Криогенный конденсационный насос

 

Ones

GA ИСАНФ1Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советат ии

Со апист ч х

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 24.1/.1971 (№ 1660910/24-6) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 27.V11.1973. Бюллетень № 32

Дата опубликования описания 14.XL.1973

М. Кл. Р 04b 37/08

Гввудвретвенный ивмнтет

Совете Министров СССР пв делам иэовретений и втнрьпий

УДК 621.528.1(088.8) Авторы С. Ф. Гришин, Е. Я. Гришина, В. A. Коваленко, В. Я. Чернышенко, изобретения А. С. Тугушев, И, Р. Киричек, 8. Г, Мартыненко и Т. С. Тарасенко

Заявитель

КРИОГЕИИЫЙ КОИДЕИСАЦИОИИЫЙ НАСОС

Предмет изобретения

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны конд насосы, содержащие корпус, внутри которого расположен откаччвающнй элемент в виде сосуда с хлад- 5 агентом, защищенным от теплового излучения стенок корпуса экраном. В таких насосах откачиваемьш газ имеет доступ к участкам откачивающего элемента насоса, у которых более высокая температура, чем самая низкая 10 температура конденсирующей поверхности.

В результате, по мере понижения давления происходит перекачка газа, первоначально сконденсировавшегося на относительно теп- 15 лых поверхностях, на более холодные, что приводит к увеличению времени получения предельного вакуума насоса.

С целью сокрашения времени получения предельного вакуума в предлагаемом насосе 20 доступ газа к поверхностям, имеющим температуру, отличающуюся от самой низкой температуры откачивающей ловерхчости, ограничен путем уcTBHoBKH дчафрагMbI. В отверстие диафрагмы опущено днище откачиваю- яь щего элемента, причем расстояние между краями диафрагмы и поверхностью сосуда минимально. Диафрагма имеет тепловой контакт с охлаждаемым экраном, Таким образом, откачка газа ведется толь- 30 ко поверхностью днища сосуда, имеющей самую низкую температуру.

На чертеже показан предлагаемый насос, Насос содержит корпус 1 с патрубками 2 для присоединения насоса к реципиенту, В корпусе расположен сосуд 8 (заполняемый жидким газом), окруженный охлаждаемым экраном 4. Залив жидкого азота в полость экрана осуществляется через трубки 5. Доступ откачиваемого газа к относительно теплым поверхностям сосуда ограничен диафрагмой 6, Объем насоса откачивают вспомогательным насосом до давления (110 — тор, Затем через трубку 5 в полость экрана заливают жидкий азот и сосуд заполняют хладагентом, например жидким гелием.

Криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного жидким газом, например гелием, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, в зоне днища сосуда установлена с минимальным зазором кольцевая диафрагма, имеющая тепловой контакт с экраном, 392268

Составитель Н, Юшки

Редактор Ю. Агапова Техред Т. Ускова Корректоры Н. Стельмах и Л. Орлова

Заказ 6761 Изд. N 1804 Тираж 678, Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб„д. 4/5

Череповецкая городская типография