Способ изготовления кварцевых контейнеров


 


Владельцы патента RU 2504602:

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский федеральный университет" (RU)

Изобретение относится к способам изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для синтеза и кристаллизации расплавов полупроводниковых материалов, а также для получения особо чистых металлов и полиметаллических сплавов. Способ изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для высокотемпературных процессов включает нанесение на рабочую поверхность кварцевого контейнера полимерной пленки с последующим отжигом в инертной атмосфере. Нанесение упомянутой пленки на рабочую поверхность кварцевого контейнера проводят путем осаждения полигексаметиленгуанидингидрохлорида или полидиаллилдиметиламмонийхлорида из его 7-10%-ного водного раствора с pH 1-3 и последующего отжига в инертной атмосфере при 900-1000°C в течение 30-60 минут. Улучшается качество защитных покрытий на поверхностях кварцевых контейнеров за счет повышения их плотности и прочности с обеспечением предотвращения взаимодействия расплавленного материала с рабочими стенками контейнера любой формы и уменьшение загрязнения получаемого материала диффундирующими примесями химических элементов из кварца. 1 табл., 2 пр.

 

Изобретение относится к способам изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для синтеза и кристаллизации расплавов полупроводниковых материалов, а также для получения особо чистых металлов и полиметаллических сплавов.

Известен способ изготовления ростового контейнера в виде кварцевой лодочки из заготовок кварцевой трубы с последующим осаждением на рабочей поверхности углеграфита типа «Aquadag» из продуктов разложения парогазовой смеси толуола в токе азота при температуре 1050°C (Beels R, De Sutter W. Pyrolytic coating of quartz and ceramic vessis used for zone melting // Jornal of Scientific Instrument. Vol.37. №10, October 1960, p.397).

Недостатком способа является сложная и дорогостоящая технология изготовления контейнеров с покрытием, которое в топком слое не устраняет взаимодействия расплавленного материала со стенками. Толстые слои (>20 мкм), представляющие собой налет сажи («ламповой копоти»), разрушаются при контакте с раствором-расплавом и загрязняют выращиваемые кристаллы углеродом.

Известен способ изготовления кварцевого контейнера в виде стакана с коническим дном (тубы) и с нанесением на внутреннюю поверхность контейнера углеродсодержащего покрытия осаждением продуктов разложения парогазовой смеси ацетона в токе азота при температуре 900÷1170°C (Qingrun В., Ju G., Jinyi W., Ji'an C. Carbon Film Coating Used in CdZnTe Cristal Growth. Rare Metals. Vol.16, №2, april 1997, p.114-116). Способ принят за аналог.

Данный способ характеризуется сложной и взрывоопасной технологией, поскольку в разогретом реакторе происходит высокотемпературное разложение паров ацетона и осаждение на кварцевой поверхности контейнера тонкого углеродсодержащего слоя. При получении кристаллов в таком контейнере происходит частичное взаимодействие расплавленного материала со стенками и образование кристаллов с повышенной плотностью дефектов структуры. Увеличение толщины защитного углеродсодержащего слоя до 25-30 мкм приводит к возникновению механических напряжений на границе раздела со стенками кварца и разрушению покрытия при контакте с расплавом.

Известен способ получения комбинированных кремний-оксид углеродных покрытий методом пиролиза тонких полимерных пленок силоксанов (Патент RU 2370568 30.04.2008 опубликовано 20.10.2009 (прототип)). Но данного вида покрытия вызывают легирование особо чистого материала кремнием, а так же связано с применение агрессивных веществ при формировании покрытия.

Техническим результатом является улучшение качества защитных покрытий на кварцевых поверхностях контейнеров за счет повышения их плотности и прочности, обеспечивающих предотвращение взаимодействия расплавленного материала с рабочими стенками контейнера любой формы и уменьшение загрязнения получаемого материала диффундирующими примесями химических элементов из кварца.

Технический результат достигается тем, что в способе изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для высокотемпературных процессов, включающем нанесение на рабочую поверхность кварцевого контейнера полимерной пленки с последующим отжигом в инертной атмосфере, новым является то, нанесение пленки на рабочую поверхность кварцевого контейнера проводят путем осаждения полигексаметиленгуанидингидрохлорида или полидиаллилдиметиламмонийхлорида из его 7-10%-ного водного раствора с pH 1-3, а последующий отжиг в инертной атмосфере проводят при 900-1000°C в течение 30-60 минут.

