Устройство и способ устранения микротрещин космических летательных аппаратов



Y10S75/96 -
Y10S75/96 -

Владельцы патента RU 2779756:

Общество с ограниченной ответственностью "НПК-РУСАР" (RU)
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Муржанова" Российской академии наук (RU)

Изобретение относится к области космонавтики, в частности к получению тонких пленок тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), для устранения микротрещин на поверхности корпуса космических летательных аппаратов (КЛА). Устройство содержит камеру 1, на боковой поверхности которой выполнено смотровое окно 21 из прозрачного материала, и основание, цилиндрическую спрессованную СВС-шихту 8, спираль 12 для инициирования СВС синтеза и испаряемый материал 9, при этом камера 1 выполнена цилиндрической и в верхней части содержит герметичную двойную стенку 2 с вакуумным клапаном 4 и гибким шлангом 5, присоединенным к открытому космосу для создания вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст. внутри двойной стенки 2, закрытой сверху уплотнителями 3, в нижней части камера 1 снабжена игольчатым клапаном 6 для подачи инертного газа для создания в камере давления 102-103 мм рт.ст. и датчиком давления, подтверждающим наличие микротрещин в стенке КЛА, в средней части камера 1 содержит вакуумный клапан 16 с гибким шлангом 17, обеспечивающим вакуум 10-5-10-6 мм рт.ст. в камере 1 устройства при подключении к открытому космосу, СВС-шихта 8 установлена на теплоизоляторе 22, размещенном на основании камеры 1, и выполнена в виде таблетки, в торце которой высверлено отверстие в форме «ложечки», в которое засыпан порошок испаряемого материала 9, устройство дополнительно снабжено экраном 10 с отверстием для создания направленного потока частиц испаряемого материала 9, установленного на основании вокруг теплоизолятора 22 с СВС-шихтой, а также заслонкой 14 для перекрытия вышеупомянутого потока. Устройство работает следующим образом. В прессованную в виде таблетки СВС-шихту 8, в торце которой высверлено отверстие в форме «ложечки», засыпается порошок испаряемого материала 9. Прессованная СВС-шихта 8 крепится с помощью держателя к основанию камеры 1. Между СВС-шихтой 8 и корпусом 1 устройства ставится теплоизолятор 22. Устройство присоединяется к стенке космического аппарата в область микротрещин за счет создания высокого вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст. в двойной стенке 2 камеры, закрытой сверху уплотнителями 3, путем присоединения вакуумного клапана 4 с гибким вакуумным шлангом 5, к открытому космосу. Затем открывается игольчатый клапан 6, в камеру подают инертный газ и создают давление 102-103 мм рт.ст. Давление внутри устройства измеряется с помощью датчика моновакуумметрического давления 7. Уменьшение давления в камере устройства подтверждает наличие микротрещин в стенках корпуса КЛА, а их отсутствие подтверждается постоянным давлением в камере 1. Изобретение позволяет определить наличие образованных в стенках КЛА микротрещин в условиях космического вакуума и устранить их тепловой энергией СВС путем получения потока частиц испаряемого металла или соединений, образующих твердый раствор с материалами стенок КЛА. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 3 пр.

 

Изобретение относится к области космонавтики, в частности для получения тонких пленок тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) для устранения микротрещин космических летательных аппаратов (КЛА).

Известно, что в условиях космического вакуума происходит активное испарение поверхностных слоев материалов (металлов, неметаллов и др.). Процесс испарения происходит путем перехода молекул и атомов вещества из твердой фазы в газообразную, минуя жидкую фазу, т.е. сублимацией. В результате сублимации изменяется шероховатость поверхности, что сопровождается нарушением поверхностных свойств материалов и другими негативными явлениями.

Испарение (сублимация) материалов в глубоком космическом вакууме, по границам зерен поликристаллического материала на порядок превышает сублимацию с тела зерна, кроме указанного вследствие анизотропии поликристаллических зерен, различно ориентированные зерна будут испаряться по-разному. Скорость сублимации сильно зависит от температуры, времени и состояния поверхности материалов.

В процессе длительной эксплуатации в глубоком космическом вакууме идет усиленное испарение - сублимация металла с границ зерен, что приводит к образованию микротрещин, в основном по границам зерен.

В открытом космосе одновременно с глубоким вакуумом на материалы воздействуют электромагнитные и корпускулярные излучения космоса. Если энергия квантов или частиц излучения больше, чем энергия связей материалов, то совместное воздействие вакуума и космических излучений может усиливать эффект сублимации. Одновременно возрастает эффективность адгезии и когезии процессов, вызванных молекулярным взаимодействием, что приводит к прилипанию и сцеплению материалов на поверхности.

