Устройство для измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборов

 

307360

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союэ Советскик

Социалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

МПК G Olr 31/26

Заявлено 20.Х.1969 (№ 1368639/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 21.Ъ 1.1971. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 8.IX.1971

Комитет по делам иэобретений и открытий при Совете Министров сссР

УДК 621.382.2/.3:

: 531.782 (088.8 ) Автор изобретения

Е. 3. Рыскин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОБИВНЪ|Х НАПРЯЖЕНИЙ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение может быть использовано для контроля полупроводниковых приборов при их производстве, а также для исследовательских целей.

Известны устройства для измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборов, в которых измерение производится как на постоянном токе, так и при помощи измерительных импульсов, следующих с частотой, зависящей от типа измеряемого прибора, что затрудняет создание универсального устройства. Кроме того, в процессе измерения испытуемый р-и переход многократно пробивается, что вносит погрешность в измерение.

Целью изобретения является автоматизация процесса измерения, повышение точности измерения и расширение сферы применения устройства. Это достигается введением в устройство генератора пускового импульса, запускающего генератор линейно изменяющегося напряжения и триггер управления схемой запрета поступления счетных импульсов, период следования которых пропорционален приращению амплитуды линейно изменяющегося напряжения с генератора счетных импульсов в счетчик.

На чертеже показана принципиальная схема предлагаемого устройства.

Устройство состоит из генератора 1 пускового импульса, управляющего триггера 2, ждущего генератора 8 линейно изменяющегося напряжения, порогового устройства 4, генератора 5 счетных импульсов, схемы запрета б,. счетчика 7 импульсов, испытуемого полу5 проводникового прибора 8 и токосъемного сопротивления 9.

Устройство работает следующим образом.

По сигналу «Пуск» генератор 1 пусковым

10 импульсом вызывает процесс линейного изменения напряжения на испытуемом приборе и одновременно устанавливает триггер 2 в положение, при котором с входа схемы запрета б снимается напряжение, и счетные импульсы

15 с генератора 5 начинают поступать в счетчик 7.

По достижении линейно изменяющимся напряжением величины пробивного напряжения для испытуемого полупроводникового прибора

20 8 резко возрастает ток р-и перехода и, следовательно, падение напряжения на токосъемном сопротивлении 9. Когда величина этого напряжения становится равной уровню срабатывания порогового устройства 4, импульс

25 с его выхода прекращает процесс линейного изменения напряжения генератора 3 и устанавливает триггер 2 в исходное состояние.

Триггер 2 закрывает схему запрета б, и импульсы не поступают в счетчик 7. Для сбра30 сывания показания счетчика 7 подается сиг307360

Предмет изобретения

Сброс

Составитель Н. Н, Шлякова

Тсхред Л. Л. Евдонов Коррскгор Л. А. Царькова

Редактор H. Л. Корченко

Заказ 2329/17 Изд. М 977 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва, %-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 нал «Сброс», что подготавливает устройство к следующему измерению.

Описываемое устройство позволяет производить измерение пробивного напряжения полупроводникового прибора в течение одного цикла подачи линейно изменяющегося напряжения, чем увеличивает точность измерения и автоматизирует процесс измерения.

1. Устройство для измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборов, содержащее пороговое устройство и токосъемное сопротивление в цепи испытуемого полупроводникового прибора, отличающееся тем, что, с целью повышения 1очности измерения и расширения сферы применения, оно содержит генератор пускового импульса, запускающий генератор линейно изменяющегося напряжения и триггер управления схемой запрета поступления импульсов от генератора счетных

10 импульсов в счетчик.

2. Устройство по и, 1, отличающееся тем, что канал счета импульсов и канал подачи напряжения на испытуемый полупроводниковый прибор электрически независимы.

Устройство для измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборов Устройство для измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх