Рентгеновский дифрактометр

Использование: для рентгеновских дифракционных измерений. Сущность изобретения заключается в том, что рентгеновский дифрактометр содержит гониометр с установленными на его дуге источником коллимированного рентгеновского излучения, ось пучка которого проходит через центр окружности дуги гониометра, и детектор дифрагированного излучения, а также средства для взаимного перемещения гониометра и исследуемого объекта и лазерное средство, создающее излучение в видимом диапазоне, для получения информации о положении центра окружности дуги гониометра относительно выбранной точки исследования на поверхности исследуемого объекта. Особенностью дифрактометра является то, что указанное лазерное средство выполнено в виде лазерного измерителя расстояния, световой луч которого ориентирован в направлении центра окружности дуги гониометра. Технический результат: упрощение конструкции дифрактометра и обеспечение большей свободы компоновки благодаря использованию только одного лазерного средства, а также обеспечение большей простоты и точности юстировки за счет уменьшения влияния субъективного фактора при ее осуществлении. 10 з.п. ф-лы, 2 ил.

 

Изобретение относится к средствам для рентгеновских дифракционных измерений, проводимых, в частности, при исследовании внутренних напряжений в изделиях из поликристаллических материалов.

Рентгеновские дифрактометры традиционно содержат гониометр с размещенными на его дуге источником коллимированного рентгеновского излучения и детектором дифрагированного излучения (см., например, Л.И. Гладких, С.В. Малыхин, А.Т. Пугачев. Дифракционные методы анализа внутренних напряжений. Теория и эксперимент (глава 5). Харьков, НТУ "ХПИ", 2006, 304 с. [1]), а также те или иные средства для взаимного перемещения гониометра и исследуемого объекта.

Последние могут иметь разнообразное выполнение. Это могут быть как средства для перемещения исследуемого объекта в виде образца исследуемого материала относительно гониометра (см., например, патент США №5359640, опубл. 25.10.1994 [2], где указанные средства позволяют осуществлять трехкоординатное перемещение образца), так и средства для перемещения дуги гониометра вместе с установленными на ней устройствами относительно крупногабаритного исследуемого объекта типа железнодорожного колеса (аналогичные, например, двухкоординатному средству, описанному в патенте РФ №2115901, опубл. 20.07.1998 [3]). Очевидно также комбинирование названных возможностей.

В большинстве случаев дифракционных измерений, в частности при измерениях, проводимых с целью исследования внутренних напряжений в поликристаллических материалах, перед началом измерений центр окружности дуги гониометра, через который проходит направление оси рентгеновского пучка, должен быть совмещен с выбранной точкой на поверхности исследуемого объекта - образца исследуемого материала или непосредственно изделия, являющегося исследуемым объектом [1]. Данная операция в дальнейшем для краткости называется юстировкой, а упомянутая точка на поверхности исследуемого объекта - точкой исследования. Для проведения юстировки рентгеновские дифрактометры снабжают средством, позволяющим получить информацию о текущем рассогласовании положения двух точек - упомянутого центра окружности дуги гониометра и точки исследования.

Известно выполнение рентгеновского дифрактометра [2], при котором средство для юстировки содержит лазер, луч которого ориентирован по направлению радиуса окружности дуги гониометра, и оптико-электронную систему, имеющую направление "прицеливания", тоже совпадающее с одним из радиусов окружности дуги гониометра. Система позволяет видеть рассогласование текущего положения пятна лазера на поверхности исследуемого объекта относительно точки исследования. Содержащаяся в составе такого дифрактометра оптико-электронная система довольно сложна. При этом ее наличие затрудняет компоновку дифрактометра, так как элементы этой системы ввиду отмеченной выше ее сложности приходится размещать на расстоянии от центра окружности дуги гониометра, превышающем ее радиус, чтобы не препятствовать расположению на дуге и перемещению по ней в случаях, когда это необходимо, узлов дифрактометра, непосредственно участвующих в дифракционных измерениях.

