Анализатор многофункциональный



Анализатор многофункциональный
Анализатор многофункциональный
Анализатор многофункциональный
Анализатор многофункциональный

 


Владельцы патента RU 2561234:

Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА" (RU)

Изобретение относится к области измерений и может быть использовано для проведения измерений объектов при постоянном контроле внешних условий. Многофункциональный анализатор содержит установочную платформу, сопряженную с держателем объекта средствами соединения и включающую активный модуль с первым активным элементом, выполненным в виде сканирующего зондового микроскопа, и вторым активным элементом, в качестве которого используют датчик измерения уровня вибрации измеряемого объекта. Технический результат - обеспечение оптимальных условий финишных измерений. 4 ил.

 

Анализатор многофункциональный предназначен для проведения измерения объектов, при постоянном контроле внешних условий, а также после воздействия на объект. Он может быть также использован для предварительного анализа и подготовки объектов и определения оптимальных условий финишных измерений. Финишные измерения объектов могут проводиться, например, с использованием сканирующих зондовых микроскопов.

Известен анализатор, содержащий установочную платформу, сопряженную с держателем объекта средствами соединения и включающую активный модуль, представляющий собой микротвердомер [1].

Это устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения.

Недостаток этого устройства заключается в том, что у него низкие функциональные возможности, связанные с измерением одного параметра.

Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей устройства.

Указанный технический результат достигается тем, что в анализаторе многофункциональном, содержащем установочную платформу, сопряженную с держателем объекта средствами соединения и включающую активный модуль, с первым активным элементом, в активный модуль введен второй активный элемент.

Существует вариант, в котором в качестве первого активного элемента используют сканирующий зондовый микроскоп.

Существуют варианты, в которых в качестве второго активного элемента используют датчик крена, или датчик измерения уровня вибрации, или датчик измерения уровня радиации, или датчик определения состава атмосферы, или датчик измерения уровня и состава излучений, или микротвердомер, или блок механического воздействия на объект.

Существует также вариант, в котором в качестве блока механического воздействия на объект используют микротом.

Существует также вариант, в котором в активный модуль введен третий активный элемент, при этом в качестве первого активного элемента используют сканирующий зондовый микроскоп, в качестве второго активного элемента - микротом, в качестве третьего активного элемента - микротвердомер.

Существует также вариант, в котором в активный модуль введен четвертый активный элемент, в качестве которого используют источник плазмы.

На фиг.1 изображен анализатор многофункциональный.

На фиг.2 изображен анализатор многофункциональный со сканирующим зондовым микроскопом в качестве первого активного элемента.

На фиг.3 изображен вариант выполнения анализатора многофункционального, в котором активный модуль содержит три активных элемента.

На фиг.4 изображен вариант выполнения анализатора многофункционального, в котором активный модуль содержит четыре активных элемента.

Анализатор многофункциональный содержит установочную платформу 1 (фиг.1) со средствами соединения 2 и с активным модулем 3. В активном модуле 3, например, в посадочных местах 4 установлены первый активный элемент 5 и второй активный элемент 6. В качестве средств соединения 2 может быть использована магнитная система, в простейшем случае состоящая из кольцевого магнита, соединенного с установочной платформой 1 клеем или винтами (не показано). Также магнитная система может состоять из набора постоянных магнитов или электромагнита (не показаны). Средства соединения 2 обеспечивают установку платформы 1 на держатель объекта 7, на котором закреплен первый объект 8, имеющий возможность одновременного взаимодействия с первым 5 и вторым 6 активными элементами. В качестве первого активного элемента 5 может использоваться основной измерительный модуль. В качестве второго активного элемента 6 может использоваться модуль контроля 6.

Существуют варианты, в которых в качестве модуля контроля 6 используют датчик крена, или датчик измерения уровня вибрации, или датчик измерения уровня радиации, или датчик определения состава атмосферы, или датчик измерения уровня и состава излучений, или микротвердомер. Под датчиками измерения уровня и состава излучений далее будем понимать датчики для измерения в первую очередь электромагнитных излучений. Под датчиками радиации будем понимать датчики гамма и рентгеновского излучений.

