Микро-опто-электро-механический датчик угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором и оптического туннельного эффекта

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к устройствам для измерения угловой скорости. Датчик состоит из устройства управления, чувствительного элемента, выполненного в виде кольцевого резонатора, закрепленного на упругих подвесах в кремниевой пластине, соединенной со стеклянной подложкой, контактных площадок, четырех проводящих контуров, выполненных на соседних близко расположенных упругих подвесах и частично на кольцевом резонаторе, равноудаленно друг от друга, постоянного магнита, верхнего и нижнего магнитопроводов. При этом датчик дополнительно содержит блок обработки информации, четыре канала приемо-передачи оптического излучения, включающие волоконно-оптический ответвитель, связанный световодами с источником оптического излучения, приемником оптического излучения и устройством ориентации оптического излучения, причем устройства ориентации оптического излучения, выполненные в виде прямоугольных параллелепипедов из кварцевого стекла, установлены на стеклянной подложке чувствительного элемента со сдвигом в 45° относительно центров проводящих контуров, расположенных на кольцевом резонаторе, на расстоянии от 1 до 10 мкм от кольцевого резонатора, покрыты зеркальным напылением, за исключением области, расположенной напротив кольцевого резонатора, а на внешнюю поверхность кольцевого резонатора нанесено светопоглощающее покрытие. Технический результат заключается в повышении точности. 5 ил.

 

Изобретение относится к области приборостроения и предназначено для измерения угловой скорости вращения в инерциальной системе отсчета, связанной с центром масс летательных аппаратов аэрокосмической техники.

Известен датчик угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа, изготовленный на основе микроэлектромеханических технологий, состоящий из устройства управления и чувствительного элемента, выполненного в виде кольцевого резонатора, упругих элементов подвеса, кремниевой пластины, контактных площадок, четырех проводников для возбуждения колебаний, четырех проводников для измерения амплитуды колебаний, постоянного магнита, верхнего и нижнего магнитопровода, стеклянной подложки (прототип: Распопов В.Я. Микросистемная авионика: учебное пособие. Тула: «Гриф и К», 920. - 248 с.: ил. ISBN 1078-5-8135-1567-10. стр. 136-139). Принцип действия данного датчика основан на измерении в четырех точках с помощью индуктивного метода, амплитуд колебаний резонатора, возникающих из-за воздействия угловой скорости на резонатор. К недостаткам датчика можно отнести низкую чувствительность и помехозащищенность индуктивного метода, применяемого для измерения угловой скорости.

Технический результат, создаваемый изобретением - улучшение точностных характеристик датчика.

Для достижения указанного результата предлагается микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости, содержащий чувствительный элемент, выполненный на основе волнового твердотельного гироскопа, блок обработки информации, блок управления, связанный с блоком обработки информации и чувствительным элементом, четыре канала приемо-передачи оптического излучения, состоящие из волоконно-оптического ответвителя, связанного световодами с источником оптического излучения, приемником оптического излучения и чувствительным элементом, при этом приемник оптического излучения связан с блоком обработки информации, чувствительный элемент выполнен в виде кольцевого резонатора, закрепленного на упругих подвесах в кремниевой пластине, соединенной со стеклянной подложкой, четырех проводящих контуров, выполненных на соседних близко расположенных упругих подвесах и частично на кольцевом резонаторе, равноудаленно друг от друга, кроме того, на стеклянной подложке со сдвигом в 45° относительно центров проводящих контуров, расположенных на кольцевом резонаторе, на расстоянии от 1 до 10 мкм от кольцевого резонатора установлены четыре устройства ориентации оптического излучения, соединенные со световодами каналов приемо-передачи оптического излучения и выполненные в виде прямоугольных параллелепипедов из кварцевого стекла, покрытых зеркальным напылением, исключая области, расположенные напротив кольцевого резонатора, причем на внешнюю поверхность кольцевого резонатора нанесено светопоглощающее покрытие.

Применение вместо индуктивного метода измерения амплитуды колебаний метода измерения амплитуды колебаний на основе оптического туннельного эффекта позволит улучшить точностные характеристики датчика за счет отсутствия влияния электромагнитных сигналов возбуждения колебаний на оптическое излучение, используемое для измерения амплитуды колебаний.

На фиг.1 представлена структурная схема микрооптоэлектромеханического датчика угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором и оптического туннельного эффекта.

На фиг. 2, 3, 4, 5 представлена конструкция чувствительного элемента микрооптоэлектромеханического датчика угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором и оптического туннельного эффекта (основной вид, виды А, Б, В).

Микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором и оптического туннельного эффекта содержит четыре канала приемо-передачи оптического излучения А1-А4, включающие источник оптического излучения 1, световод 2, передающий оптическое излучение источника оптического излучения 1 к волоконно-оптическому ответвителю 3, световод 4, осуществляющий передачу оптического излучения от волоконно-оптического ответвителя 3 к чувствительному элементу 5 и обратно, световод 6, передающий оптическое излучение от волоконно-оптического ответвителя 3 к приемнику оптического излучения 7, блок обработки информации 8, предназначенный для расчета измеренного значения угловой скорости Ω_изм, соответствующей значению угловой скорости объекта Ω_вх, в инерциальной системе координат, блок управления 9, предназначенный для формирования управляющих сигналов по командам от блока обработки информации 8, подающихся на чувствительный элемент для возбуждения колебаний кольца резонатора.

Чувствительный элемент 5 микрооптоэлектромеханического датчика угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором и оптического туннельного эффекта включает стеклянную подложку 10, соединенную с кремниевой пластиной 11, в которой размещен кольцевой резонатор 12, закрепленный на восьми упругих подвесах 13, четыре контакта 14, четыре контакта 15, постоянный магнит 16, верхний 17 и нижний 18 магнитопроводы, блок ориентации оптического излучения 19, выполненный в виде прямоугольных параллелепипедов из кварцевого стекла, покрытых зеркальным напылением, исключая области, расположенные напротив кольцевого резонатора 12, четыре идентичных проводящих контура, каждый из которых образует цепочку - контакт 14, проволока 20, упругий подвес 13, сектор кольца (по часовой стрелке) до следующего упругого подвеса, упругий подвес 13, проволока 20, контакт 15. Корпус чувствительного элемента закрыт крышкой 21.

Микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором и оптического туннельного эффекта работает следующим образом. Блок управления 9 по командам от блока обработки информации 8 подает управляющие сигналы на проводящие контуры, находящиеся под воздействием магнитного потока постоянного магнита 16, распространяющегося через верхний 17 и нижний 18 магнитопроводы, что приводит к возникновению колебаний кольцевого резонатора 12. Источник оптического излучения 1 генерирует оптическое излучение заданной мощности и подает его в световод 2, который передает оптическое излучение к волоконно-оптическому ответвителю 3. Волоконно-оптический ответвитель 3 обеспечивает передачу оптического излучения из световода 2 в световод 4. По световоду 4 оптическое излучение вводится в устройство ориентации оптического излучения 19. В зависимости от зазора между устройством ориентации оптического излучения 19 и внешней гранью кольцевого резонатора 12, граничащей с данным устройством ориентации оптического излучения, за счет оптического туннельного эффекта часть оптического излучения покинет устройство ориентации оптического излучения через области, где отсутствует зеркальное напыление. Зазор между устройствами ориентации оптического излучения 19 и соответствующими им участками кольцевого резонатора 12 может меняться под действием сил Кориолиса, возникающих из-за колебания кольцевого резонатора и его вращения с угловой скоростью Ω_вх, вызывающих смещение стоячей волны колебаний резонатора и перемещение участков кольцевого резонатора напротив устройств ориентации оптического излучения, что приводит к изменению потока оптического излучения, распространяющегося в каждом из устройств ориентации оптического излучения, причем световой поток будет меняться по гармоническому закону с частотой, определяемой частотой колебаний кольцевого резонатора, и амплитудой, пропорциональной угловой скорости, воздействующей на объект. Оптическое излучение, которое останется в устройстве ориентации оптического излучения, отразившись от грани, расположенной напротив световода 4, вернется обратно в световод 4 и через волоконно-оптический ответвитель 3 попадет в световод 6, а затем на приемник оптического излучения 7, где преобразуется в электрический сигнал. Блок обработки информации 8 преобразует электрический сигнал с четырех каналов в измеренное значение угловой скорости Ω_изм.

Изобретение может быть использовано для измерения угловых скоростей подвижных объектов.

Микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости, содержащий чувствительный элемент, выполненный на основе волнового твердотельного гироскопа с кольцевым резонатором, блок обработки информации, блок управления, связанный с блоком обработки информации и чувствительным элементом, четыре канала приемо-передачи оптического излучения, состоящие из волоконно-оптического ответвителя, связанного световодами с источником оптического излучения, приемником оптического излучения и чувствительным элементом, при этом приемник оптического излучения связан с блоком обработки информации, чувствительный элемент выполнен в виде кольцевого резонатора, закрепленного на упругих подвесах в кремниевой пластине, соединенной со стеклянной подложкой, четырех проводящих контуров, выполненных на соседних близко расположенных упругих подвесах и частично на кольцевом резонаторе, равноудаленно друг от друга, кроме того, на стеклянной подложке со сдвигом в 45° относительно центров проводящих контуров, расположенных на кольцевом резонаторе, на расстоянии от 1 до 10 мкм от кольцевого резонатора установлены четыре устройства ориентации оптического излучения, соединенные со световодами каналов приемо-передачи оптического излучения и выполненные в виде прямоугольных параллелепипедов из кварцевого стекла, покрытых зеркальным напылением, исключая области, расположенные напротив кольцевого резонатора, причем на внешнюю поверхность кольцевого резонатора нанесено светопоглощающее покрытие.