Суммарное воздействие указанных процессов в основном является причиной массопотерь за счет испарения и сублимации, что является причиной:

- образования микротрещин в стенках КЛА, приводящей к его разгерметизации,

- возникновению пробоев электрических цепей бортовых приборов.

Известно также, что легированием межзеренных пространств атомами, образующими твердый раствор с основным материалом (корпус КЛА), можно существенно снизить скорость сублимации.

Целью настоящего изобретения является создание устройства, позволяющего тепловой энергией СВС получить направленный поток атомов, молекул металлов в условиях глубокого вакуума, невесомости, в область микротрещин, их закупоривание и устранение.

Наиболее близким по конструкции к предложенному устройству является устройство для проведения самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в космосе, описанное в патенте на изобретение RU 2245222 (кл. B22F 3/23, 22.07.2003). Известное устройство содержит корпус, на боковой поверхности которого выполнено смотровое окно из прозрачного материала и основание, цилиндрическую спрессованную СВС-шихту, инициирующую спираль и испаряемый материал.

Однако известное устройство применяется для синтеза материалов с уникальными свойствами и не может применяться для поставленных в настоящем изобретений целей.

Проведенный анализ патентной информации и научно-технической литературы показал, что заявленный способ устранения микротрещин на поверхности КЛА не имеет аналогов.

Технический результат предложенного изобретения заключается в создании устройства, позволяющего определить наличие образованных в стенках КЛА микротрещин в условиях космического вакуума (невесомости) и устранить их тепловой энергией СВС путем получения потока частиц испаряемого металла или соединений, образующих твердый раствор с материалами стенок КЛА.

Технический результат достигается тем, что устройство для устранения микротрещин на поверхности корпуса космических летательных аппаратов (КЛА) с использованием тепловой энергии самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), содержит камеру, на боковой поверхности которой выполнено смотровое окно из прозрачного материала и основание, цилиндрическую спрессованную СВС-шихту, спираль для инициирования СВС синтеза и испаряемый материал, по предложению

камера выполнена цилиндрической формы и в верхней части содержит герметичную двойную стенку с вакуумным клапаном и гибким шлангом, присоединенным к открытому космосу для создания вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст. внутри двойной стенки, закрытой сверху уплотнителями,

в нижней части камера снабжена игольчатым клапаном для подачи инертного газа для создания в камере давления 102-103 мм рт.ст. и датчиком давления, подтверждающим наличие микротрещин в стенке КЛА,

в средней части камера содержит вакуумный клапан с гибким шлангом, обеспечивающим вакуум 10-5-10-6 мм рт.ст. в камере устройства при подключении к открытому космосу,

СВС-шихта установлена на теплоизоляторе, размещенном на основании камеры, и выполнена в виде таблетки, в торце которой высверлено отверстие в форме «ложечки», в которое засыпан порошок испаряемого материала,

при этом устройство дополнительно снабжено экраном с отверстием для создания направленного потока частиц испаряемого материала, установленного на основании вокруг теплоизолятора с СВС-шихтой, а также заслонкой для перекрытия вышеупомянутого потока.

Способ устранения микротрещин на поверхности корпуса КЛА с использованием устройства путем проведения реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в условиях невесомости по изобретению заключается в том, что

устройство присоединяют к корпусу космического аппарата в области микротрещин посредством уплотнителей за счет создания высокого вакуума в двойной стенке камеры 10-5-10-6 мм рт.ст.,

затем открывают игольчатый клапан, подают в камеру инертный газ и создают давление 102-103 мм рт.ст, определяют наличие микротрещин путем измерения перепада давлений в камере устройства, при уменьшении давления в камере, подтверждающем наличие микротрещин, игольчатый клапан закрывают и открывают расположенный в средней части камеры вакуумный клапан, подключенный гибким шлангом к открытому космосу, для создания вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст,

далее инициируют испарение материала его нагреванием до температуры испарения, возникающей в результате выделения тепловой энергии твердофазной экзотермической реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза за счет горения СВС-шихты,

открывают заслонку и устраняют микротрещины осаждением испаряемого материала, проникающего в область микротрещин, закупоривая их с образованием сплошной пленки на поверхности корпуса КЛА.

Схема устройства для устранения микротрещин космических летательных аппаратов представлена на фиг. 1.