Сущность изобретения заключается в том, что высокомолекулярные олигомеры полимерных аминов эффективно закрепляются на поверхности кварцевого стекла за счет образования многоцентровых водородных и электростатических связей между азотами ПГМГ и поверхностными гидроксильными группами кварцевого стекла. В результате последующего отжига на поверхности кварца образуется тонкий слой углеродного покрытия.

Для осаждения полимерных пленок на поверхности кварцевого стекла методом смачивания, высушивания при обычных условиях и последующего отжига в инертной атмосфере используют полигексаметиленгуанидингидрохлорид или полидиаллилдиметиламмонийхлорид.

Наиболее равномерная пленка полимерного амина на поверхности кварцевого стекла образуются при использовании 7-10%-ного раствора полимерного амина с pH 1-3. Использование более концентрированного раствора ухудшает растекание раствора по стенкам кварцевого контейнера, и после отжига получаются разнотолщинные слои. Применение более разбавленного раствора приводит к образованию тонких пленок, не обладающих достаточной прочностью.

При pH>3 происходит снижение адгезии полимерных цепей к кварцу, а при pH<1 происходит образование полимерных агломератов и ухудшению однородности полимерного слоя.

Пиролизный отжиг углеродсодержащих полимерных пленок в инертной атмосфере проводят в интервале температур 900-1000°C. При температуре ниже 900°C и времени менее 30 минут, происходит образование неплотного неоднородного покрытия, которое разрушается при контакте с расплавом, загрязняя его примесями углерода. Проведение отжига в инертной атмосфере при температуре выше 1000°C и времени более 60 минут не приводит к существенному повышению качества углеродсодержащего покрытия, но приводит к дополнительным и неоправданным расходам.

Реализация предлагаемого способа иллюстрируется следующими примерами.

Пример 1.

Из кварцевой трубы (dвн.=58 мм; Lраб=600 мм; dст.=2,5 мм) изготовляют лодочку, протравливают ее 10%-ым водным раствором плавиковой кислоты марки ОСЧ. В изготовленную лодочку заливают 7%-ный водный раствор полидиаллилдиметиламмонийхлорида (ПДАДМА), содержащего 0,1 мл концентрированной плавиковой кислоты. Раствор сливают, лодочку переворачивают и оставляют вверх дном для высушивания. Лодочку с нанесенной полимерной пленкой помещают в реактор печи сопротивления и вакуумируют до 1,5.10-3 мм рт.ст. Затем реактор заполняют аргоном и в потоке аргона (1-100 мл/мин) проводят отжиг лодочки с нанесенной полимерной пленкой при температуре 900°С в течение 30 минут. Затем температуру в реакторе печи снижают до комнатной температуры и извлекают лодочку со сформированным защитным покрытием.

Полученную лодочку со сформированным защитным углеродным покрытием подают на участок зонной очистки германия. В лодочку с защитным покрытием загружают 1 кг германия поликристаллического полупроводниковой чистоты. Проводят три прохода расплавленной зоны для контроля чистоты покрытия. После осуществления процесса производят контроль (визуальный) контейнера, покрытия и анализ очищенного материала.

Состояние контейнера и покрытия:

- нет раскварцованных участков на внутренней и внешней поверхности стенок;

- нет разрушения покрытия на стенках и эрозии поверхности.

Параметры очищенного слитка:

- отсутствие видимых следов взаимодействия слитка со стенками контейнера, зеркально гладкое дно слитка;

- отсутствие трещин и других структурных дефектов на поверхности, образующихся в результате взаимодействия расплава со стенками кварца.

Параметры кристалла:

Слиток подвергли измерению удельного электрического сопротивления при температуре жидкого азота по всей длине известным двухзондовым методом. В качестве оценки чистоты получаемого материала использовали уровень удельного электрического сопротивления более 1000 Ом*см, что соответствует уровню электрически активных примесей не более 1011 см3:

- доля слитка, зонноочищенного до требуемого уровня 33%, что указывают па достаточную степень чистоты покрытия и нормальное ведение процесса зонной очистки;

Пример 2.