 

Похожие патенты:

Для расчета скорости автомобиля перед столкновением используют видеозапись с монитора, выполненную на месте ДТП, в расчет берется зафиксированное на видеозаписи перемещение автомобиля за время равное t=1 с.

Изобретение относится к области геофизических исследований нефтяных и газовых скважин и может быть использовано для измерения в скважинном приборе глубины, а также длины пути вдоль оси ствола скважины.

Изобретение может быть использовано для измерения сверхмалых угловых скоростей в космическом пространстве. Способ измерения сверхмалых угловых скоростей путем возбуждения встречно-бегущих электромагнитных волн, отражения, детектирования их параметров и расчета величины действующей угловой скорости, пропорциональной изменению этих параметров, при этом возбудитель, отражатели и детектор установлены на не менее трех геостационарных спутниках и возбуждают электромагнитные волны.

Представлены система и способ калибровки комплекта помощи при движении задним ходом с прицепом, присоединенным к транспортному средству. Способ включает в себя движение транспортного средства вперед практически по прямой со скоростью, превышающей пороговое значение, измерение скорости рыскания транспортного средства и измерение угла сцепки прицепа.

Изобретение относится к области создания систем управления летательных аппаратов (ЛА), преимущественно к способам получения достоверной информации и диагностики работоспособности датчиков угловой скорости (ДУС) летательного аппарата с избыточным числом измерителей и идентификацией их отказов.

Изобретение относится к способам опознавания воздействий на подъемно-транспортную машину. Осуществляя контроль эксплуатации транспортного средства, обнаруживают перегрузки при столкновении транспортного средства.

Изобретение относится к области измерительной техники и касается способа измерения частоты вращения интерферометра. Частоту вращения определяют как разность между критической частотой вращения интерферометра на выбранном типе электромагнитной волны (частотой «отсечки» при вращении) и критической частотой «покоящегося» интерферометра (частотой «отсечки» при «покое») на том же типе электромагнитной волны, деленную на постоянное число, определяемое выбранным при расчете интерферометра типом электромагнитной волны.

При оценке стиля вождения моторного транспортного средства формируют (201) из измерений сигнал скорости, представляющий изменение (v(t)) скорости моторного транспортного средства.

Турбокомпрессор (10, 10′), приводимый в действие отработавшими газами, для двигателя внутреннего сгорания содержит датчик (32) частоты вращения и элемент (30, 30′, 40, 40′, 40″) в виде втулки для осевой фиксации по меньшей мере одного подшипника (24, 26) вала (22) турбокомпрессора.

Изобретение относится к системе и способу слежения за положением головы. Техническим результатом является повышение эффективности формирования звуковых образов.

Устройство для измерений мгновенных угловых перемещений качающейся платформы состоит из датчика измеряемого мгновенного плоского угла и неподвижного отсчетного устройства. Датчик угла выполнен в виде многозначных голографических мер угла, формирующих каждая под воздействием внешнего оптического излучения стабильный плоский веер дифрагированных лучей с известными углами между лучами. Отсчетное устройство выполнено на основе ПЗС-линеек, снабжено шкалой времени и подключено к внешнему компьютеру. Технический результат заключается в повышении точности измерений. 3 табл., 2 ил.

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к устройствам для измерения угловой скорости. Датчик состоит из устройства управления, чувствительного элемента, выполненного в виде кольцевого резонатора, закрепленного на упругих подвесах в кремниевой пластине, соединенной со стеклянной подложкой, контактных площадок, четырех проводящих контуров, выполненных на соседних близко расположенных упругих подвесах и частично на кольцевом резонаторе, равноудаленно друг от друга, постоянного магнита, верхнего и нижнего магнитопроводов. При этом датчик дополнительно содержит блок обработки информации, четыре канала приемо-передачи оптического излучения, включающие волоконно-оптический ответвитель, связанный световодами с источником оптического излучения, приемником оптического излучения и устройством ориентации оптического излучения, причем устройства ориентации оптического излучения, выполненные в виде прямоугольных параллелепипедов из кварцевого стекла, установлены на стеклянной подложке чувствительного элемента со сдвигом в 45° относительно центров проводящих контуров, расположенных на кольцевом резонаторе, на расстоянии от 1 до 10 мкм от кольцевого резонатора, покрыты зеркальным напылением, за исключением области, расположенной напротив кольцевого резонатора, а на внешнюю поверхность кольцевого резонатора нанесено светопоглощающее покрытие. Технический результат заключается в повышении точности. 5 ил.

Наверх