Известен также рентгеновский дифрактометр, в котором используются два источника световых лучей с разной длиной волны, установленные на дуге гониометра и ориентированные в центр окружности этой дуги (авторское свидетельство СССР №1716406, опубл. 29.02.1992 [4]). При юстировке наблюдают взаимное расположение двух световых пятен разного цвета на поверхности исследуемого объекта и добиваются полного совмещения этих пятен друг с другом и заданной точкой исследования. Данный дифрактометр значительно более прост в конструктивном отношении по сравнению с [2], однако существенное влияние на точность юстировки оказывает субъективный фактор вследствие необходимости визуального контроля совмещения трех объектов - точки исследования и двух световых пятен разного цвета.

Аналогичный принцип юстировки используется также в рентгеновских дифрактометрах серии "РИКОР" разработки ООО "Институт рентгеновской оптики" (А. Болотоков, Д. Зайцев, А. Щербаков, А. Лютцау. Поликапиллярная оптика Кумахова и аналитические приборы. "Аналитика", 2015, №4, С. 14-22 [5]; более полные сведения об этих приборах содержатся, например, в работе: А.К. Мукатова. Разработка подводного аппарата для контроля напряженного состояния в конструкциях неразрушающим методом рентгеновской тензометрии. Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт металлургии, машиностроения и транспорта. Санкт-Петербург, 2014, С. 36-39 [6]). Отмеченный выше недостаток прибора [4] в приборах серии "РИКОР" тоже проявляется, хотя и в меньшей степени, благодаря использованию в качестве источников видимого излучения двух лазеров, создающих весьма тонкие световые пучки. Вместе с тем наличие двух лазеров, устанавливаемых на дуге гониометра, негативно сказывается на возможной свободе компоновки прибора в целом.

Рентгеновские дифрактометры серии "РИКОР" [5, 6] наиболее близки к дифрактометру по предлагаемому изобретению.

Предлагаемое изобретение направлено на достижение технического результата, заключающегося в упрощении конструкции дифрактометра и обеспечении большей свободы компоновки благодаря использованию только одного лазерного средства, а также в обеспечении большей простоты и точности юстировки за счет уменьшения влияния субъективного фактора при ее осуществлении и уменьшении времени, затрачиваемого на юстировку дифрактометра. Ниже при рассмотрении частных случаев и примеров осуществления изобретения могут быть названы и другие виды достигаемого технического результата.

Предлагаемый рентгеновский дифрактометр, как и указанный наиболее близкий к нему известный, содержит гониометр с установленными на его дуге коллимированным источником рентгеновского излучения, ось пучка которого проходит через центр окружности дуги гониометра, и детектором дифрагированного излучения, а также средства для взаимного перемещения гониометра и исследуемого объекта и лазерное средство, создающее излучение в видимом диапазоне, для получения информации о положении центра окружности дуги гониометра относительно выбранной точки исследования на поверхности исследуемого объекта.

Для достижения названного технического результата в предлагаемом рентгеновском дифрактометре, в отличие от наиболее близкого к нему известного, лазерное средство для получения информации о положении центра окружности дуги гониометра относительно выбранной точки исследования на поверхности исследуемого объекта выполнено в виде лазерного измерителя расстояния, формирующего луч видимого излучения, ориентированный в направлении центра окружности дуги гониометра.

При этом используемое единственное лазерное средство - измеритель расстояния - не обязательно должно быть установлено непосредственно на дуге гониометра, т.е. таким образом, что его ориентация (направление лазерного луча, вдоль которого измеряется расстояние) совпадает с направлением одного из радиусов этой дуги. Важно лишь, чтобы направление луча, вдоль которого измеряется расстояние, проходило через центр окружности дуги гониометра, например, это направление может лежать в плоскости, проходящей через центр окружности дуги гониометра, не совпадающей с плоскостью, в которой находится окружность дуги гониометра.

В частном случае, когда это не препятствует компоновке прибора в целом, упомянутое направление может находиться и в плоскости окружности дуги гониометра.

В любом из названных случаев при правильной юстировке, когда точка исследования совпадает с центром окружности дуги гониометра, через которую проходит направление оси квазипараллельного пучка рентгеновского излучения, лазерный измеритель расстояния показывает один и тот же полученный с присущей лазерным измерителям высокой точностью результат - расстояние от этого измерителя до центра окружности дуги гониометра. Этот результат является фиксированной величиной для конкретного экземпляра лазерного измерителя расстояния при фиксированном выбранном месте его установки. Поэтому достижение такого результата в процессе юстировки (в сочетании с тем, что световой луч лазерного измерителя расстояния наведен на точку исследования) свидетельствует о завершении юстировки.