Устройство для устранения микротрещин на поверхности космических летательных аппаратов содержит камеру 1, двойную стенку 2, закрытую сверху вакуумными уплотнителями 3, вакуумный клапан 4, гибкий вакуумный шланг 5, выполненный с возможностью подключения к космическому вакууму, игольчатый клапан для подачи инертного газа 6, датчик вакуумметрического давления 7, прессованную СВС-шихту 8, испаряемый материал 9, экран 10 с отверстием 11 для создания направленного потока частиц испаряемого материала, спираль для инициирования СВС синтеза 12, датчик вакуумметрического давления 13, заслонку 14 для перекрытия потока частиц испаряемого материала 15, вакуумный клапан 16, гибкий вакуумный шланг 17, выполненный с возможностью подключения к космическому вакууму, осветительное устройство 18, видеокамеру для отслеживания процесса напыления 19, подключенную к компьютеру, игольчатый вентиль для подачи воздуха с целью разгерметизации устройства 20, смотровое окно 21, теплоизолятор 22.

Камера 1 устройства для устранения микротрещин выполнена в виде металлического цилиндра, содержащего в верхней части герметичную двойную стенку 2, закрытую сверху вакуумными уплотнителями 3. Такая конструкция позволяет образовывать высокий вакуум 10-5-10-6 мм внутри двойной стенки корпуса после подключения клапана 4 с гибким вакуумным шлангом 5 к открытому космосу, что позволяет устройству прилипать к поверхности космического аппарата в области микротрещин.

В нижней части камера 1 снабжена игольчатым клапаном 6 для подачи инертного газа для создания в камере давления 102-103 мм рт.ст. и датчиком вакуумметрического давления 7, подтверждающим наличие микротрещин в стенке КЛА.

В средней части камера содержит вакуумный клапан 16 с гибким шлангом 17, обеспечивающим вакуум 10-5-10-6 мм рт.ст. в камере устройства при подключении к открытому космосу.

СВС-шихта 8 установлена на теплоизоляторе 22, размещенном на основании камеры 1, и выполнена в виде таблетки, в торце которой высверлено отверстие в форме «ложечки», в которое засыпан порошок испаряемого материала 9.

Экран 10 установлен на основании камеры 1 вокруг теплоизолятора 22 с СВС-шихтой.

Устройство для устранения микротрещин космических летательных аппаратов работает следующим образом.

В области микротрещины стенка КЛА подвергается тщательной очистке специальными средствами. В прессованную в виде таблетки СВС-шихту 8, в торце которой высверлено отверстие в форме «ложечки», засыпается порошок испаряемого материала 9. Прессованная СВС-шихта крепится с помощью держателя к основанию камеры 1. Между СВС-шихтой и корпусом 1 устройства ставится теплоизолятор 22.

Устройство присоединяется к стенке космического аппарата в область микротрещин посредством уплотнителей за счет создания высокого вакуума в двойной стенке 2 камеры 10-5-10-6 мм рт.ст. путем присоединения вакуумного клапана 4 с гибким вакуумным шлангом 5, расположенного в области двойной стенки 2 корпуса, к открытому космосу. В данном случае космический вакуум служит в качестве «насоса» для откачки газов из камеры 1 предлагаемого устройства.

Затем открывается игольчатый клапан 6, подают в камеру инертный газ и создают давление 102-103 мм рт.ст. Давление внутри устройства измеряется с помощью датчика мановакуумметрического давления 7. Определяют наличие микротрещин путем измерения перепада давлений в камере устройства 1. Уменьшение давления в камере устройства подтверждает наличие микротрещин в стенках корпуса КЛА, а их отсутствие подтверждается постоянным давлением в камере 1.

При уменьшении давления в камере 1, подтверждающем наличие микротрещин, игольчатый клапан 6 закрывают и открывают расположенный в средней части камеры вакуумный клапан 16, подключенный гибким шлангом 17 к открытому космосу, для создания вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст,

Включается осветительное устройство 18 для освещения внутреннего пространства устройства и видеокамера 19 для отслеживания процесса напыления, подключенная к компьютеру. За процессом наблюдают через смотровое окно 21 устройства.

С помощью вольфрамовой спирали 12 инициируется испарение материала 9 его нагреванием до температуры испарения, возникающей в результате выделения тепловой энергии твердофазной экзотермической реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза за счет горения СВС-шихты 8. Открывается заслонка 14, поток частиц испаряемого материала 9 через отверстие 11 экрана 10 проникает в область микротрещин, закупоривая их с образованием сплошной пленки на поверхности корпуса КЛА в области микротрещин.