В качестве датчика крена могут быть использованы устройства, описанные в [5, 6]. В качестве датчика измерения уровня вибрации можно использовать датчики, описанные в [7, 8]. В качестве датчиков измерения уровня радиации можно использовать датчики, описанные в [9, 10]. В качестве датчиков определения состава атмосферы можно использовать датчики, описанные в [11, 12]. В качестве датчика измерения уровня и состава электромагнитных излучений можно использовать, например, спектрометр [13, 14, 15], а также датчики, описанные в [16, 17]. В качестве микротвердомера можно использовать устройство, описанное в [1, 18].

В одном из вариантов в платформе 1 (фиг.2), в активном модуле 3 посредством первого переходного устройства 9 в качестве первого активного элемента 5 (основного измерительного модуля) установлен сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) 10 с пьезосканером 11 и зондом 12. СЗМ 10 соединен с модулем грубого сближения 13. В частном случае модуль грубого сближения 13 может входить в состав СЗМ 10. Подробно сканирующие зондовые микроскопы, пьезосканеры, зонды и модули грубого сближения и средства соединения описаны в [2, 3, 4]. Первое переходное устройство 9 в частном случае может быть выполнено в виде цилиндрической втулки, если модуль грубого сближения 13 тоже цилиндрический. Если он имеет другую форму, то, соответственно, и устройство 9 будет иметь другое исполнение. Его назначение соединить активный модуль 3 с модулем грубого сближения 13, или СЗМ 10, если модуль 13 входит в его состав. Под активным модулем 3 можно понимать как корпусную деталь, изображенную на фиг.1, фиг.2, связывающую активные элементы 5 и 6 в единый блок, так и более сложную конструкцию, которая будет включать элементы электроники, предусилители, разъемы и т.п. (не показаны). Зонд 12 расположен с возможностью взаимодействия со вторым объектом 14. В активном модуле 3 во втором переходном устройстве 15 в качестве второго активного элемента 6 можно использовать вспомогательный модуль 16. Второе переходное устройство 15 выполняет ту же соединительную функцию, что и первое переходное устройство 9. Второй объект 14 может иметь меньшие размеры, чем первый объект 8 и быть сопряженным только с СЗМ 10, а именно с его зондом 12. При необходимости его сопряжения со вторым активным элементом 6 (вспомогательным модулем) анализатор многофункциональный может быть снабжен устройством подвижки 17, находящимся во взаимодействии с элементом 6. Устройство подвижки 17 в простейшем случае может содержать винт шагового двигателя, сопряженный с гайкой, установленной в платформе 1 (либо в средствах соединения 2). Платформа 1 при этом может быть размещена на линейных направляющих (не показаны) и иметь возможность перемещения относительно держателя объекта 7.

Существует также вариант, в котором в качестве второго активного элемента 6 вспомогательного модуля используют блок механического воздействия 16 на объект. Блок механического воздействия 16 может содержать двигатель вращения, на шкиву которого закрепляют абразивный круг с вертикальной подачей (не показано).

Кроме этого в качестве блока механического воздействия 16 на объект можно использовать микротом 16. В этом случае устройство подвижки 17 должно обеспечивать попеременное сопряжение с объектом 14 сначала микротома 16, а потом СЗМ 10. Детально попеременное сопряжение микротома 16 и СЗМ 10 с объектом 14, а также подробное исполнение микротома см. в [19, 20].

В другом варианте активный модуль 3 (фиг.3) снабжен тремя посадочными местами 20. Этот активный модуль отличается от активного модуля, изображенного на фиг.1 и фиг.2, количеством посадочных мест, но условно для упрощения чертежей имеет ту же позицию. В этих посадочных местах посредством первого переходного устройства 9, например, с отверстием 22 может быть установлен сканирующий зондовый микроскоп 10; посредством второго переходного устройства 15, например, с отверстием 23 может быть установлен блок механического воздействия 16 (микротом); посредством третьего переходного устройства 24, например, с отверстием 25 может быть установлен третий активный элемент 27, в качестве которого можно использовать, например, датчик крена, или датчик измерения уровня вибрации, или датчик измерения уровня радиации, или датчик определения состава атмосферы и влажности, или датчик измерения уровня и состава излучений, или микротвердомер.

В другом варианте активный модуль 3 (фиг.4) снабжен четырьмя посадочными местами 20. Этот активный модуль отличается от активного модуля, изображенного на фиг.1, фиг.2 и фиг.3, количеством посадочных мест, но условно для упрощения чертежей имеет ту же позицию. В этих посадочных местах может быть установлен сканирующий зондовый микроскоп 10, блок механического воздействия 16 (микротом), микротвердомер 20, а также посредством четвертого переходного устройства 29, например, с отверстием 30 может быть установлен четвертый активный элемент 31, в качестве которого можно использовать источник плазмы (см., например, [21]).