Это позволяет обеспечить, в конечном счете, как более точную юстировку, в том числе, за счет существенного уменьшения влияния субъективного фактора (юстировка заканчивается при совпадении показываемого измерителем расстояния с заданным фиксированным значением), так и упростить сам процесс юстировки.

В частном случае выполнения предлагаемого рентгеновского дифрактометра, для еще большего упрощения процесса юстировки, лазерный измеритель расстояния может быть дополнен функцией индикации рассогласования между измеренным и требуемым расстоянием, соответствующим расстоянию от указанного измерителя до центра окружности дуги гониометра.

Лазерный измеритель расстояния может быть настроен также таким образом, чтобы совпадению точки исследования с центром окружности дуги дальномера соответствовало нулевое индицируемое значение.

В качестве источника коллимированного рентгеновского излучения предпочтительно использовать, как и в упоминавшихся приборах серии "РИКОР", рентгеновскую трубку совместно с рентгеновской полулинзой (см., например, патент РФ Патент РФ №2164361, опубл. 20.03.2001 [7]), формирующей квазипараллельный пучок. Это позволяет применить малогабаритную и маломощную трубку, благодаря чему достигается портативность и безопасность дифрактометра.

В зависимости от конкретного назначения предлагаемого рентгеновского дифрактометра, источник коллимированного рентгеновского излучения, детектор дифрагированного излучения и лазерный измеритель расстояния могут быть установлены на дуге гониометра как в фиксированном положении, так и с возможностью перемещения вдоль нее порознь или совместно. В последнем случае названные устройства устанавливают на общем базисном элементе, способном передвигаться по дуге гониометра.

Предлагаемое изобретение поясняется чертежами, на которых схематически показаны (без механических средств для взаимного перемещения исследуемого объекта и дуги гониометра с установленными на ней устройствами):

- на фиг. 1 - размещение основных узлов дифрактометра в случае, когда лазерный измеритель расстояния установлен таким образом, что ось пучка его излучения находится в плоскости окружности дуги гониометра;

- на фиг. 2 - размещение основных узлов дифрактометра в случае, когда лазерный измеритель расстояния установлен таким образом, что ось пучка его излучения находится в плоскости, не совпадающей с плоскостью окружности дуги гониометра, но проходящей через центр этой окружности (гониометр на этой фигуре показан в другой проекции).

В обоих описанных выше частных случаях, различающихся установкой лазерного измерителя расстояния, дифрактометр содержит, как показано на фиг. 1 и фиг. 2, дугу 1 гониометра, на которой установлены источник 3 коллимированного рентгеновского излучения, ось 4 пучка которого ориентирована по одному из радиусов дуги 1 гониометра и поэтому проходит через центр О окружности этой дуги, и детектор 7 дифрагированного излучения, ориентированный по другому радиусу дуги 1.

Что же касается лазерного измерителя расстояния, то он в первом случае, иллюстрируемом фиг. 1, установлен на дуге гониометра, как и источник 3 рентгеновского излучения и детектор 7 дифрагированного излучения, и занимает положение 5.1. При этом создаваемый им световой луч 6 тоже ориентирован по радиусу окружности дуги 1, т.е. находится в плоскости этой окружности и проходит через ее центр О.

В этом случае измеритель 5.1 осуществляет измерение расстояния до поверхности исследуемого объекта, которое только при точном совмещении точки исследования ТИ с центром О будет равно величине ρ, показанной на фиг. 1, отличающейся от радиуса R окружности дуги 1 гониометра на некоторую величину Δ. Последняя является константой прибора, зависящей от расположения начала отсчета лазерного измерителя расстояния относительно окружности дуги 1. Поэтому отличие измеренного расстояния от известного радиуса R окружности дуги гониометра именно на эту величину свидетельствует о том, что точка на поверхности исследуемого образца, совпадающая со световым пятном СП1, создаваемым лучом 6 лазерного измерителя 5.1, находится в центре дуги 1 гониометра, в которую направлен и коллимированный пучок 4 рентгеновского излучения источника 3. Достижение этого состояния может быть обеспечено с помощью не показанных на чертежах средств взаимного перемещения гониометра и исследуемого объекта, аналогичных, например, описанным в [2, 3]. Положение исследуемого объекта, соответствующее выполнению описанного условия, показано на фиг. 1 прямоугольником 2.0.