Из кварцевой трубы (dвн.=58 мм; Lраб=600 мм; dст.=2,5 мм) изготовляют лодочку, протравливают ее 10%-ным водным раствором плавиковой кислоты марки ОСЧ. В изготовленную лодочку заливают 7%-ный водный раствор полигексаметиленгуанидингидрохлорида, (ПГМГ) содержащего 0,1 мл концентрированной плавиковой кислоты. Раствор сливают, лодочку переворачивают и оставляют вверх дном для высушивания. Лодочку с нанесенной полимерной пленкой помещают в реактор печи сопротивления и вакуумируют до 1,5.10-3 мм рт.ст. Затем реактор заполняют аргоном и в потоке аргона (1-100 мл/мин) проводят отжиг лодочки с нанесенной полимерной пленкой при температуре 900°С в течение 30 минут. Затем температуру в реакторе печи снижают до комнатной температуры и извлекают лодочку со сформированным защитным покрытием.

Полученную лодочку со сформированным защитным углеродным покрытием подают на участок зонной очистки германия. В лодочку с защитным покрытием загружают 1 кг германия поликристаллического полупроводниковой чистоты. Проводят три прохода расплавленной зоны для контроля чистоты покрытия. После осуществления процесса производят контроль (визуальный) контейнера, покрытия и анализ очищенного материала.

Параметры кристалла:

Слиток подвергли измерению удельного электрического сопротивления при температуре жидкого азота по всей длине известным двухзондовым методом. В качестве оценки чистоты получаемого материала использовали уровень удельного электрического сопротивления более 1000 Ом*см, что соответствует уровню электрически активных примесей не более 1011 см3:

- доля слитка, зонноочищенного до требуемого уровня 32%, что указывает на достаточную степень чистоты покрытия и нормальное ведение процесса зонной очистки.

Качество материала, полученного по примеру 2 аналогично качеству материала, полученному по примеру 1. Данные приведены в таблицы 1.

Получено защитное покрытие на поверхности кварцевого контейнера, обеспечивает проведение процесса зонной очистки особо чистого германия с выходом в высокочистую часть (содержание электрически активных примесей не более 1011 см3) на уровне 33% от массы загружаемого материала.

Таким образом, заявленный способ позволяет значительно упростить процесс получения углеродного покрытия внутренних стенок контейнеров из кварцевого стекла любой конфигурации, повысить плотность и прочность покрытия, тем самым повысить надежность контейнеров при неоднократном их использовании в процессах зонной очистки и выращивания германия.

Использование кварцевого контейнера с защитным покрытием, полученным заявленным способом получить материалы с высокими электрофизическими параметрами за счет:

- предотвращения взаимодействия расплавленного материала с рабочей поверхностью кварца за счет не смачиваемого германием покрытия;

- уменьшения загрязнения выращиваемых кристаллов диффундирующими примесями из кварца за счет высокой чистоты, инертности и плотности покрытия.

Таблица 1
Результаты испытаний
№ п/п Вид контейнера Концентрация полимера, % масс. pH Время выдержки, мин Время отжига, мин Температура отжига, °C Срок службы, кол-во плавок Выход в особо чистый продукт в процессе зонной очистки германия, % масс.
1 Графит марки 3ОПГ-ОСЧ - - - - 400 6,3
2 Пироуглерод (аналог) - - - - 5 28,4
3 Кварц с покрытием из ПДАДМА 7 2 20 60 900 10 33,5
4 Кварце покрытием из ПДАДМА 3 3 10 30 900 4 26,0
5 Кварц с покрытием из ПДАДМА 10 3 10 30 900 4 30,2
6 Кварц с покрытием из ПДАДМА 20 1 30 60 1000 1 15,5
7 Кварц с покрытием из ПГМГ 7 2 20 60 1000 10 32,1
8 Кварц с покрытием из ПГМГ 3 3 10 30 900 3 25,9
9 Кварц с покрытием из ПГМГ 10 3 20 60 1000 7 27,8
10 Кварц с покрытием из ПГМГ 20 1 30 60 1000 1 15,7
11 Покрытие из винилтрихлорсилана (прототип) 5 17,7

Способ изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для высокотемпературных процессов, включающий нанесение на рабочую поверхность кварцевого контейнера полимерной пленки с последующим отжигом в инертной атмосфере, отличающийся тем, что нанесение пленки на рабочую поверхность кварцевого контейнера проводят путем осаждения полигексаметиленгуанидингидрохлорида или полидиаллилдиметиламмонийхлорида из его 7-10%-ного водного раствора с pH 1-3 и последующего отжига в инертной атмосфере при 900-1000°C в течение 30-60 мин.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области нанесения покрытия с использованием электрического разряда, в частности к формированию покрытия, закрывающего отверстие объекта.