Анализатор многофункциональный работает следующим образом.

Установочную платформу 1 закрепляют на держателе объекта 7 (фиг.1). В отверстия 4 вставляют первый активный элемент 5 и второй активный элемент 6. После получения информации от второго активного элемента 6 об объекте 8 или о состоянии окружающей среды подбирают оптимальную методику при его дальнейшем исследовании первым активным элементом 5. В одном из вариантов в качестве первого активного элемента 5 используют сканирующий зондовый микроскоп 10 (фиг.2), а в качестве блока механического воздействия 16 - микротом. При воздействии микротома 16 на объект 14 устройство подвижки 17 обеспечивает расположение объекта 14 напротив микротома 16. После среза поверхности объекта 14 микротомом 16 устройство подвижки 17 возвращает СЗМ 10 в зону измерения объекта 14.

При использовании в качестве первого активного элемента 5 сканирующего зондового микроскопа 10 (фиг.3), в качестве второго активного элемента 6 микротома, и в качестве третьего активного элемента 27 микротвердомера можно сначала измерить твердость объекта 28. Согласно результатам этих измерений можно выбрать предпочтительные параметры микротома 16 для получения срезов наилучшего качества, такие как материал ножа, используемого в составе микротома. Например, можно использовать стеклянный нож при твердости по Шору D объекта 28 меньше 50 и алмазный нож при твердости по Шору D объекта 28 больше 50. После этого можно осуществить срез объекта 28 микротомом 16, а потом провести измерение поверхности среза на объекте 28 посредством СЗМ 10. Подробнее работу микротома и СЗМ см. в [2, 3, 4, 19, 20].

При дополнительном использовании источника плазмы 31 после измерения твердости, либо после среза можно проводить плазменное травление, а потом осуществлять анализ среза на объекте 28 посредством СЗМ 10.

То, что активный модуль выполнен с двумя посадочными местами для двух активных элементов расширяет функциональные возможности устройства за счет того, что в эти посадочные места можно устанавливать различные измерительные модули и получать комплексную информацию об измеряемом объекте, что расширяет функциональные возможности устройства.

То, что в качестве первого активного элемента используют сканирующий зондовый микроскоп, расширяет функциональные возможности устройства.

То, что в качестве второго активного элемента используют датчик крена, позволяет точно определить угловое положение измеряемого объекта, что дает дополнительную информацию о положении объекта с целью оптимизации возможных дальнейших ее исследований с помощью сканирующего зондового микроскопа или другого измерительного оборудования.

То, что в качестве второго активного элемента используют датчик измерения уровня вибрации, позволяет измерить реальный уровень вибрации измеряемого объекта. При последующих измерениях методом сканирующей зондовой микроскопии согласно существующему уровню вибраций, можно заранее предположить разрешение СЗМ, а также выбрать наиболее оптимальную его модификацию. Например, при повышенных уровнях вибрации можно использовать пьезосканер с большей резонансной частотой (см. также [2, 3, 4]).

То, что в качестве второго активного элемента используют датчик измерения уровня радиации, позволит принять необходимые защитные меры для персонала и (первого активного элемента) дополнительного измерительного оборудования, а также для защиты этого оборудования. При выявлении повышенных уровней радиации необходимо защищать оборудование экранами и, например, использовать электронные блоки управления СЗМ, изготовленные на специальной элементной базе, предназначенной для эксплуатации в этих условиях. Эта элементная база может быть на основе арсенида галлия.

То, что в качестве второго активного элемента используют датчик определения состава атмосферы, позволит принять необходимые защитные меры для персонала и дополнительного измерительного оборудования (первого активного элемента), а также для защиты этого оборудования. Защиту, например, сканирующего зондового микроскопа можно осуществлять благодаря использованию специальных колпаков, сопряженных со средствами поддержания состава атмосферы и влажности [22].

То, что в качестве второго активного элемента используют датчик измерения уровня и состава излучений, позволит принять необходимые защитные меры для персонала и дополнительного измерительного оборудования (первого активного элемента), а также для защиты этого оборудования. Защиту, например, сканирующего зондового микроскопа можно осуществлять благодаря использованию заземленных экранирующих кожухов.

То, что в качестве второго активного элемента используют микротвердомер, позволит получить дополнительную информацию об объекте и оптимизировать исследования, например, с использованием СЗМ. Подобное выполнение расширяет функциональные возможности предложенного устройства.