Прямоугольником 2.1, изображенным штриховыми линиями, представлен исследуемый объект, находящийся в положении, не удовлетворяющем этому условию. Продолжение луча 6 лазерного измерителя дальности к исследуемому объекту в этом положении тоже показано штрихами. Можно видеть, что световое пятно СП1, создаваемое на поверхности исследуемого объекта лучом 6 лазерного измерителя расстояния при таком положении исследуемого объекта, не совпадает с точкой исследования ТИ (последняя в обоих положениях исследуемого объекта (2.1 и 2.0) находится в одном и том же месте на поверхности этого объекта).

Второй случай, иллюстрируемый фиг. 2, на котором гониометр показан в другой проекции, отличается от рассмотренного выше первого случая тем, что уставленный на дуге гониометра лазерный измеритель расстояния находится в положении 5.2 в плоскости, образующей некоторый угол λ с плоскостью окружности дуги 1 гониометра и проходящей через центр О этой окружности. Положение лазерного измерителя расстояния относительно дуги 1 зафиксировано элементом 8. В показанном на фиг. 2 случае совпадению точки исследования ТИ на поверхности исследуемого объекта с центром О окружности дуги 1 гониометра соответствует, как и в случае, показанном на фиг. 1, результат измерения расстояния, равный величине ρ, при одновременном совпадении светового пятна СП0, создаваемого лучом 6 лазерного измерителя расстояния, именно с точкой ТИ. Такая ситуация соответствует нахождению исследуемого объекта в положении, показанном на фиг. 2 позицией 2.0. Положение исследуемого объекта, изображенного штриховой линией, показанное позицией 2.1, не соответствует названному выше условию. В этом положении, как можно видеть, положение светового пятна СП1, создаваемого лазерным лучом измерителя расстояния на поверхности исследуемого объекта, не совпадает сточкой исследования ТИ.

Очевидно, что в рассматриваемом втором случае логика действий для совмещения точки исследования ТИ с центром О дуги 1 окружности гониометра, требующая совмещения этой точки со световым пятном, создаваемым лазерным измерителем расстояния, при одновременном выполнении условия, заключающегося в отличии измеренного значения расстояния от известного радиуса R дуги гониометра на упомянутую выше величину Δ, - такая же, как в первом случае.

Нетрудно видеть, что при обоих вариантах расположения лазерного измерителя расстояния (при нахождении оси пучка 6 его излучения как в плоскости окружности дуги 1 гониометра, так и в наклоненной относительно нее плоскости, но проходящей через центр упомянутой окружности), указанный измеритель может занимать также положение, более удаленное или менее удаленное от центра О, чем показано на фиг. 1 и фиг. 2, будучи установленным на дуге 1 гониометра с помощью тех или иных конструктивных элементов, но не обязательно непосредственно на этой дуге. В зависимости от этого, разница Δ между результатом измерения расстояния и радиусом R окружности дуги гониометра при совпадении точки исследования с центром О окружности дуги 1 гониометра может быть и отрицательной, и положительной, и нулевой.

В любом случае лазерный измеритель расстояния может быть настроен таким образом, чтобы вместо абсолютной величины измеренного значения расстояния на его выходе было сформировано значение разности δ=R-ρ. При этом в процессе подстройки взаимного расположения исследуемого образца и гониометра следует добиваться совпадения показания измерителя дальности, равного δ, с величиной Δ, являющейся, как отмечалось выше, константой прибора.

Наконец, лазерный измеритель расстояния может быть настроен и таким образом, что на его выходе формируется разность между величинами δ и Δ. При такой настройке лазерного измерителя расстояния в процессе подстройки взаимного расположения исследуемого образца и гониометра следует добиваться достижения нулевого значения выходной величины лазерного измерителя расстояния.

В качестве лазерного измерителя расстояния целесообразно использовать прибор, реализующий триангуляционный метод измерения (см., например, патент США №5024529, опубл. 18.06.1991 [8]; патент РФ на полезную модель №45520, опубл. 10.05.2005 [9]). Такие приборы способны обеспечить точность измерения до 10 мкм при расстояниях до 600 мм (А.В. Венедиктов. Методика проектирования триангуляционных измерительных систем для промышленного контроля и дефектации изношенных деталей. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Рязанский государственный радиотехнический университет, 2006, 19 с. [10]).

