сторонами, отогнутыми в противоположные от боковых торцов кронштейнов стороны.

3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что каждый носитель транспортеров выполнен в виде двух Г-образных кронштейнов, установленных на штанге напротив друг друга нижними выступами, снабженных фторопластовыми вкладышами, выполненными с углублениями в виде прямоугольников с заходной фаской на боковой стороне, при этом гипотенузы прямоугольников расположены друг против друга, а ось симметрии, проходящая через вершины их совпадает с одной из диагоналей обрабатываемой пластины.

4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что захваты блока гидромеханической очистки пластин выполнены из фенилона и каждый захват содержит сквозной паз в виде прямоугольника, а гипотенузы прямоугольников расположены напротив друг друга таким образом, что ось симметрии, проходящая через вершины их, совпадает с другой диагональю обрабатываемой пластины.