То, что в качестве второго активного элемента используют блок механического воздействия на объект, позволит получить дополнительную информацию об объекте, особенно, если в качестве такового используют микротом, а в качестве первого активного элемента - СЗМ.

То, что в активном модуле устанавливают третий активный элемент, в качестве первого активного элемента используют сканирующий зондовый микроскоп, в качестве второго активного элемента - микротом, в качестве третьего активного элемента - микротвердомер расширяет функциональный возможности устройства за счет увеличения информации об измеряемом объекте.

То, что в активный модуль введен четвертый активный элемент, в качестве которого используют источник плазмы, расширяет функциональный возможности устройства за счет увеличения информации об измеряемом объекте. По количеству и глубине канавок травления на поверхности объекта можно судить о степени неоднородности измеряемого объекта.

Использование последних одиннадцати признаков помимо расширения функциональных возможностей, повышает достоверность финишных измерений.

Литература

1. Патент RU2231041, 2001.

2. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера. 2009.

3. Соколов Д.Ю. Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий. М.: Техносфера. 2010.

4. Патент RU 2199171, 2003.

5. Датчик крена МКРН. 402113.001. www.oaoskbra.ru/

6. Датчик крена ДК1. www.mslab.ru/

7. www.vibrtest.ru.

8. www.sensoren.ru.

9. Патент US6452184, 2002.

10. www.rf.atnn.ru.

11. Колешко В.М. Металлооксидные микроэлектронные газовые сенсоры // Нано- и микросистемная техника. 2007. №2.

12. Васильев А. А. Газочувствительные приборы на микромашиной мембране: комбинация кремниевой технологии и технологии толстых пленок // Сенсор. 2001. №1.

13. http://www.prior.com/productinfo_illumination_lumaspec.html

14. http://www.everfine.net/productinfo.php?pid=73&fid=7

15. Патент US 7978324, 2011.

16. www.unitechs.ru/

17. www.emi.ucoz.com/

18. Патент RU2079127, 1997.

19. Патент RU2233490, 2004.

20. Патент RU2389032, 2010.

21. Патент RU2206882, 2003.

22. Патент RU2401983, 2010.

Анализатор многофункциональный, содержащий установочную платформу, сопряженную с держателем объекта средствами соединения и включающую активный модуль с первым активным элементом, выполненным в виде сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что в активный модуль введен второй активный элемент, в качестве которого используют датчик измерения уровня вибрации измеряемого объекта.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области формирования в цифровом виде образного изображения поверхности нанообъекта в сканирующем туннельном микроскопе. Под образным изображением нанообъекта понимается его топография, отличающаяся от истинной, но сохраняющая отличительные признаки.

Изобретение относится к металлическому наконечнику для использования в сканирующем зондовом микроскопе, а также к способу его изготовления. Наконечник (1) имеет осевую протяженность (l), радиальную протяженность (d), заостренную часть (В), которая проходит в осевом направлении от части с максимальной осевой протяженностью (5) к атомарно острому концу (9), и тупую часть (А), которая проходит в осевом направлении от части с максимальной осевой протяженностью (5) к тупому концу (7).

Изобретение относится к области нанотехнологий и может быть использовано для исследования образцов, например биоматериалов и изделий медицинского назначения, методами сканирующей зондовой микроскопии, включая исследование внутренних пор зондом сканирующего зондового микроскопа (СЗМ).

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в зондовой сканирующей микроскопии и атомно-силовой микроскопии для диагностирования и исследования наноразмерных структур.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в зондовой сканирующей микроскопии и атомно-силовой микроскопии для диагностирования и исследования наноразмерных структур.

Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой зонд на основе полевого транзистора с наноразмерным каналом и может быть использовано при определении физико-химических и электрических параметров наноразмерных объектов физической, химической и биологической природы.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам сканирования поверхности объекта с помощью сканирующего зондового микроскопа, и может быть использовано для определения изменения рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объекта при пропускании электрического тока.

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Микроскоп с устройством включает платформу (1), держатель образца (2) с образцом (3), установленные на сканирующем устройстве (4), сопряженном с платформой (1), блок сближения (5), систему регистрации (6), состоящую из источника излучения (7) и фотоприемника (8), многозондовый датчик контурного типа (9), содержащий основание (10) с гибкими консолями (15), остриями (16, 17) и первый установочный модуль (18), закрепленный посредством второго установочного модуля (19) на захвате (20), сопряженном с приводом вращения (21), соединенным с платформой (1), а также блок управления (30) и модуль ориентации по углу (25), сопряженный с захватом (20).