Изобретение относится к области электротехники, а именно к технологии изготовления контактов вакуумных дугогасительных камер. Порошковую смесь и заготовку из материала с высокой электропроводностью помещают в вакуумную камеру, где порошковую смесь наносят в виде покрытия на заготовку методом электронно-лучевой наплавки в вакууме.

Изобретение относится к военной технике, а именно к методам индивидуальной защиты летательных аппаратов от ракет, оснащенных головками самонаведения, работающими в СВЧ диапазоне радиоволн.
Изобретение относится к конструктивному элементу из магниевого сплава с сильно выраженной металлической текстурой. .

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к получению спеченного электрода и разрядной обработке поверхности с его помощью. .

Изобретение относится к электроду для поверхностной обработки с получением износостойкой пленки за счет энергии электрического разряда и к способу изготовления упомянутого электрода.

Изобретение относится к смазочным композициям, в частности к составам для обработки пар трения, и может быть использовано в машиностроении для обработки пар трения, а также при эксплуатации механизмов и машин для продления межремонтного ресурса или во время ремонтно-восстановительных работ.

Изобретение относится к технологии получения покрытий на металлах с помощью энергии взрывчатых веществ (ВВ) и может быть использовано при изготовлении деталей энергетических и химических установок, обладающих повышенной жаростойкостью.
Изобретение относится к технологии финишной обработки поверхности сплавов циркония и может найти применение в атомной промышленности, реакторостроении и металлургии.

Изобретение относится к смазочным композициям, в частности к составам для обработки пар трения, и может быть использовано в машиностроении для обработки пар трения, а также при эксплуатации механизмов и машин для продления межремонтного ресурса или во время ремонтно-восстановительных работ.
Изобретение относится к способам получения защитно-декоративных покрытий на изделиях из древесины. Технический результат заключается в повышении качества и долговечности покрытия за счет увеличения прочности сцепления покрытия с подложкой и устранения водопроницаемости покрытия, и снижении энергоемкости процесса. Предварительно поверхность древесины покрывают первым слоем из эпоксидной смолы и вторым слоем из эпоксидной смолы с порошком алюминия в соотношении 1:1. Напыление слоев металла или сплава осуществляют плазмотроном мощностью 3,9 кВт и расходом плазмообразующего газа 0,8 м3/мин. 2 пр., 3 табл.

Изобретение относится к способу металлизации изделий из древесины. Технический результат изобретения заключается в повышении качества и долговечности покрытия за счет увеличения прочности сцепления покрытия с подложкой, устранения пористости покрытия и увеличения водонепроницаемости покрытия, снижении трудоемкости и энергоемкости процесса. Перед напылением поверхность древесины покрывают слоем из жидкого стекла. На незатвердевшую поверхность этого слоя напудривают слой порошка алюминия. Напыление слоев металла или сплава осуществляют плазмотроном с мощностью 4,5 кВт и расходом плазмообразующего газа 0,5 м3/мин. 2 пр., 3 табл.