После завершения испарения закрывается заслонка 14, закрывается вакуумный клапан 16 с гибким вакуумным шлангом 17, соединенным с открытым космосом. Открывается игольчатый клапан 6, подается инертный газ. После образования в камере 1 устройства высокого давления (102-103 мм.рт. столба) с помощью чувствительного манометра измеряется давление внутри камеры. Стабильность давления подтверждает факт устранения микротрещин в корпусе КЛА. Закрывается вакуумный клапан 4, открывается игольчатый клапан для подачи воздуха 20. Разгерметизируются область внутри двойной стенки камеры 1, устройство отсоединяется от поверхности КЛА.

Пример 1

Готовят экзотермическую смесь исходных компонентов (СВС-шихту) из порошков титана и бора. Для этого 47.9 г титана тщательно перемешивают с 22 г. аморфного бора. Из готовой смеси прессуют таблетку, имеющую диаметр 30 мм и высоту 30 мм. Затем в торце этой таблетки высверливается отверстие в форме «ложечки», в которое засыпается порошок алюминия, являющийся испаряемым материалом 8. После этого осуществляется сборка устройства как изображено на фиг. 1 и создается вакуум в рабочей камере. После достижения вакуума, инициируют кратковременный тепловой импульс с помощью вольфрамовой спирали 10 в спрессованной из экзотермической смеси таблетке 7. Протекает твердофазная экзотермическая реакция:

Ti+2В=TiB2,

Температура горения СВС-шихты - 2700°С. Механизм горения СВС-шихты таков, что во фронте горения титан плавится (температура плавления - 1670°С, температура кипения - 3287°С). Однако расплавленного титана в чистом виде в волне горения нет (как только он плавится, в нем мгновенно растворяется бор, температура плавления продукта растет и расплав застывает), т.е. время жизни расплава мало. Температура плавления диборида титана TiB2 (продукта горения) - 2970°С.

В результате протекания экзотермической реакции между компонентами СВС-шихты выделяется большое количество тепловой энергии и происходит испарение Al (температура испарения Al - 660°С, температура испарения Al - 1150°С).

После завершения испарения и закрытия заслонки 14 в камеру 1 подается инертный газ. После образования в камере 1 устройства высокого давления (102-103 мм рт.ст.) с помощью чувствительного манометра измеряется давление внутри камеры. Стабильность давления подтверждает факт устранения микротрещин в корпусе КЛА.

Пример 2

Готовят экзотермическую смесь исходных компонентов (СВС-шихту) из порошков титана и углерода. Для этого 47,9 г. титана тщательно перемешивают с 12 г углерода (сажа, размолотый графит). Из готовой смеси прессуют таблетку, имеющую диаметр 30 мм и высоту 30 мм. Затем в торце этой таблетки высверливается отверстие в форме «ложечки», в которое засыпается порошок титана, являющийся испаряемым материалом 8. После этого осуществляется сборка устройства как изображено на фиг. 1 и создается вакуум в рабочей камере. После достижения вакуума, инициируют кратковременный тепловой импульс с помощью вольфрамовой спирали 10 в спрессованной из экзотермической смеси таблетке 7. Протекает твердофазная экзотермическая реакция:

Ti+С=TiC

Температура горения СВС-шихты - 3000°С. Механизм горения СВС-шихты таков, что во фронте горения титан плавится (температура плавления - 1670°С, температура кипения - 3287°С). Однако расплавленного титана в чистом виде в волне горения нет (как только он плавится, в нем мгновенно растворяется углерод, температура плавления образовавшегося продукта растет и расплав застывает), т.е. время жизни расплава мало. Температура плавления карбида титана (продукта горения) - 3260°С, температура кипения карбида титана - 4300°С.

В результате протекания экзотермической реакции между компонентами СВС-шихты выделяется большое количество тепловой энергии и происходит испарение титана (температура интенсивного испарения титана в вакууме ~ 1900°С).

Пример 3

Готовят экзотермическую смесь исходных компонентов (СВС-шихту) из порошков тантала и углерода. Для этого тщательно перемешивается 180,96 г порошка тантала с 12 г углерода (сажа, размолотый графит). Из готовой смеси прессуют таблетку, имеющую диаметр 30 мм и высоту 30 мм. Затем в торце этой таблетки высверливается отверстие в форме «ложечки», в которое засыпается порошок нихрома, являющийся испаряемым материалом 8. После этого осуществляется сборка устройства как изображено на фиг. 1 и создается вакуум в рабочей камере. После достижения вакуума, инициируют кратковременный тепловой импульс с помощью вольфрамовой спирали 10 в спрессованной из экзотермической смеси таблетке 7. Протекает твердофазная экзотермическая реакция:

Та+С=ТаС

Температура горения СВС шихты - 2700 К (2427°С), меньше температуры плавления и кипения компонентов шихты: у тантала - Тпл.=3290К (3017°С), Ткип.=5731К (5458°С), а у углерода соответственно 3845-3890°С и 4200°С.

