Устройство для анализа электронной структуры

 

Ъ

Сееа Советски,т

Сециалистическик

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16ЛХ.1968 (№ 1271652/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет.ЧПК G Oln 23/20

Комитет по делам иаебретений и открытий при Сосете Миниотрое

СССР

Опубликовано Ol.VII.1971. Бюллетень ¹ 21 ! Дата опубликования оппсаш,я ЗОЛ III.1971

УДК 621.383.9(088.8) Авторы изобретения

В. А. Трапезников и А. В. Евстафьев

Институт физики металлов АН СССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА ЭЛЕКТРОННОЙ СТРУКТУРЫ

ТВЕРДЫХ ТЕЛ

Изобретение относится к области приборостроения и предназначено для исследования электронного энергетического спектра твердых тел по фото и Оже-электронам и по вторичным и абсорбционным рентгеновским спектрам, а также для поэлементарного анализа.

Цель изобретения †увеличен точности измерений и расширение спектра измеряемых физических параметров.

В предлагаемом устройстве это достигается тем, что рентгеновская трубка и кристалл-монохроматор размещены над образцом выше торовой камеры, а под образцом расположены счетчик для регистрации проходящего рентгеновского излучения, кристалл-анализатор и счетчик для регистрации вторичного рентгеновского излучения.

Изобретение поясняется чертежом, на котором изображены бета-спектрометр (тонкие линии) и схема хода электронов (жирная линия) и рентгеновских лучей (волнистые линии). На чертеже показаны рентгеновская трубка в положениях 1, 2 с направлением испускаемого излучения по осям Х и У, изогнутый по Иоганну кристалл-монохроматор 8 для возбуждения излучения (он же используется как кристалл-анализатор для получения рентгеновского спектра поглощения с образца; лучи, отраженные от этого кристалла, имеют постоянное направление по оси 2); торовая вакуумная камера 4, в которой движутся электроны; напылитель 5 образцов, образец б; изогнутый по Иоганну кристалл-ана5 лизатор 7 для разложения в спектр вторичного излучения, испускаемого образцом (можно использовать и кристалл с изгибом по Кошуа); счетчик 8 для регистрации прошедшего через образец рентгеновского излучения;

10 счетчик 9 для регистрации испускаемого образцом вторичного излучения; счетчик 10 электронов.

Работа устройства включает три этапа.

Первый этап заключается в напылении двух

1s образцов с помощью специального напылителя 5. После этого один из образцов устанавливается в рабочее положение в торовой камере, которая имеет общий вакуум с напылителем. Замена одного образца другим осу20 ществляется перемещением держателя образцов вдоль оси Х без вакуума.

На втором этапе производится исследование кинетической энергии возбужденных электронов и анализ вторичного рентгеновско25 го излучения образца. Длина волны возбуждающего характеристического излучениярентгеновской трубки подбирается с учетом межплоскостного расстояния отражающей плоскости кристалла 8, так, чтобы угол отражения

30 был близок к 45 . При гаком угле отраженное

308344

В ñ

Составитель Е. Шульгин

Техред Л. Я. Левина Корректор О. С. Зайцева

Редактор Ю. Полякова

Типография, и р. Сап уно ва, 2

Заказ 2244/5 Изд. № 969 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, /К-35, Раушская наб., д. 4/5

Устройство для анализа электронной структуры Устройство для анализа электронной структуры Устройство для анализа электронной структуры 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к рентгеноструктурному анализу поликристаллов, а именно к определению одной из характеристик первичной рекристаллизации в сплавах - критической степени пластической деформации - рентгеноструктурным методом

Изобретение относится к физическому материаловедению, а конкретно к технике рентгеноструктурного контроля кристаллогеометрических параметров большеугловых границ зерен, описываемых тетрагональными решетками совпадающих узлов (РСУ), в поликристаллических материалах с любым размером зерна

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к области металлургии и может быть использовано для изготовления емкостей сжиженных газов, низкотемпературного и криогенного оборудования, установок для получения сжиженных газов, оболочек ракет и емкостей для хранения ракетного топлива из стали 01Х18Н9Т

Изобретение относится к области рентгенографических способов исследования тонкой структуры и может быть использовано для неразрушающего контроля внутренних напряжений с целью выявления признаков опасности развития хрупкого разрушения металлических деталей и изделий
Наверх