Изобретение относится к химико-термической обработке стальных деталей и может быть использовано для обработки деталей, работающих в условиях абразивного износа ударных нагрузок, например для культиваторов, дисков, борон и лемехов. Способ нанесения металлокерамического покрытия на стальную деталь с использованием электрической дуги косвенного действия включает нанесение на упрочняемую поверхность детали металлокерамической пасты, нагрев до плавления металлокерамической пасты и поверхностного слоя детали электрической дугой косвенного действия, возникающей между графитовыми электродами. При нагреве металлокерамической пасты и поверхностного слоя детали между графитовыми электродами и поверхностью детали создают разность потенциалов. Затем деталь с нанесенным металлокерамическим покрытием нагревают до температуры закалки, выдерживают при этой температуре и подвергают закалке в индустриальном или трансформаторном масле, после чего производят отпуск с остыванием на воздухе. В частных случаях осуществления изобретения при закалке деталь с нанесенным металлокерамическим покрытием нагревают до 830°С и выдерживают при данной температуре в течение 5 мин. При отпуске деталь с нанесенным металлокерамическим покрытием нагревают до 185°С и выдерживают при данной температуре в течение 2 мин. Обеспечивается повышение твердости и износостойкости деталей за счет формирования на поверхности детали упрочненного металлокерамического слоя. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области нанесения антифрикционных покрытий преимущественно на боковую поверхность рельсов железнодорожных путей и может быть также использовано в узлах трения различных машин. Осуществляют предварительное нанесение на поверхность металла шероховатого слоя толщиной от 0,01 до 3,0 мм электроискровым методом и последующее нанесение антифрикционного слоя. При электроискровом нанесении используют электроды из средне- и высокоуглеродистых сталей, а антифрикционный слой наносят краскопультом толщиной 0,5÷1,5 мм с использованием состава, состоящего из минерального масла или смеси минеральных масел на основе насыщенных углеводородов, модифицированных наночастицами железа, образующегося в процессе термического разложения жидкого пентакарбонила железа, предварительно подвергнутого перемешиванию в среде масел в реакторе со скоростной мешалкой от 1000 до 2500 об/мин, в течение от 30 до 120 мин, с дальнейшим введением при перемешивании в упомянутый реактор тройной смеси порошковых наполнителей - графита (А), дисульфида молибдена (Б) и полимера тетрафторэтилена (В) в соотношении А:Б:В от 40:40:20 до 80:10:10. Упомянутый состав содержит в мас.ч.: минеральное масло или смесь минеральных масел 100, наночастицы железа 0,3-4,0 и тройную смесь порошковых наполнителей 15-60. Обеспечивается длительный эффект антифрикционного действия нанесенного покрытия. 2 табл., 5 пр.
Изобретение относится к способам упрочнения силовых конструкций, имеющих существующие или прогнозируемые разрушающиеся участки, с помощью полос из композиционного материала. В качестве полос используют тканый или нетканый армирующий наполнитель из стеклянных, базальтовых, синтетических полимерных или углеродных волокон. Указанные волокна пропитывают полимерной композицией в количестве 30÷60% от веса композита, обеспечивающей их прилипание к силовым конструкциям и последующее отверждение от +5°С до +100°С в течение от 5 минут до двух суток. Полимерная композиция содержит в мас.ч.: эпоксидная смола 100, активный эпоксидный разбавитель 5÷130, отвердитель 15÷110, загуститель 5÷50, пигмент или краситель 0,5÷50. В качестве отвердителя она содержит продукт взаимодействия аминного компонента с монокарбоновыми кислотами. В качестве аминного компонента используют смесь, состоящую из первичного ароматического амина или смесь ароматических аминов (А), вторичного алифатического аминоспирта (Б) и третичного алифатического аминоспирта (В) в массовом соотношении А:Б:В от 98:0,2:1,8 до 80:5:15. Монокарбоновую кислоту (Г) вводят в виде - 25÷80% раствора в одноатомном алифатическом или ароматическом спирте, или их эфире с моно- или дикарбоновой кислотой, в соотношении (А+Б+В):Г от 90:10 до 60:40 в пересчете на 100% кислоту с последующим взаимодействием путем перемешивания в реакторе при температуре от 50 до 130°С в течение от 20 до 120 минут и скорости мешалки от 100 до 3000 оборотов в минуту. Обеспечивается повышение адгезии усиливающих полос из композиционных материалов к поверхностям конструкций и более эффективное их упрочнение. 2 табл.

