Устройство для получения покрытий из газовой фазы

 

О П И С А — Н -И-Е

396448

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ЛЪ—.Ч.Кл. С 23с 11/02

Заявлено 31.XI I.1970 (36 1606250/22-1) с присоединением заявки _#_0—

Государственный номнтет

Совета 1йнннстров СССР по делам нэаеретеннй н аткрытнй

Приоритет—

Опубликовано 29.VI I I.1973. Ьюллстень ¹ 36

Дата опубликования описания 17.1.1974

УДЕ, 621.793.06 (088,8) Авторы изобретения

Ю. С. Дементьев, А. M. Кравцов, В. И. Павлюченко, А. Г. Петрик, И. В. Поселянин, А. В. Салдаев, В. П. Токарев, Э. С. Фалькевич и Л. Я. Шварцман

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Известно устройство для получения покрытий из газовой фазы, содержащее цилиндрические камеры, установленные на одном столе н заключенные в общий кожух, яагреватели, пульт для подачи газа и пульт управления.

Предлагаемое устройство отличается от .известного тем, что нагреватели, расположенные внутри цилиндров камер зигзагообразно, параллельно их оси и ниже ее на 1/7 — 1/9 диаметра цилиндра, служат одновременно подставками для расположения подложек.

Это позволяет повысить к. п.д. устройства и обеспечить получение равномерных по толщине слоев поирытия.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство для получения покрытий из газовой фазы, общий вид; на фиг. 2 — камера, общий вид; на фиг. 3 — разрез по А — А на фиг. 2; на фиг. 4 — камера, вид сверху.

Устройство состоит из цилиндрических камер 1, уста новленых на одном столе 2 и заключенных в общий кожух 3, нагревателей 4, пульта 5 для лодачи газа и пульта управления б. Оси камер горизонтальны и параллельны друг другу, а нагреватели 4, расположенные внутри цилиндров камер 1, зигзатообразно, параллельно оси и ниже ее на 1/7 — 1/9 диаметра цилиндра, служат одновременно подставками для расположения подложек.

Камера 1 содержит цилнндричееый водоохлаждаемый корпус, открывающуюся водоохлаждаемую крышку 7, токовводы 8, нагреватели 4 сопротивления, изолирующие подставки 9 под подвижные концы нагревателей, газоподводящую трубку 10, газораспределительные трубки 11, смотровое окно 12.

При загрузке камеры открывают крышку 7.

Нагреватели -1 с находящимися на них подложками крепят токоподводящими концами к токовводам 8, а свободные концы их устанавлиэают на изолирующие подставки 9. После этого камеру закрыванхт крышкой, герметизи1з руют и производят продувку ее газом через газоподводящую трубку 10 и распределительные трубки 11. Затем с пульта управления производят подачу электропитания на нагреватели 4 и после достижения необходимой тем2ю пературы осуществляют подачу соединения ссютветствующнх материалов через газораспределительные трубки 11. При нагреве материал нагревателей расширяется, нагреватели удлиняются и скользят овободным концом 110

2З изолирующей подставке.

С помощью газо распределительных трубок реакционная смесь подается равномерно по длине камеры и конвективными лотокамн зо транспортируется к подложкам, которые на396448 ходятся Hà нагревате,1ях. С помощью конвективного масообмена концентрация ПГС по длине нагревателей усред няется. Контроль процесса производ п наолюдением через с toTровое окно 12.

Во время проведения,процеоса нацсссния слоя в одной камере производят вспомогательные операции в другой (установка нагревателей в камеру, герметизация камеры, продувка и т. д) .

По окончании процесса нанесения слоев в первой камере производят переключение,процесса нанесения слоев на вторую камеру; затем цикл повторяется.

П рсдмет изобретения

Устройство для получения покрытий из газовой фазы, содержащее цилиндрические камеры, установленные на одном столе и заключенные в общий кожух, нагреватели, пульт для подачи газа и пульт управления, отличающееся тем, что, с целью повышения к.п.д. устройства и обеспечения равномерных по

>о толщине слоев покрытий, нагреватели, расположенные внутри цилиндров камер зигзагообразно, параллельно их оси и ниже ее на

1/7 — 1/9 диаметра цилиндра, служат одновременно подставками для расположения подчо15 жек.

396448

Фиг 4

Составитель А. Смирнова

Техред А. Камышникова

Корректор Л. Орлова

Редактор E. Шепелева.Обл. тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли

Заказ 6508 Изд. № 1908 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К 35, Раушская наб., д. 4/5