Устройство для ионной обработки

 

- патен гас-те,;.-;,., ; с б.о ноте. а :."",.

О П ИС А НФ1 Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сфюэ Советскнк

Социалистических

Ресиубпин (31) 333634

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 270669 (21) 1344600/26-25 с присоединением заявки РЙ— (23) Приоритет(43) Опубликовано 25.07.78. Бюллетень )ЧУ 27 (45) Дата опубликования описания 0706.78 (51) М. Кл.

Н 01 3 37/20

Н 01 м 21/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР

I30 делам изобретений и открытий (53) УДК621.328.

002.54 (088 ° 8) (72) Авторы изобретения

А.К.Зайцева, Н.Я.Липинецкий и Е.Г.Жуков (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ

Изобретение относится к технологическому оборудованию полупроводникового производства, в частности к,установкам ионного легирования.

Известно устройство для двухсто- 6 ронней обрабоТки пучком ионов полупроводниковых кристаллов, элементов конструкций или деталей, содержащее непрерывный транспортер, а с рабоче стороны устройства расположены два окна с индивидуально-управляемьвли .дверцами, которые снабжены зондами для измерения ионного тока.

Однако в известном .устройстве lS кассеты с деталями, расположенные за облучаемой кассетой, находятся в зоне действия ионного пучка, так как пучок ионов проникает вдоль всего устройства между кассетами, что при- 20 водит к напылению на них материала стенок камеры, распыляемого ионньви ,дучком, и следовательно, к бракуу

: при переводе облучения с тыльной -:"стороны на лицевую и наоборот при-, х5 ходится менять траекторию ионного пучка, что не дает расположиться кассетам с деталями в фокальной плос:кости. Это ведет к снижению качества обработки. ЭО

С целью улучшения качества обработки и увеличения производительности, в .предлагаемом устройстве механизм перемещения деталей выполнен в виде непрерывного вертикального транспор" тера, который снабжен приводом для поворота относительно продольной оси.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Оно содержит вертикальный транспортер 1, заключенный в раму 2, которая имеет ось 3 и вал 4, его опорр закреплены в корпусе 5 и раме. На оси закреплена шестерня 6. Она находится в зацеплении с шестерней 7.

На валу 8 с шестерней 7 закреплена шестерня 9, находящаяся в зацеплений с шестерней 10. Опоры вала 8 закреп-1 лены в раме. Шестерня 10 зайреЪлена на ведущем вале транспортера. На, корпусе имеется фиксатор 11, кото рый входит в зацепление с фиксатором

12, закрепленньвл на раме. Фиксатор 1(2 входит в зацепление с диском 13, установленньм на ведомом вале транспортера. Транспортер состоит из двуи цепей, натянутых между двумя МГарами, звездочек 14 и 15, опоры валов которых закреплены в раме. К цепям с определенньм шагом прикреплены 333634.

t2.,ЦНИИПИ Заказ /3945/1

Тираж 96 одписное

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул. роектная, подвески для креплен1ия кассет с обрабатываемыми деталями. С рабочей стороны устройства расположено окно .прикрываемое дверцей 16 с зондами для контроля ионного тока.,Шаг креп- . ления подвесок определяетая размера-. ми обрабатываемых деталей. устройство устанавливается в вакуумную камеру 17 электромагнитного сепаратора с источником ионрв. Загрузка или разгрузка транспортера осуществляется через загрузочное ок о при периодическом перемещении транс;портера. Загружать и разгружать устройство можно как до установки в вакуумную камеру ионнолучевой устанонки, так и непосредственно в камере.

После установки устройства в вакуумную камеру и загрузки его,обрабатываемьвеи деталями вакуумный фла-: нец 18 закрывают и производят откач ху камеры. Степень разряжения определйется условиями ионной обработки

После внедения в режим ионного источника пучок ионов наводится на ,дверцу 16, устанавливается необходимая платность ионного тока, измеряемая зондом. Дверца открывается поворотом рукоятки, и пучок конон попадает на кассету 19 с обрабатываемыми деталями. По окончании обработки касетты с деталями вал 4 начинает вращаться. Транспортер перемещается на один шаг, производится облучение следующей кассеты и т. д.

При этом фиксатор 11 входит в за- цепление с фиксатором 12 и выводит его иэ зацепления с диском 13.

Транспортер перемещается следующим образом.

Шестерня 6, расположенная На вале

4, через шестерни 7 и 9, закреплен.ные на валу 8, передает крутящий момент шестерне 10, которая закреп- лена на недущем валу транспортера.

Ведущий вал, вращаясь, перемещает

10 транспортер в ту или иную сторону в занисимости от направления вращения, Дг1я обработки тыльной стороны кассе- ты транспортер поворачивается вокруг продольной (вертикальной) оси

15 на 180 . При этом фиксатор 11 выходит из зацепления с фиксатором 12, который входит в зацепление с диском 13.- В этом случае транспортер и, следовательно, нал 8 .эатормажищ ваются. Рама разворачивается на 180 и производится облучение тыльной стороны кассеты.

Формула изобретения

Устройство для ионной обработки, содержащее корпус, источник ионов, механизм перемещения деталей в виде транспортера, окно с крышкой, зонды ..для контроля, распределения ионного тоха, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения качества обработки и увеличения производительности, транспортер механизма перемещения деталей расположен вертикально и снабжен приводом для поворота относительно продольной оси °