Изобретение относится к режущему инструменту с покрытием на режущей кромочной части. Покрытие на режущем инструменте выполнено в виде режущего кромочного элемента, при этом оно нанесено на заднюю поверхность (6b) основного элемента (6) кромочной части (5), представляющей собой область вблизи режущей кромки лезвия (2), причем упомянутое покрытие имеет более высокую твердость, чем основной элемент (6). Покрытие получено с использованием электрического разряда между упомянутой задней поверхностью (6b) и разрядным электродом для осаждения материала электрода или прореагировавшего вещества материала электрода, полученного под действием энергии разряда, на заднюю поверхность (6b). Разрядный электрод получен формованием порошка металла, порошка металлического соединения, порошка керамического материала или порошка из их смеси. Режущая кромка, обеспеченная покрытием, выступает наружу от кромки основного элемента (6), представляющей собой поперечную реберную линию между передней поверхностью (6а) и задней поверхностью (6b), к дистальной концевой стороне режущей кромки лезвия (2). Угол режущей кромки составляет от 10 до 20° включительно. На режущем инструменте обеспечивается покрытие, выполненное в виде кромочного элемента, способного поддерживать остроту даже после развития износа режущей кромочной части. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 10 ил., 1 табл., 7 пр.

Изобретение относится к области магнитной записи информации, конкретно к способу получения пленок для магнитной записи информации. Способ получения полимерных нанокомпозиций в виде тонких пленок для сверхплотной записи информации включает получение прекурсора, состоящего из поливинилового спирта, воды и смеси водорастворимых солей трех- и двухвалентного железа, с последующей обработкой по крайне мере одним водорастворимым диальдегидом при pH от 0 до 3 в присутствии кислоты в качестве подкисляющего агента, получение тонкой пленки на диэлектрической немагнитной подложке путем нанесения прекурсора на вращающуюся на центрифуге подложку с образованием пленки геля, обработку полученной пленки геля щелочью, при введении щелочи в количестве, обеспечивающем полное протекание реакции щелочного гидролиза смеси солей железа с образованием смеси магнетита и маггемита, при этом обработку щелочью полученной пленки геля осуществляют в парах аммиака, образующегося из водного раствора аммиака (NH4OH) или гидразин-гидрата (N2H4·H2O) в течение 5,0-15,0 часов. Технический результат - уменьшение разброса наночастиц магнетита и маггемита по размерам, получение нанокомпозиции равномерной структуры. Полученная структура может использоваться в качестве запоминающей среды для сверхплотной магнитной записи информации. 2 ил. 1 пр.

Изобретение относится к области упрочнения рабочих органов, работающих в условиях интенсивного изнашивания, в частности к способу индукционной наплавки шихты на стальную деталь. Перед индукционной наплавкой шихты проводят предварительное упрочнение детали на глубину 0,3-0,6 мм. Для наплавки используют шихту, состоящую из смеси 20-30% карбида бора и 70-80% флюса. Смесь наносят на деталь толщиной 0,8-1,4 мм. Расплавляют шихту токами высокой частоты и выдерживают в течение (50-70)с при температуре не ниже 1240°С. В результате подавляется образование нежелательных структур в наплавленном слое и соответственно повышается износостойкость наплавленной детали. 3 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области технологии создания полимерных покрытий, технологии повышения эксплуатационных свойств полимерных покрытий. Способ нанесения покрытия на основе полифениленсульфида на металлическую подложку характеризуется нанесением на поверхность металлической подложки 3 об.% водного раствора N-(2-аминоэтил)-3-аминопропилтриметоксисилана методом окунания, сушкой при температуре 120°С в течение 60 минут и электростатическим напылением порошкового покрытия на основе полифениленсульфида. В качестве металлической подложки используют подложку из низкоуглеродистой стали, углеродистой стали или чугуна. Обеспечивается повышение уровня адгезии покрытия к металлической подложке и защита от подпленочной коррозии при нарушении целостности покрытия, что способствует увеличению коррозионной и химической стойкости покрытия на основе полифениленсульфида. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 пр.

Изобретение относится к металлургии и может быть использовано при нанесении антипригарного покрытия на поверхность кислородной фурмы при конвертерной плавке стали. Способ включает напыление одновременно на последовательные участки кислородной фурмы по всему периметру при поступательном движении фурмы вниз водовоздушного слоя с удельным расходом воды 0.3-0.8 л/м2 посредством распылительных головок. Затем из тракта подачи шлакообразующих на поверхность кислородной фурмы подают сыпучую негашеную известь. При этом распылительные головки монтируют неподвижно относительно кислородной фурмы. Использование изобретения обеспечивает сокращение технологического цикла получения антипригарного покрытия. 1 ил.
Наверх