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии и профилометрии, и может быть использовано для калибровки профилометров и сканирующих зондовых микроскопов в плоскости.

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии и профилометрии и может быть использовано для калибровки профилометров и сканирующих зондовых микроскопов в трех измерениях.

Изобретение относится к области техники зондовой микроскопии. Атомно-силовой сканирующий зондовый микроскоп (АСМ) содержит кантилевер, иглу кантилевера, систему обнаружения и регистрации отклонения кантилевера, включающую лазер, отражательную поверхность кантилевера и 4-секционный фотодиод с входным усилителем, систему 3-D позиционирования образца, контроллер АСМ для обработки результатов измерения, а также устройство для генерации квазичастиц, устройство для приема квазичастиц, отраженных от поверхности исследуемого образца, и дополнительный контроллер для построения карты отражающей способности поверхности. Техническим результатом изобретения является обеспечение возможности изучения динамики поведения квазичастиц на поверхности с нанометровым разрешением. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к способу нанесения покрытия на зонды для атомно-силовой микроскопии (АСМ). Способ включает нанесение покрытия по меньшей мере на один АСМ-зонд посредством источника ионных кластеров. Нанесение покрытия осуществляют материалом в форме сферических наночастиц контролируемого размера. Технический результат - улучшение геометрических свойств зонда, уменьшение исходного радиуса кривизны острия зонда. 5 н. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области техники зондовой спектроскопии, которая занимается разработкой устройств и методов для исследования спектров поверхности с нанометровым разрешением. Согласно способу измерения энергетических спектров квазичастиц в конденсированной среде, возбуждают квазичастицы с нужными свойствами, производят распространение, отражение, повторное распространение отраженных квазичастиц, регистрацию отраженных квазичастиц, обработку полученной информации и восстановление спектра квазичастиц в исследуемом образце. Распространение и повторное распространение отраженных квазичастиц происходит вдоль иглы кантилевера. Отражение квазичастиц производится от границы раздела острие иглы кантилевера/поверхность образца, при этом затухание потока квазичастиц в игле кантилевера учитывается расчетом. Технические результаты - упрощение настройки, повышение стабильности работы, уменьшение искажений. 1 ил.

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Согласно способу работы сканирующего зондового микроскопа генерируют относительное периодическое перемещение между зондом и образцом, детектируют перемещение зонда, восстанавливают из продетектированного перемещения зонда мгновенную силу между зондом и образцом при взаимодействии зонда и образца, определяют интересующую временную зону, связанную с восстановленной мгновенной силой, и стробируют ее. В качестве сигнала возбуждения используют тепло, подводимое к образцу или зонду, внешнее взаимодействующее поле, электромагнитную волну, оптическое возбуждение, сигнал напряжения или магнитную силу и измеряют контролируемый физический отклик зонда на этапе генерации в интересующей временной зоне в пределах периода взаимодействия между зондом и образцом. При этом сигналы, отличные от идущих с контролируемого участка, считаются паразитными шумами. Технический результат заключается в улучшении разрешения, повышении производительности сканирования. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 63 ил.

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии. Сканер содержит корпус сканера, включающего привод и датчик для обнаружения движения сканера. Корпус сканера выполнен с возможностью съема с головки вручную и имеет общий объем менее приблизительно пяти кубических дюймов. При этом корпус имеет первый открытый конец для подключения сканера к свободной концевой части головки, имеющей внешнюю поверхность, выступающую в сторону образца, и второй закрытый конец, на котором расположен держатель зонда, а также внутреннюю поверхность, проходящую между первым и вторым концами. Внешняя и внутренняя поверхности имеют одинаковую коническую форму и совпадают друг с другом. Технический результат - повышение жесткости конструкции сканера. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 20 ил.