Дуга 1 гониометра в простейшем случае может быть установлена с возможностью перемещения по высоте относительно основания дифрактометра, которое он имеет в своем составе, а исследуемый объект, если им является небольшой образец, размещают на этом основании. Юстировку в этом случае осуществляют перемещением образца по горизонтальной поверхности основания в сочетании с вертикальным перемещением дуги 1 гониометра.

При больших габаритах и массе исследуемого объекта дифрактометр выполняют с возможностью расположения дуги гониометра над исследуемым объектом при установке дифрактометра рядом с ним, а также с возможностью такого перемещения дуги гониометра, при котором центр ее окружности может изменять свое положение в горизонтальной плоскости (при наличии также упомянутой возможности перемещения ее по вертикали).

На фигурах 1 и 2 дуга 1 гониометра показана в положении, при котором плоскость ее окружности ориентирована вертикально. В зависимости от конкретных задач исследования, решаемых с использованием дифрактометра, может потребоваться и другая ориентация этой плоскости. Поэтому в предлагаемом дифрактометре дуга гониометра может быть установлена с дополнительной возможностью регулируемого наклона плоскости ее окружности относительно вертикального положения. Благодаря этому, в частности, может быть упрощено осуществление измерений внутренних напряжений в поликристаллическом материале исследуемом объекта с использованием метода "sin2ψ" [1].

Необходимые для описанных выше перемещений механические приспособления принципиально несложны и поэтому не иллюстрируются чертежами.

Таким образом, предлагаемая конструкция дифрактометра с использованием в ее составе лазерного измерителя расстояния предоставляет широкие возможности компоновки прибора как в зависимости от размеров его узлов и удобства их расположения относительно друг друга или средств для взаимного ориентирования гониометра и исследуемого образца, так и в зависимости конкретной предназначенности дифрактометра, а также от технологических и иных предпочтений разработчика.

Источники информации

1. Л.И. Гладких, С.В. Малыхин, А.Т. Пугачев. Дифракционные методы анализа внутренних напряжений. Теория и эксперимент (глава 5). Харьков, НТУ "ХПИ", 2006, 304 с.

2. Патент США №5359640, опубл. 25.10.1994.

3. Патент РФ №2115901, опубл. 20.07.1998.

4. Авторское свидетельство СССР №1716406, опубл. 29.02.1992.

5. А. Болотоков, Д. Зайцев, А. Щербаков, А. Лютцау. Поликапиллярная оптика Кумахова и аналитические приборы. "Аналитика", 2015, №4, С. 14-22.

6. А.К. Мукатова. Разработка подводного аппарата для контроля напряженного состояния в конструкциях неразрушающим методом рентгеновской тензометрии. Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт металлургии, машиностроения и транспорта. Санкт-Петербург, 2014, С. 36-39.

7. Патент РФ №2164361, опубл. 20.03.2001.

8. Патент США №5024529, опубл. 18.06.1991.

9. Патент РФ на полезную модель №45520, опубл. 10.05.2005.

10. А.В. Венедиктов. Методика проектирования триангуляционных измерительных систем для промышленного контроля и дефектации изношенных деталей. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Рязанский государственный радиотехнический университет, 2006, 19 с.

1. Рентгеновский дифрактометр, содержащий гониометр с установленными на его дуге источником коллимированного рентгеновского излучения, ось пучка которого проходит через центр окружности дуги гониометра, и детектором дифрагированного излучения, а также средства для взаимного перемещения гониометра и исследуемого объекта и лазерное средство, создающее излучение в видимом диапазоне, для получения информации о положении центра окружности дуги гониометра относительно выбранной точки исследования на поверхности исследуемого объекта, отличающийся тем, что указанное лазерное средство выполнено в виде лазерного измерителя расстояния, луч которого ориентирован в направлении центра окружности дуги гониометра.

2. Дифрактометр по п. 1, отличающийся тем, что направление, в котором ориентирован луч лазерного измерителя расстояния, расположено в плоскости, проходящей через центр окружности дуги гониометра, не совпадающей с плоскостью, в которой расположена эта окружность.

