Способ контроля толщины тонких пленок в процессе напыления в ва'кууме
О П И С А Н И Е 246085
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетснив
Социзлнстичеснив
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 21Л.1968 (№ 1211984/25-28) Кл. 42Ь, 12i03 с присоединением заявки №
Приоритет
МПК G 01b
УДК 531.717.11:535.853. .6 (088.8) Комите по делам изобретений и отнрытий орн Совете Министров
СССР
Опубликовано 11.VI.1969. Бюллетень № 20
Дата опубликования описания 11.XII.1969
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК
В ПРОЦЕССЕ НАПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ
Известны способы контроля толщины тонких пленок в процессе напыления в вакууме, заключающиеся в том, что на контролируемую пленку от источника света направляют световой поток, определяют величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока, по которой судят о толщине пленки. Однако эти способы имеют недостаточную точность контроля, когда оптические толщины слоев покрытия не кратны четверти одной и той же длины волны.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока в зависимости от длины волны определяют спектральным прибором в диапазоне длин волн, перекрывающем не менее половины октавы.
Это позволяет повысить точность контроля толщины пленок.
Описываемый способ заключается в следующем.
Контроль толщины пленки в процессе напыления слоев производят по одной из подложек, помещенных в вакуумную камеру, с помощью фотометрического устройства. На эту подложку направляют световой поток от источника сплошного спектра, например лампы накаливания. Световой лоток, прошедший через обрарезц, направляют в расположенный вне вакуумной камеры сканирующий спектральный прибор.
Вследствие сканирования на фотоэлектрический приемник, установленный за спектральным прибором, попадает излучение с изменяющейся во времени длиной волны. Снимаемый с фотоприемника сигнал подается на усилитель вертикального отклонения осциллографа.
Горизонтальная развертка осциллографа уп10 равляется датчиком системы сканирования, сигнал с которого пропорционален длине волны света, попадающей в данный момент на приемник.
15 Полученная на экране осциллографа кривая характеризует спектральное пропускание образца с на несенной на него контролируемой пленкой. Для определения момента, когда толщина пленки достигает требуемой величины, 20 необходимо сравнивать полученную на экране кривую пропускания с расчетной. В момент, когда обе кривые, наиболее близки по форме, напыление прекращают.
25 Для получения достаточной точности контроля толщин пленок требуется сравнивать формы расчетной и полученной в процессе нанесения кривых в области спектра, перекрывающего не менее половины октавы по шкале
3Q длин волн.
246085
Предмет изобретения
Составитель
Редактор А. Ю. Пейсоченко Техред А. А. Камышникова Корректор Т. А. Абрамова
Заказ 3222/8 Тираж 480 Подписное
ПНИИНИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ контроля толщины тонких пленок в процессе напыления в вакууме, заключающийся в том, что на контролируемую пленку от источника света направляют световой поток, определяют величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока, по которой судят о толщине пленкИ, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока в зависимости от длины волны определяют спектральным прибором в дианазоне длин волн, перекрывающем не менее половины октавы.