Изобретение относится к креплению для сенсорного блока сканирующего зонда. Крепление для сенсорного блока (27, 127) включает опору (1, 101, 201, 301), образующую в креплении плоскость, подвижные фиксирующие соединительные элементы (9, 109, 208), расположенные по краю опоры (1, 101, 201, 301) и выполненные с возможностью взаимодействия с соответствующей ответной частью (43, 143) сенсорного блока и возможностью перемещения в первое положение, в котором они прикладывают усилие к установленному сенсорному блоку (27, 127) таким образом, чтобы действовать на него в направлении опоры (1, 101, 201, 301) по нормали к указанной плоскости, и во второе положение, в котором они позволяют производить установку сенсорного блока (27, 127) на опору (1, 101, 201, 301) или снятие этого блока с опоры в направлении вдоль нормали к плоскости. Плоскость в креплении образована тремя шариками (5, 105, 205, 305). Каждый фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208) расположен на пружине (206, 306) или подвижном элементе (11, 111), выполненном с возможностью смещения к центру опоры (1, 101). Фиксирующие соединительные элементы (9, 109, 208) равномерно распределены по краю опоры (1, 101) так, что усилие, действующее на сенсорный блок (27, 127) в направлении опоры (1, 101, 201, 301) по нормали к плоскости, представляет собой суперпозицию радиальной и параллельной компонент по отношению к направлению установки, которые в сумме дают результирующую силу, действующую в направлении вдоль нормали. Технический результат - уменьшение риска повреждений сенсорного блока. 5 н. и 9 з.п. ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к сканирующим зондовым микроскопам, адаптированным для измерения поверхности образца, полученной после механической модификации этой поверхности. Микроскоп содержит основание (1), сканирующее устройство (33), установленное на механизме (6) перемещения образца (40), образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33), первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), блок управления, адаптированный для управления сканирующим устройством (33) и зондом (28), и платформу (18) с первой и второй направляющими, на которых установлена подвижная каретка (26). На основании установлены пуансон (2) с первым приводом (4) и механизм (6) перемещения образца (40) со вторым приводом (7). Платформа (18) закреплена на механизме (6) перемещения образца (40). Первый зажим (27) с зондом (28) установлены на подвижной каретке (26). Технический результат - снижение погрешности измерения поверхности образца. 10 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в зондовой сканирующей микроскопии и атомно-силовой микроскопии для диагностирования и исследования наноразмерных структур. Сущность изобретения заключается в том, что магнитопрозрачный кантилевер соединен с магнитопрозрачной зондирующей иглой, вершина которой соединена с магнитопрозрачной сферой, выполненной из стекла со сквозными нанометровыми порами малого и большого диаметра, заполненными соответственно квантовыми точками структуры ядро-оболочка и магнитными частицами структуры ядро-оболочка. Техническим результатом является возможность одновременного сочетания магнитного, теплового и электромагнитного в оптическом диапазоне волн точечного воздействия с измерением механической реакции на это стимулирующее воздействие в одной общей точке поверхности объекта диагностирования без влияния на соседние участки. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения линейных перемещений по трем взаимоортогональным осям. Интерферометр содержит одночастотный лазер, коллиматор для ввода излучения в транспортное волокно, коллиматор, вводящий излучение в оптическую схему, акустооптический модулятор, формирующий опорное и измерительное плечи интерферометра, поляризационный светоделитель, позволяющий развести лучи на расстояние, достаточное для их независимого использования зеркалами, систему зеркал, которая расположена вокруг пьезоэлектрического стола, триппель-призмы, закрепленные на пьезоэлектрическом столе так, что их оси симметрии проходят через центр вращения пьезоэлектрического стола, фотоприемники, подключенные к соответствующим измерительным входам фазометра, а также генератор сдвиговой частоты, связанный с акустооптическим модулятором и опорным входом фазометра. Техническим результатом изобретения является уменьшение габаритов оптической системы, уменьшение собственных шумов за счет уменьшения колебаний значений показателя преломления воздуха и уменьшения ошибки Аббе. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в зондовой сканирующей микроскопии и атомно-силовой микроскопии для диагностирования и исследования наноразмерных структур. Сущность изобретения заключается в том, что магнитопрозрачный кантилевер соединен с электропроводящей магнитопрозрачной зондирующей иглой, вершина которой продета через магнитопрозрачную сферу, выполненную из стекла со сквозными нанометровыми порами малого и большого диаметра, заполненными соответственно квантовыми точками структуры ядро-оболочка и магнитными частицами структуры ядро-оболочка. Техническим результатом является возможность одновременного сочетания магнитного, теплового и электромагнитного в оптическом диапазоне волн точечного воздействия с измерением характеристик электрического сигнала на это стимулирующее воздействие в одной общей точке поверхности объекта диагностирования без влияния на соседние участки. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Наверх