Установка для вакуумной обработки катодных узлов магнетронов

 

277И9

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советским

Социалистическим

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 27.XI1.1967 (№ 1206083 26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 22.И1.1970. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 29.Ш.1971

Кл. 21g 13131

МПК H Olj

Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 621.385(088.8) Авторы изобретения

А. И. Пииао, А. А. Гаврилов и В. М. Комиссаров а 1.-г 4т Нтн

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОИ ОБРАБОТКИ

КАТОДНЫХ УЗЛОВ МАГHETPOHOB

Изобретение относится к области производства электровакуумных приборов, в час,ности приборов СВЧ.

Известна установка для вакуумной .обраоотки и llpoeeplи эмиссионных своиств катодных узлов магнетронов, содержащая рабочую камеру, камеру предварительного разряжения, загрузочный бокс и перемещаемый из загрузочного бокса в рабочую камеру стол для установки изделии. 10

Известная установка не обеспечивает проверки термоэлектронных и вторично-эмиссионных свойств катода в условиях сверхвысокого вакуума.

Целью данного изобретения является разработка такой конструкции устанозки, которая позволила бы проводить такую проверку. Эта цель достигается за счет того, что установка снабжена находящимся на рабочем столе измерительным устройством, выполненным в виде закреплен;ых на изоляторах цилиндрического анода с кольцевой щелью посредине и расположенногс с внешне1< стороны анода на уровне кольцевой щели кольцевого вольфрамового катода, причем внутренняя поверхность а;;ода служит коллек ором вторичных и отраженных электронов контролируемых катодов. Для увеличения производительности усгановки раоочий стол выполнен многопозиционным. 30

Фиг. 1 изобра?кает общий зид x còàíoeê?l, вериг. 2 — измерительное усгройство, ф, г. 3— рабочий стол с измерительными позициями.

Установка состоит тз рабочей камеры 1, камеры 2 Ilpegeapllre7bIIoIO разряжения, герметичного загрузочного бокса 8 и рабочего стола 4 с приводом 5 перемещения стола пз загрузочного бокса 8 в камеру предваритель ного разряжения 2 и алее в рабочую камеру 1. Полости раоо ей камеры и камеры предвар ительного разряжения разделения заслонкой 6. На столе устачовлены коаксиальный высоковольтный ввод 7, обрабатываемые катоды 8, контактная группа накала 9;п устройство 10 для проверки термоэлектронной и вторично электронной эмиссии катодов, состоящее из кольцевого вольфрамового катода 11, укрепленного на двух изолятора 12 и промежуточного анода 13, выполненного в виде полого цилиндра с кольцевой щелью посредине и расположенного между проверяемым катодом 8 и катодом 11 измерительного устройства.

Стол IlocTosIHHo электрически связан пультом питания посредством электрических вакуумных вводов, смонтпрованны: на панели .И камеры предварительного разряжения 2.

После установки I arozHIIx узлов на столе 4 и подсоединения их и электрическим

277119

Фиг Л контактам стол перемещают вручную из загрузочного бокса 8 в камеру предварительного разряжения 2. Производят откачку этой камеры до заданного давления, по достижении которого стол автомагически за счет привода 5 поднимается по направляющим saepx и измерительное устройство 10 вместе с обрабатываемыми катодами 8 входи1 в рабочую камеру 1. При этом за счет уплотнения, имеющегося на столе, производится гепметпзация рабочей камеры, которую после этого откачивают до заданного давления. Далее производят обезгаживание и активировку катодов по заданной программе, после чего подают соответствующие напряжения на катод 11 и анод 18 и измеряют термоэлектронную ll вторично-электронпу1О эмисси и пооче редно на каждом обраоатываемом катоде.

Результаты измерений фиксируются приборами на пульте управления. Затем стол возьращается в загрузочный бокс, катодные узлы оператором снимаются и передаются па следующую технологическую операцию.

Предмет изобретения

Установка для вакуумной обработки ка5 тодных узлов магнетроноц, содержащая рабочую камеру, камеру предварительного разря>кения, загрузочный бокс и перемещаемыи из загрузочного бокса в рабочую камеру стол для установки изделий с ва10 куумными электрическими вводами, оТличающаяся тем, что, с целью,проверки термоэлектронных и вторично-эмиссионных свойств катода, она снабжена установленным на рабо1ем столе измерительным

15 устройством, выполненным в виде;акрепленных па изоляторах цилиндрического анода с кольцевой щелью посредине и расположенного с внешней стороны анода на уровне кольцевой щели кольцевого вольфрамового

20 катода, причем внутренняя поверхность анода служит коллектором вторичных и отраженных электронов контролируемых катодов.

277119 моиг.5

Техред А. А. Качышникова Корректор О. М. Ковалева

Редактор Громов

Тнп. Харьк. фил, пред. «Патент»

Заказ 49/288 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5