3. Дифрактометр по п. 1, отличающийся тем, что направление, в котором ориентирован луч лазерного измерителя расстояния, расположено в плоскости, проходящей через центр окружности дуги гониометра и совпадающей с плоскостью, в которой расположена эта окружность.

4. Дифрактометр по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что лазерный измеритель расстояния выполнен с возможностью индикации рассогласования между измеренным значением расстояния и требуемым значением, соответствующим расстоянию от этого измерителя до центра окружности дуги гониометра.

5. Дифрактометр по п. 4, отличающийся тем, что лазерный измеритель расстояния настроен таким образом, что совпадению точки исследования на поверхности исследуемого объекта с центром окружности дуги гониометра соответствует нулевое индицируемое значение.

6. Дифрактометр по любому из пп. 1-3, 5, отличающийся тем, что в качестве источника коллимированного рентгеновского излучения он содержит рентгеновскую трубку совместно с рентгеновской полулинзой, формирующей квазипараллельный пучок излучения.

7. Дифрактометр по п. 6, отличающийся тем, что в качестве лазерного измерителя расстояния он содержит триангуляционный измеритель.

8. Дифрактометр по п. 7, отличающийся тем, что источник коллимированного рентгеновского излучения, детектор дифрагированного излучения и лазерный измеритель расстояния установлены на дуге гониометра с возможностью перемещения вдоль этой дуги порознь или совместно.

9. Дифрактометр по п. 8, отличающийся тем, что он содержит основание для размещения и перемещения по нему исследуемого объекта, при этом дуга гониометра установлена на основании с возможностью перемещения ее по высоте.

10. Дифрактометр по п. 8, отличающийся тем, что он выполнен с возможностью расположения дуги гониометра над исследуемым объектом при установке дифрактометра рядом с этим объектом, а также с возможностью перемещения дуги гониометра по вертикали и дополнительно - перемещения этой дуги, приводящего к изменению положения центра ее окружности в горизонтальной плоскости.

11. Дифрактометр по п. 10, отличающийся тем, что дуга гониометра установлена с дополнительной возможностью регулируемого наклона плоскости ее окружности относительно вертикального положения.



 

Похожие патенты:

Использование: для определения остаточных неоднородных напряжений в поликристаллических анизотропных электротехнических материалах рентгеновским методом. Сущность изобретения заключается в том, что определение остаточных неоднородных напряжений в поликристаллических анизотропных электротехнических материалах рентгеновским методом осуществляют на поверхности контролируемого образца, выбирают направление для последующего определения остаточных напряжений в заданной кристаллографической плоскости {hkl} по рефлексам тех плоскостей, проекции нормалей к которым наиболее близки к выбранному направлению.

Использование: для исследования структуры материалов с применением техники малоуглового рассеяния нейтронов. Сущность изобретения заключается в том, что стандартный калибрант, в качестве которого используют пористую мембрану-калибрант из анодного оксида алюминия, обладающую двумерной структурой с третьим протяженным непериодическим измерением, размещают в позицию образца в установке малоуглового рассеяния нейтронов (МУРН) и устанавливают ее по отношению к нейтронному пучку таким образом, что поры мембраны-калибранта расположены параллельно направлению нейтронного пучка.

Использование: для определения содержания водорода в порошке нестехиометрического гидрида титана. Сущность изобретения заключается в том, что определение содержания водорода в порошке нестехиометрического гидрида титана состава TiHx (x<1,5) методом рентгеновской дифракции заключается в определении фазового состава анализируемого образца методом качественного рентгенофазового анализа, а также в определении массового содержания α- и δ-фаз методом количественного рентгенофазового анализа, после чего по полученной ранее калибровочной зависимости, используя массовое содержание δ- или α-фазы, определяют содержание водорода в анализируемом образце.

Изобретение относится в измерительной техники, а именно к способам неразрушающего контроля объектов в микро- и наноэлектронике. В способе определения температур фазовых переходов в пленках и скрытых слоях многослойных структур нанометрового диапазона толщин нагреваемый образец облучают потоком выходящего из источника рентгеновского излучения и осуществляют регистрацию отраженного от поверхности образца излучения.

