Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

252б24

Союз Соеетскиз

Социалистическими

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 42b, 12/02

Заявлено 21,XI1,1967 (№ 1205539/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 22.1Х.1969. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 24,II.19?0

МПК G 01b

УДК 531.717.521.082.7 (088.8) Комитет по селам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Ю. В. Коломийцов, Л, Е. Владимирова и Т. А. Миигалева

Заявитель

СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПЛАСТИН ИЗ ПРОЗРАЧНОГО МАТЕРИАЛА

Предмет изобретения

Известен способ бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, заключающийся в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измеряют его смещение, по которому судят о толщине пласти ны.

Предлагаемый способ отличается от извесгного тем, что осуществляют многократное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал. Это отличие позволяет повысить точность измерения.

Для упрощения процесса измерения через пластину пропускают сходящийся пучок лучей.

Описываемый способ иллюстрируется чертежом.

Бесконтактное измерение толщины пластины из прозрачного материала по предлагаемому способу производят следующим образом.

Источником света 1 с помощью конденсорной линзы 2 освещают диафрагму со щелью 8.

Микрообъектив 4 при этом дает изображение щели 8 на поверхности вспомогательного зеркала 5. Наклонный сходящийся пучок лучей проходит через контролируемую пластину б, расположенную вблизи поверхности зеркала

5, отражается от зеркала, еще раз проходит через пластину б и микрообъектив 7 и дает вторичное изображение S> щели 8 в фокальной плоскости объектива 8 зрительной трубы.

В этой же плоскости дает изображение S> щели 9 оптическая система, содержащая источник света 10, линзу 11, зеркало 12 и призму 18.

При абсолютных измерениях настройка оптических систем производится таким образом, чтобы без пластины б изображения Зт и 5з щелей располагались на одной линии. После же установки контролируемой пластины с оп10 ределенными толщиной и показателем преломления изображение S> одной щели смещается относительно изображения 5з другой щели на некоторую величину, по которой ц судят о толщине контролируемой пластины.

1. Способ бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, за20 ключающийся в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измеряют его смещение, по которому судят о толщине пластины, отличаюшийся тем, что, с целью повышения точности измерения, осуществляют многократ25 ное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал.

2. Способ по п. 1, отгичающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, через пл астину пропускают сходящийся пучок луЗО чей.

252624

Составитель Иванова

Редактор Н. Г. Михайлова Техред А. А. 1(амышникова 1(орректор В. И. Жолудева

Заказ 209г9 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из

Похожие патенты:

Техническая -^^ библиотека // 250466

Способ контроля толщины тонких пленок в процессе напыления в ва'кууме // 246085

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения на изделие // 241701

Устройство для контроля толщины пленки в процессе их нанесения на изделие // 241700

Способ измерения толщин тонких пленок в процессе их изготовления // 205312

Фотоэлектрическое следящее устройство // 203942

Устройство для определения толщины смазочного слоя между тяжелонагруженными вращающимисядеталями // 200179

Способ определения толщины упрочненного слоя на нетравленом металлическом образце // 196421

Визуальный фотометр // 180375

Сесфюзмая л идтен.,..7.,,х»1й:;рсг,^ п:.иг-:.с->&;,:; .д // 172057

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости