Устройство для нанесения покрытий в вакууме

 

ОПИСАНИЕ

И ЗОБРЕТЕ Н И Я

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ

396450

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”. !1.1i.л С 23с 13!12

Заявлено ОЗ.V.1971 (№ 1653206/22-1) с нр?}соединен?!ем заяви}! №вЂ” Государственный ксмнтет

Совета Министров СССР по репам изосретений и открытий

Приоритет—

Оп .б }}}ковано 29.М11.1973. Бюллсте-ii ¹ 36

УД1 621.793.12.002.52 (088.8) Дата опубликования описания 17.1.1974

Авторы изобретения ф. В. Урьяш и С. H. Владимиров

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЬ1ТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения гокрытий в !важууме и может быть примене.in при производстве интегральных схем.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее дозатор, распо io- 5 женный над иопарителех}, выполненным в виде горизонтально расположенной пластины.

В таком устройстве ?не исключается влияние материала испарителя на состав покрытия.

Цель изобретения — и!сключен}}е этого вли- 1}}

5 } } 5! .

В предлагаемом устройстве для нанесен }я покрытий в вакууме иопаритель выполнен в виде двух подключенных к источнику высоковольт>ного напряжения пластин, смонтирован- 1 > пых верти!кальцо и образующих щель для пролета частиц, и снабжен емкостью для сбора

}}е}}о}}ар?}вшихся частиц.

На черте>ке представлено предлагаемое устройство. 20

Устройство состоит из дозатора I, располо>ке}нного над испар?}телек}, выполненным в виде двух подключенных к источнику 2 высоковольтного ?}апряжения пластин 8, смонтированных вертикально и образующих щель для пролета ча тиц, и снабженным емкостью4 для сбора }еиспарившихся частиц.

Устройство работает следующим образом.

После разогрева .пластин 8 к ним подводится знакоперемвнное напряжение от источника 2, и в вертикальной щели между пластинами образуется знакопеременное электрическое поле. Част?}ц!.! ?}спаряех}ых металлов, пролетая через щель, нагреваются до температуры испаре}ия и испаряются. Не успевшие ?испариться частицы пролетают MHìî пластин, не

}}спада?! на }их поверхность, и сооираются в емкост;! 4.

Устройство для нанесения покрытий в вакуу>}e, cogep>Ka}?}ee дозатор, pac}?o }o>} е?}}}ы?! над пспарителем, отличающееся тем, что, с целью ис}ключен?}я злияния материала ис}парителя на состав покрытия, испаритель выполнен в виде двух подключенных к источнику высоковольтного напряжения пластин, смонтированных вертикально и образующих щель для пролета частиц, и снабжен емкостью для сбора неиспа р ?}!В}п?}хс я частиц.

Составитель Л. Анисимова

Техред А. Камышиикова

Р.дактор Е. Шепелева

Корректор Л. Орлова

Обл. тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли

11каз 55О8 Изд. № 1908 Тираж 826 Подписав:.

11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5