В результате протекания экзотермической реакции между компонентами СВС-шихты выделяется большое количество тепловой энергии и происходит испарение нихрома.

Таким образом, заявленное изобретение позволяет устранять микротрещины КЛА, используя тепловую энергию СВС, не только при нормальных условиях, но и в условиях космического вакуума.

1. Устройство для устранения микротрещин на поверхности корпуса космических летательных аппаратов (КЛА) с использованием тепловой энергии самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), содержащее камеру, на боковой поверхности которой выполнено смотровое окно из прозрачного материала, и основание, цилиндрическую спрессованную СВС-шихту, спираль для инициирования СВС синтеза и испаряемый материал, отличающееся тем, что

камера выполнена цилиндрической формы и в верхней части содержит герметичную двойную стенку с вакуумным клапаном и гибким шлангом, присоединенным к открытому космосу для создания вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст. внутри двойной стенки, закрытой сверху уплотнителями,

в нижней части камера снабжена игольчатым клапаном для подачи инертного газа для создания в камере давления 102-103 мм рт.ст. и датчиком давления, подтверждающим наличие микротрещин в стенке КЛА,

в средней части камера содержит вакуумный клапан с гибким шлангом, обеспечивающим вакуум 10-5-10-6 мм рт.ст. в камере устройства при подключении к открытому космосу,

СВС-шихта установлена на теплоизоляторе, размещенном на основании камеры, и выполнена в виде таблетки, в торце которой высверлено отверстие в форме «ложечки», в которое засыпан порошок испаряемого материала,

при этом устройство дополнительно снабжено экраном с отверстием для создания направленного потока частиц испаряемого материала, установленного на основании вокруг теплоизолятора с СВС-шихтой, а также заслонкой для перекрытия вышеупомянутого потока.

2. Способ устранения микротрещин на поверхности корпуса КЛА с использованием устройства по п. 1 путем проведения реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в условиях невесомости, отличающийся тем, что устройство присоединяют к корпусу космического аппарата в области микротрещин посредством уплотнителей за счет создания высокого вакуума в двойной стенке камеры 10-5-10-6 мм рт.ст.,

затем открывают игольчатый клапан, подают в камеру инертный газ и создают давление 102-103 мм рт.ст., определяют наличие микротрещин путем измерения перепада давлений в камере устройства, при уменьшении давления в камере, подтверждающего наличие микротрещин, игольчатый клапан закрывают и открывают расположенный в средней части камеры вакуумный клапан, подключенный гибким шлангом к открытому космосу, для создания вакуума 10-5-10-6 мм рт.ст.,

далее инициируют испарение материала его нагреванием до температуры испарения, возникающей в результате выделения тепловой энергии твердофазной экзотермической реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза за счет горения СВС-шихты,

открывают заслонку и устраняют микротрещины осаждением испаряемого материала, проникающего в область микротрещин, закупоривая их с образованием сплошной пленки на поверхности корпуса КЛА.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, в частности к ионному азотированию, и может быть использовано в машиностроении, автостроении и арматуростроении. Устройство для азотирования в тлеющем разряде стальной детали содержит вакуумную камеру, регулируемый источник питания, экран и устройство для подачи азота.

Изобретение относится к области оборудования для модификации поверхности деталей в низкотемпературной газоразрядной плазме и может быть использовано в ионно-плазменных процессах очистки, активации и легирования поверхности деталей. Установка для ионного азотирования в плазме тлеющего разряда содержит вакуумную камеру и подключенные к ней форвакуумный насос и блок управления расходом газа, к которому подключены баллоны с газами, электроды для возбуждения тлеющего разряда, установленные в рабочем пространстве камеры, анод и подложка-катод, соединенные с источником питания разряда.

