Устройство для получения покрытий переменной толщины катодным распылением (
О П И С А Н И Е 388О60
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 09.1И.1971 (№ 1632374/22-1) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 22.VI.1973. Бюллетень № 28
Дата опубликования описания 3.ХП.1973
M. Кл. С 23с 15/00
Государственный комитет
Совета Министров GGGP ло делам иеооретеннй и открытий
УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения А. А. Акберов, В. М. Вайнштейн, Е. А. Жуковская, И.
P. Х. Сайфуллии, И. С. Смышляев, Н. Х. Фахрутдинов, и И. М. Чистополов
М.— А. Мусаев, Д. И. Черников
"., . -. и ОЗКАЯ
Заявитель
pь(;) 1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПЕРЕМЕННОЙ
ТОЛЩИНЫ КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ
Известно устройство для получения покрытий переменной толщины катодным,распылением, содержащее вакуумную, камеру, внутри которой укреплены многосекционный катод и анод.
В этом устройстве катод, выполнен из двух или более изолированных друг от друга цилиндрических кольцеобразных секций, на каждую из которых подается электрический потенциал. Величина потенциала определяется требуемым законом распределения толщины покрытий.
При этом наблюдается «краевой эффект» секций катода: имеющий ся .зазор между секциями уменьшает толщину покрытия в соответствующих местах напыляемых подложек, что отрицательно сказывается на качестве покрытий.
Цель изобретения — повышение:качества покрытий.
Для этого каждая секция катода выполнена в,виде тороида, торцы которого срезаны под углом.
На чертеже представлено предлагаемое устройство для получения покрытий перемен,ной толщины катодным .распылением.
Устройство состоит из вакуумной камеры 1, внутри которой укреплены многосекционный катод 2 и анод 3. Камера закрывается крышками 4 и 5, передвигающимися совместно с тележками б по направляющим 7. Герметизация обеспечивается установленными в канавках камеры резиновыми уплотнителями 8, На фланце крышки 5 установлен вакуумный ввод вращения 9, в корпусе которого находится червячная передача 10; вращение червяка производится через шкивную передачу
11 от электродвигателя 12, установленного на тележке б.
На валу ввода вакуум ного вращательного
10 механизма у становлен барабан-анод 3, на котором крепятся напыляемые подложки 13. На левой крышечке 4 установлен цилиндрический катод 2, состоящий из двух или более изолированных друг от друга изоляторов 14 секций
15 15, на каждую из которых через токопровод1б подается электрический потенциал. Величина потенциала определяется требуемым законом распределения толщины покрытия.
Секции катода 2 выполнены в виде торои2О дов, торцы которых срезаны под углом, обеспечивающим перекрытие сосед ней секции.
Вследствие этого достигается,равномерное влияние «краевого эффекта» в пределах всего катода, что позволяет повысить точность зако25 номерно изменяющейся толщины покрытия напыляемых подложек.
Устройство работает следующим образом.
Напыляемые подложки 13, вращаясь совместно с барабаном-анодом 3, покрываются зО пленкой с закономерно изменяющейся толщиной в осевом направлении анода. Изменяя ве388060
10 Составитель Л. Анисимова
Текред E. Борисова Корректор Е. Миронова
Редактор E. Шепелева Заказ 3206/9 Изд. № 1749 Тираж 826 Подписное
ПН1ЛИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 личину электрического потенциала на различных секциях 1о, можно добиться покрытия с изменяющейся толщиной.
Предмет изобретения
Устройство для получения покрытий переменной толщины катодным распылением, содержащее вакуумную камеру, внутри которой укреплены многосекционный катод и анод, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, каждая секция, катода выполнена в виде тороида, торцы которого срезаны под углом.
