Устройство для напыления пленочных микросхем

 

.и т, t

Ч !

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 12.VII.1968 (¹ 1255438/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Кл. 21а, 75

48b, 13/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК Н 05k

С 23с

УДК 621.3.049.75:621.793..14 (088.8) Опубликовано 12.Х11.1969. Бюллетень № 2 за 1970

Дата опубликования описания 28.IV.1970

Авторы изобретения

Б. Н. Дыньков, ф. Е. Евтеев, М, К. Самарская и П. А. Дмитриев

Заявитель

Ленинградский электротехнический институт им. В. И. Ульянова (Ленина) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ

2 чивающим непрерывное визуальное наблюдение за работой каждого испарителя.

Механизм перемещения цилиндра содержит биметаллическую петлю 5, установленную на стойке b, ко1орая сопряжена с цилиндром при помощи поводка 7 ленточного тормоза 8, находящегося на кольце 9 и вилки 10, которая охватывает поводок 7 биметаллической петли.

Е1илиндр установлен в кольце.

10 При пропусканпи электрического тока через петлю вилка перемещается и увлекает за собой поводок ленточного тормоза 8, поворачивающего кольцо с цилиндром. Ленточный тормоз 11 удерживает от обратного поворота

15 кольцо, которое он охватывает, при остывании петли 5.

При повороте горизонтальной оси 12 по часовой стрелке эксцентрпк 18 поднимает вертикальную ось 14 и платформу 15, несущую под20 ложки. При дальнейшем повороте горизонтальной оси фиксатор 16 эксцентрика, упираясь в конец вертикальной оси, прекращает ее дальнейший подъем. Палец 17, упираясь в выступ 18 конической шестерни 19, поворачи25 вает коническую шестерню 20 вертикальной оси, тем самым перемещая платформу 15, находящуюся над платформой 21 несущей МВски-трафареты. При повороте горизонтальной оси против часовой стрелки эксцентрик, вра30 щаяс1, опускает платформу 15 на платфорИзобретение относится к области радиотехники, в частности к конструкции устройств для напыления многослойных пленочных микросхем, Известны многопозиционные устройства для напыления микросхем в вакууме, у которых на подвижных платформах установлены испарители маски-трафареты и подложки, разделенные экранирующей перегородкой.

В известных устройствах для наблюдения за раоотой испарителей используют прозрачные окна, которые в процессе напыления сильно загрязняются.

С целью улучшения визуального наблюдения за работой каждого из испарителей в предлагаемом устройстве используется перекрывающий смотровые окна прозрачный цилиндр, поворачиваемый в процессе напыления при помощи биметаллического элемента.

На фиг. 1 изображен блок испарителей; на фиг. 2 — биметаллическая петля с вилкои; на фиг. 3 — приводной механизм.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Каждый блок 1 испарителей изолирован or соседних блоков перегородкой, верхняя часть которой выполнена в виде цилиндра 2, снабженного смотровым окном 8, перекрытым дис1анционно управляемым цилиндром 4, изготовленным из прозрачного материала, обеспеМЙ209 му 21. При дальнейшем повороте торизонтальной оси палец, упираясь с обратной стороны в выступ, поворачивает шестерню 20 в обратном направлении, в результате чего платформа 21 сцепляется с платформой 15 и при перемещении может быть установлена над любым блоком испарителей. Для передачи диску

22 заслонок возвратно-посгупательного движения используется свободный ход горизонтальной оси. При помощи фрикционного сцепления 28, поводка 24 и рычага 25 перемешается пустотелая вертикальная ось 25, жестко связанная с рычагом 25. Затем горизонтальная ось поворачивается барабаном 27, соединенным с горизонтальной осью и пальцем 28, входящим в прорезь 29 барабана.

Механизм управляется одной рукояткой 80„ выведенной за пределы рабочей камеры, Передача вращения горизонтальной оси производится с помощью рычага 81. В качестве герметизирующего элемента использован сильфон 82.

Предмет изобретения

Устройство для напыления пленочных микросхем, содержащее вакуумную камеру с меха5 низмом для подъема колпака камеры, приводной механизм, служащий для перемещения установленных на подвижных платформ ах подложек и масок, экранирующую перегородку и установочную плиту, огличающееся тем, 10 что, с целью улучшения визуального наблюдения за работой каждого из испарителей, верхняя часть экранирующей перегородки выполнена в виде цилиндра, снабженного смотровым окном, перекрытым цилиндром, изготовленным

15 из прозрачного материала, и соединенным с приводом, содержащим два размещенных в пазах установочного кольца ленточных тормоза, на конце одного из которых укреплен поводок, входящий в вилку биметаллической

20 петли, соединенной с источником тока, а второй ленточный тормоз охватывает установочное кольцо, препятствуя его повороту.