Устройство для защиты стекол вакуумной установки

Авторы патента:

C23C14/52 - средства наблюдения за процессом покрытия

ПС1.„-- И-;;. „.;-. библио.;

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ зюга

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 26ЛУ.1971 (№ 1650999J22-1) М. Кл. С 23с 13/08 с присоединением заявки №вЂ”

ПриоритетвЂ”

Государственный комитет

Совета Министров t,ÑÑÐ па делам изобретениИ и открытий

УД К 621.793.14.002.52 (088.8) Опубликовано 11Х1!.1973. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 3.ХП.1973

Авторы изобретения

Заявитель

Г. К. Клименко, В. Н. Ковалев, В. Н. Лысаков и М. М. Чурсин

Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени высшее техническое училище им. H. Э. Баумана

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СТЕКОЛ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ

ОТ ЗАГРЯЗНЕНИЯ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для защиты стекол вакуумных установок от загрязнения.

Известно устройство для защиты стекол вакуумной установки от загрязнения, содержащее экран с отверстием. Однако такое устройство не предотвращает попадания продукта испарения на стекло, что отрицательно сказывается на времени использования последнего.

Целью изобретения является увеличение срока службы стекла. Это достигается тем, что между стеклом и экраном смонтирована камера, снаоженная штуцером для подачи инертного газа.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство включает экран 1 с отверстием, размещенным перед стеклом 2 вакуумной установки 3. Между стеклом и экраном смонтирована камера 4, снабженная штуцером о для подачи инертного газа. Перед отверстием экрана подвижно укреплена заслонка 6, имеющая привод 7, причем привод сблокирован с клапаном подачи газа так, что

5 при закрытом заслонкой отверстии подача газа прекращается.

Устройство работает следующим образом.

Через штуцер 5 в камеру 4 натекает инертный газ, например аргон, который, истекая

10 через отверстие экрана 1, препятствует проникновению продуктов работы к стеклу 2.

Расход нейтрального газа выбирается таким, что он не влияет на степень вакуума в установке.

Предмет изобретения

Устройство для защиты стекол вакуумной установки от загрязнения, содержащиее экран с отверстием, отличающееся тем, что, с

20 целью увеличения срока службы, между стеклом и экраном смонтирована камера, снабженная штуцером для подачи инертного газа.

390201

Составитель Л. Анисимова

Техред Е. Борисова Корректор Е. Миронова

Редактор Н. Корченко

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3206/16 Изд. № 1749 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Устройство для защиты стекол вакуумной установки

Способ распределения массы пленки // 110532

Способ получения пористого истираемого материала из металлических волокон // 2382828

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам получения истираемых материалов из металлических волокон, и может быть использовано при изготовлении уплотнений проточной части компрессора и турбины газотурбинного двигателя, в газонефтеперекачивающих установках для изготовления фильтров

Смотровое окно для вакуумной камеры // 2023050

Смотровое окно для вакуумных камер // 392166

Стробоскопическое смотровое окно для вакуумных установок // 397566

Устройство для защиты смотровых окон вакуумных ка.мер от запыления // 420707

// 433251

Способ контроля плотности пара в процессе вакуумного нанесения покрытий при нагреве испарителя электрическим током // 1151592

Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры от запыления // 1483980

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления при визуальном контроле за прочессами термического испарения и нанесения покрытий в вакуумной камере

Способы моделирования процессов вакуумной ионной обработки (варианты) и образец для их осуществления // 2485212

Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры // 2521174

Изобретение относится к вакуумной технике. Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры содержит ленту, протягиваемую вдоль окна ведущим и ведомым роликами. Тонкая упругая металлическая лента выполнена шире и в 2,5 раза длиннее окна. Лента уложена и закреплена в проточке каждого ролика. По ширине в ленту вставлена прямоугольная рамка со съемным стеклом шириной в три раза меньше его длины, по краям каждого ролика выполнены канавки, в которых закреплены и натянуты между роликами ниже ленты два тросика длиной не меньше длины окна, выполненные в виде пружины. Возле каждого ролика установлен упор для рамки. Когда рамка упирается в упор возле ведомого ролика, тросики намотаны на ведущий ролик, а лента на ведомый ролик. Когда рамка упирается в упор возле ведущего ролика, тросики намотаны на ведомый ролик, а лента на ведущий ролик. С каждой стороны ленты установлены, по меньшей мере, две направляющие. Обеспечивается защита увеличенного по длине смотрового окна вакуумной камеры от запыления при визуальном контроле за процессами термического испарения. 1 ил., 1 пр.