Микроманипулятор

 

277I47

ОПИСАНИЕ

ИЗ ОБРЕ ТЕ НИ Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21!т,30/17

49 с, 30/02

Заявлено 04Х1!.1969 (№ 1344377/25-27) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.71!.1970. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 05.XI.1970

МПК В 23k 37/04

В 23q 3/18

УД K 621.791.039.621.86..076 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

A. В. Соколов и Ю. И. Щукин

Заявитель

МИ КРОМА Н И ПУЛЯ ТОР

Изобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых и электровакуумпых приборов и может быть использовано в устройствах точного перемещения в других областях техники.

Известны микроманипуляторы, используемые при монтаже полупроводниковых приборов для совмегцения сварочного инструмента с соединительной проволочкой и контактной площадкой полупроводникового прибора. Микроманипулятор содер>кит рычаг, шарнирно укрепленный в неподвижной стойке, двухкоординатный столик, одна из кареток которого шарнирно связана с рычагом, и рукоятку управления. В качестве шарниров испольуются шарики с отверстиями для рычага. При перемещении рукоятки управления рычаг поворачивается и перемещает подвижную каретку, причем величина перемещения каретки прямо пропорциональна произведенщо величины перемещения рукоятки рычага lia передаточное отношение микроманппулятора.

Передаточное Отношение микром анп пулятора выражается отношением величины расстояния между центрами шарниров к величине расстояния от центра неподвижного шарнира до рукоятки рычага.

Это отношение характеризует чувствительность микроманнпулятора, т. е. чем Оольше передаточное отношение, тем выше чувствительность.

Существуюгцпе микроманппуляторы имеют недостаточную чувствительность, ограничен5 ное передаточное отношение т/т- т//аз-. Для сварочного оборудования, применяющегося при производстве полупроводниковых приборов, чувствительность микроманипулятора должна быть 2 — 5 як, т. е. передаточное отношение

10 микроманипулятора должно быть большим (/10 !100) °

Целью изобретения является увеличение чувствительности мпкроманипулятора.

Для этого шарниры соединения рычага со

15 стойкой и кареткой столика выполнены в виде полусфер и подпружинены относительно друг друга.

На чертеже схематически изображен предлагаемый манипулятор, общий вид.

Один конец рычага 1 установлен в шарнире, состоящем пз полусферы 2 и обоймы 8, перемещающейся вместе с полусферой по резьбе в неподвижной стойке 4. На другом конце рыча25 га посажена рукоятка 5 управления, перемещающаяся в горизонтальной плоскости. На рычаге 1 также неподвижно закреплена полусфера б, связанная с обоймой 7, неподвижно закрепленной на каретке 8. Полусфера 2 при30 жимается к обойме 8 пружиной 9. Каретка 8

277147

Составитель Г. Макеева

Редактор Л. Кравцова Техред А. A. Камышиикова Корректор В. И, Жолудева

Заказ 3088(13 1 ирак 480 Подписное

ЦНИИГ!И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раугнская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 является составной частью дву коордпнатного столика l0.

Расстояние между центрами полусфер может изменяться от конечной величины до очень маленькой величины путем сближения шарнирных соединения, что позволяет изменять передаточное отношение от конечной величины до бесконечно большой величины.

Передаточное отношение микроманипулято0 0е ра равно отношению длин и может из0,0,, меняться путем перемещения обоймы 8 с полусферой 2 вдоль рычага 1.

При повороте рукоятки 5 перемещается каретка 8 с установленным на ней предметом.

Предмет изобретени я

Микроманипулятор, содержащий рычаг, консольпо укрепленный в обойме, перемещающейся в вертикальной плоскости по неподвижной стойке с помощью винтовой пары, двуккоординатный столик, одна из кареток которого связана с рычагом шаровым шарниром, и рукоятку управления, перемещаемую в горизонтальной плоскости, при этом рычаг укреплен в обойме с помощью шарового шарнира, установленного на рычаге с возможностью продольного перемещения, а шаровой шарнир каретки жестко закреплен на рычаге, отлича(ои ийся тем, что, с целью увеличения чувстви15 тельности манипулятора, шарниры выполнены в виде полусфер и подпружинены относительно друг друга.