Смотровое окно для вакуумной камеры

 

ОПИСАНИЕ 38277l

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от. авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. С 23с 13/08

Заявлено 01.11.1971 (,% 1617632/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 23.V.1973. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 14Х111.1973

Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

: УДI(621.793.14.002. .52(088.8) Авторы изобретения

А. Ю. Абеле и Ю. А. Екимов

Заявитель

СМОТРОВОЕ ОКНО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для наблюдения за процессами в вакуумной камере.

Известно смотровое окно для вакуумной камеры, содержащее корпус, .смотровое стекло, перфорированный диск и привод.

Однако смотровое окно имеет короткий промежуток времени незапыляемости смотрового стекла, что ограничивает срок службы смотрового окна в установках длительного действия.

Цель изобретения †увеличен срока службы смотрового окна.

Предлагаемое смотровое окно отличается тем, что оно снабжено конденсатором, выполненным в виде конфузара, и смонтировано на камере посредством шаровой опоры, вписанной в вакуумоплотный корпус.

На чертеже изображена предлагаемая конструкция смотрового окна.

Окно состоит из корпуса 1, смотрового стекла 2, перфорированного диска 3, привода

4, конденсатора 5, выполненного в виде конфуэора. Окно смонтировано на камере б посредством шаровюй опоры 7, вписанной в вакуумаплотный корпус 8.

В корпусе 1 выполнена камера 9 охлаждения, имеющая охладительную «рубашку» 10, внутренняя поверхность которой выполнена оребренной. К внешней стороне смотрового стекла 2 может быть присоединено оптическое устройство (на чертеже не показано).

Работает вакуумная камера следующим б образам.

Во время испарения материала из нагревательного источника (тигля), часть потока пара, обладая запасом кинетической энергии и прямолинейным движением, направляется в

1О сторону смотрового окна. Достигнув поверхности конфузора 5, имеющего температуру меньше критической температуры конденса.ции паров испаряемого материала, последние конденсируются на наружной ловерхности конфузора 5. Молекулы пара, попавшие в полость кон фузора 5, конденсируются на его . внутренней поверхности. Часть молекулярного потока, не встретив препятствий на своем пути, проникает через узкое сечение конфузо20,ра 5 в камеру охлаждения 9.

Наличие в корпусе 1 устройства камеры 9 охлаждения позволяет создавать в ней ооласть с низкой температурой. В этой области молекулы испа ряехтого материала теплоизлуЖб чением теряют значительную часть своей энергии и конденсируются на ореб ренной по,верхности «рубашки» 10. Теплоотвод в охлаждающем приспособлении осуществляется циркулирующим в охладителыной «рубашке» 10 зо хладагентом. Не скоцденсировавшаяся часть

382771

Предмет изобретения

Составитель Л. Анисимова

Техрсд Т. Курилко

Редактор Л. Лаврова

Корректор С. Сатагулова

Заказ 428/1267 Изд. ¹ 585 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, SK-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» молекул пара задерживается вращ3þùilìc5I со скоростью, намного превын!3!оц!С1! скорость молекул пара, перфорированным дис broil 3, препятствующим проннкновени1о пара на поверки!ость смотрового стекла 2. 5

В нерабочем положении смотровое окно установлено так, что конфузор 5 отведеil в сторону от испарителя (тигля), препятствуя таким ооразом прямому попаданию мо7екул пара в полость смотрового Oilala. В случае не- 10 обходимости наблюдения за работои I!Oil;lp:1те7ьпых устройс!тв, оператор, î . Iгодаря наЛ И Ч И 10 111 3 P I l H P I I O I С 0 Е Д I I I I &111!51, Ы Р 3 11! Е Н И Е М смотрового окна навод,1т конфузор 5 на объект наблюдения. 15

Если в вакуумной камере размеп!ены несколько источников испарения (т11Г 7ей), 3 соответственно, и механизмов по7ачн проволокн, то несмотря 113 постоянный угол обзора устройства, на,7ичие. сферического шарнирного соедннени51 позволяет оператору вращенис м устройства относительно двух осей осматривать ооширную часть !камеры с механизмами, смонтированными не только рядом с испарите,7ем, но и в стороне от них.

Смотровое окно для вакуумной камеры. содержащее корпус,,смотровое стекло, перфорированный диск и привод, от«1ича>ощееся тем, что, с целью увеличения срока службы, 0.