Изобретение относится в измерительной техники, а именно к способам неразрушающего контроля объектов в микро- и наноэлектронике. В способе определения температур фазовых переходов в пленках и скрытых слоях многослойных структур нанометрового диапазона толщин нагреваемый образец облучают потоком выходящего из источника рентгеновского излучения и осуществляют регистрацию отраженного от поверхности образца излучения.

Использование: для исследования электрохимических систем методом нейтронного и рентгеновского рассеяния. Сущность изобретения заключается в том, что электрохимическая ячейка для исследований методами нейтронного и рентгеновского рассеяния содержит корпус, состоящий из двух частей, выполненных с возможностью соединения между собой, ванночку для заполнения жидким электролитом, выполненную с возможностью размещения в одной из частей корпуса, вспомогательный электрод, выполненный в виде пластины и помещенный в ванночку, прижимную рамку, обеспечивающую закрепление вспомогательного электрода в ванночке через уплотнительный элемент, монокристаллическую пластину с металлическим покрытием, представляющим собой рабочий электрод, при этом монокристаллическая пластина зафиксирована со стороны внутренней поверхности в другой части корпуса с обеспечением герметизации ванночки.

Использование: для рентгенофазового анализа нанофаз в алюминиевых сплавах. Сущность изобретения заключается в том, что из алюминиевого сплава изготавливают испытуемую фольгу, которую подвергают рентгеновскому излучению, и регистрируют рентгенограмму, по которой идентифицируют и количественно определяют содержащиеся в испытуемой фольге нанофазы, при этом регистрацию рентгенограммы проводят в режиме на просвет с использованием параллельного пучка, по которой определяют пики нанофаз и по ним идентифицируют и количественно определяют содержащиеся в испытуемой фольге нанофазы с объемной долей менее 1%.

Использование: для обследования объекта на основе технологии когерентного рассеяния рентгеновских лучей с целью определения, включает ли в себя обследуемый объект взрывчатые вещества, опасные предметы или подобное.

Группа изобретений относится к медицинской технике, а именно к средствам рентгеновской визуализации для дифференциальной фазово-контрастной визуализации. Система включает дифференциальную фазово-контрастную установку с источником рентгеновского излучения и детектором, компоновку решеток, содержащую решетку источника, фазовую решетку и решетку анализатора, в которой решетка источника расположена между источником рентгеновского излучения и фазовой решеткой, а решетка анализатора расположена между фазовой решеткой и детектором, и компоновку передвижения для относительного передвижения между исследуемым объектом и по меньшей мере одной из решеток, блок обработки и компоновку перемещения решетки источника.

Использование: для сортировки алмазосодержащего материала. Сущность изобретения заключается в том, что в качестве алмазосодержащего материала сортировке подвергают поликристаллические алмазы типа «карбонадо», при этом образцы поликристаллических алмазов со стороны, противоположной катализатору, сошлифовывают слоем не менее 0.2 мм и определяют количество графита на сошлифованной поверхности количественным рентгенофазовым анализом, например дифрактометром, после этого проводят сортировку образцов на группы с содержанием графита 0,7-2,2; 2,3-4,0 и 4,1-5,5 мас.%, причем каждую группу используют для изготовления определенного инструмента.

Использование: для рентгеновских дифракционных измерений. Сущность изобретения заключается в том, что рентгеновский дифрактометр содержит гониометр с установленными на его дуге источником коллимированного рентгеновского излучения, ось пучка которого проходит через центр окружности дуги гониометра, и детектор дифрагированного излучения, а также средства для взаимного перемещения гониометра и исследуемого объекта и лазерное средство, создающее излучение в видимом диапазоне, для получения информации о положении центра окружности дуги гониометра относительно выбранной точки исследования на поверхности исследуемого объекта. Особенностью дифрактометра является то, что указанное лазерное средство выполнено в виде лазерного измерителя расстояния, световой луч которого ориентирован в направлении центра окружности дуги гониометра. Технический результат: упрощение конструкции дифрактометра и обеспечение большей свободы компоновки благодаря использованию только одного лазерного средства, а также обеспечение большей простоты и точности юстировки за счет уменьшения влияния субъективного фактора при ее осуществлении. 10 з.п. ф-лы, 2 ил.

Наверх