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий на подложку. Установка для вакуумного осаждения для непрерывного осаждения на перемещающуюся подложку покрытий, сформированных из металла или металлического сплава, содержит тигель для испарения, выполненный с возможностью подачи паров металла или металлического сплава и содержащий испарительную трубку 7, камеру для осаждения, выполненную с возможностью прохождения подложки по заданной траектории, и устройство 3 для нанесения покрытий струёй пара, соединяющее испарительную трубку 7 с камерой для осаждения, при этом устройство 3 для нанесения покрытий струёй пара дополнительно включает в себя распределительную камеру 31, содержащую по меньшей мере одно средство повторного нагрева 33, расположенное внутри распределительной камеры, и сопло 32 для выпуска пара, содержащее нижнее отверстие 9, соединяющее сопло 32 для выпуска пара с распределительной камерой 31, верхнее отверстие 10, через которое пар может выходить в камеру для осаждения, и две боковые поверхности 11, 12, сходящиеся друг к другу в направлении верхнего отверстия 10.

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к области получения тонких пленок металлов. Устройство для получения тонких пленок металлов тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза содержит вакуумную рабочую камеру 1, испаритель 4, в котором находится испаряемый материал 5, емкость для СВС-шихты, источник кратковременного теплового импульса, подложки 8, нагреватель 9 подложек 8, заслонку 7 для перекрытия потока частиц испаряемого материала 5, расположенную между испарителем 4 и подложками 8, и средства создания вакуума в рабочей камере, при этом емкость для СВС-шихты выполнена в виде вольфрамового цилиндра 2, заполненного инертным газом при нормальных атмосферных условиях, в котором установлена спрессованная СВС-шихта 3 и вольфрамовые спирали 6 для инициирования кратковременного теплового импульса, в верхней части цилиндр 2 герметично закрыт вольфрамовой крышкой с вогнутой полостью в форме лодочки, одновременно являющейся испарителем 4, заслонка 7 закреплена на стержне, установленном на основании вакуумной камеры 1, при этом испаритель 4 с испаряемым материалом 5 и подложки 8 находятся в условиях высокого вакуума.

Изобретение относится к элементам внутрикамерных устройств установок вакуумного напыления и может быть использовано при нанесении металлических и полупроводниковых пленок для покрытия деталей и элементов, применяемых в изделиях электронной, приборостроительной и оптической промышленности, а также для получения экспериментальных и опытных образцов в научно-исследовательской деятельности.

Изобретение относится к устройству для вакуумно-плазменного нанесения металлического двухстороннего покрытия на пьезопленки. Упомянутое устройство содержит вакуумную камеру с источником ионно-плазменного распыления и держатели пьезопленок.

Изобретение относятся к способу получения коррозионностойкого покрытия на детали пары трения и может быть использовано в химической, машиностроительной, горно- и нефтедобывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для повышения защитных свойств поверхности инструмента и пар трения в агрессивной среде, а также повышения их теплостойкости при обработке в условиях сухого трения.

Изобретение относится к способу получения коррозионностойкого покрытия на детали пары трения и может быть использовано в химической, машиностроительной, горно- и нефтедобывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для повышения защитных свойств поверхности инструмента и пар трения в агрессивной среде.

Изобретение относится к способу получения многослойного покрытия на подложке в виде детали пары трения или режущего инструмента и может быть использовано в машиностроительной, горно- и нефтедобывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для упрочнения поверхности инструмента и пар трения.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к области методов контроля толщины покрытий в установках электронно-лучевого испарения. Способ непрерывного контроля толщины напыляемой на лопатки керамики заключается в определении толщины напыляемого покрытия по контрольному образцу, размещенному в одной камере с лопатками.

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к области получения тонких пленок металлов. Устройство для получения тонких пленок металлов тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза содержит вакуумную рабочую камеру 1, испаритель 4, в котором находится испаряемый материал 5, емкость для СВС-шихты, источник кратковременного теплового импульса, подложки 8, нагреватель 9 подложек 8, заслонку 7 для перекрытия потока частиц испаряемого материала 5, расположенную между испарителем 4 и подложками 8, и средства создания вакуума в рабочей камере, при этом емкость для СВС-шихты выполнена в виде вольфрамового цилиндра 2, заполненного инертным газом при нормальных атмосферных условиях, в котором установлена спрессованная СВС-шихта 3 и вольфрамовые спирали 6 для инициирования кратковременного теплового импульса, в верхней части цилиндр 2 герметично закрыт вольфрамовой крышкой с вогнутой полостью в форме лодочки, одновременно являющейся испарителем 4, заслонка 7 закреплена на стержне, установленном на основании вакуумной камеры 1, при этом испаритель 4 с испаряемым материалом 5 и подложки 8 находятся в условиях высокого вакуума.
Наверх