Электронный микроскоп-анализатор

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублин

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 29.XI.1971 (№ 1718748/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ОЗ.Х.1973. Бюллетень № 39

Дата опубликования описания 14.II.1974

М. Кл. Н Olj 37/26

Гаоударотвенный комитет

Совета Инннотров азсср ао делам нзооретеннй и открытий

УДК 621.385.833 (088.8) Авторы изобретения П. П. Барзилович, Н. С. Пушкарь, В. А. Кобыляков, Т. П. Гладких, В. М. Яременко, В. Н. Капличный, Э. А. Шуляк, А. С. Капрельянц, А. А. Наконечный, Ю. А. Иткин, П. А. Павленко и А. А. Uy«aeaa

Харьковский институт усовершенствования врачей и Сумской завод электронных микроскопов

Заявители

ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП-АНАЛИЗАТОР

ПРОСВЕЧИВАЮЩЕГО ТИПА, НАПРИМЕР БИОЛОГИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ

Изобретение относится к электронным микроскопам просвечивающего типа с развертывающим лучом.

Известно использование электронных микроскоповв в качестве анализаторов. Такие электронные микроскопы-анализаторы содержат лреобразователи электронно-оптического изображения в электрические сигналы, например при помощи различных типов телевизионных передающих трубок.

Однако известные микроскопы-анализаторы имеют сравнительно низкую чувствительность и недостаточное разрешение.

Целью изобретения является повышение чувствительности и разрешения.

Для этого в качестве преобразователя электронно-оптического изображения в электрические сигналы использован сцинтиллятор с фотоэлектронным умножителем, раоположенные за неподвижной сканирующей диафрагмой по ходу электронного луча.

Изобретение отояснено чертежом.

На чертеже приведена блок-схема устройства.

Электронный микроскоп-анализатор содержит электронную пушку 1, анод 2, конденсатор 3, линзу 4 объектива,,промежуточную линзу 5 и диафрагму 6.

Между линзой 4 объектива и лромежуточной линзой 5 установлена отклоняющая система 7. Против отверстия 8 установлен сцинтиллятор 9, за которым расположен фотоэлектронный умножитель 10, выход которого через видеоусилитель 11 соединен с кинескопом 12, а через катодный повторитель 13 и интегрирующую цепочку 14 соединен с амплитудным анализатором 15 или с коррелятором. Генератор 16 медленных разверток соединен с отклоняющей системой 7 микроскопа

10 и разверткой кинескопа 12.

В колонне электронного микроскопа электронный луч из электронной, пушки 1, ускоренный анодом 2 и сфокусированный линзой 4, 15 попадает на объект 17.

Электронно-оптическое изображение исследуемого объекта 17 .при помощи отклоняющей системы 7 перемещается ло строкам и кадрам относительно диафрагмы 6. Благодаря

20 этому перемещению, производится сканирование электронного изображения по строкам и кадрам. Электроны, выходящие из диафрагмы 6 с энергией, определяемой ускоряющим напряжением микроскопа, попадают на сцин25 тиллятор 9 и вызывают вспышку, которая регистрируется фотоэлектронным умножителем (ФЭУ) 10. На выходе ФЭУ 10 получается поток импульсов, частота которых соответствует электронной плотности изображения

30 объекта.

399937

Затем сигнал поступает через катодный повторитель 13 на интегрирующую цепочку 14.

Затем непрерывный сигнал квантуется и с выхода интегрирующей цепочки 14 поступает на вход анализирующего устройства амплитудного анализатора 15 или коррелятора. При необходимости сигнал с выхода ФЭУ 10 подают на видеоусилитель 11 затем на модулятор кинескопа 12. Синхронность разверток кинескопа 12 и отклоняющей системы 7 микроскопа обеспечит получение изображения на телевизионном экране. В качестве датчика системы преобразования,применен сцинтилляционный счетчик, способный фиксировать плотности электронного потока порядка

10 — " — 10 " а/см, что обеспечивает высокую чувствительность прибора.

Система преобразования включает в себя следующие основные элементы: генератор 1б медленных разверток, отклоняющую систему

7, неподвижную диафрагму 6, сцинтилляционный счетчик (сцинтиллятор 9 в сочетании с фотоэлектронным умножителем 10).

Электронный микроскоп-анализатор,позволяет, кроме визуального и фотографического исследований, проводить машинный анализ структур по их статистическим характеристикам, в основу которого положен анализ сигнала (в анализаторе 15), полученного при сканировании электронно-оптического изображения на выходе системы преобразования.

Формирование сигнала, который подлежит обработке в амплитудном анализаторе, осуществляется следующим образом. Временное распределение импульсов,,полученное на выходе сцинтилляционного счетчика, несет информацию о пространственном распределении электронной плотности изображения исследуемого объекта (при сканировании,по строкам и кадрам электронно-оптического изображения).

5 В блоке 14 импульсы усиливаются, формируются триггером Шмидта, затем интегрируются и подаются в анализатор 15. В результате амплитудного анализа рассчитываются первые четыре момента функции распределе10 ния амплитуд: математическое ожидание

М„дисперсия — 0, асимметрия — 5к, эксцесс — Ех.

Эти параметры специфичны для каждой микроструктуры и дают возможность описа15 ния микроструктуры электронно-микроскопического изображения в аналитической форме.

Предмет изобретения

Электронный микроскоп-анализатор просвечивающего типа, например биологических объектов, содержащий электронно-оптическую систему, отклоняющую систему, обеспечиваю25 щую медленные развертки электронного луча по строкам и кадрам, диафрагму с регистрирующим устройством, включающим преобразователь электронно-оптического изображения в электрические сигналы, отличающийся тем, 50 что, с целью повышения чувствительности и разрешения электронного микроскопа-анализатора,:в качестве преобразователя электронно-оптического изображения в электрические сигналы использован сцинтиллятор с фото35 электронным умножителем, расположенные за неподвижной сканирующей диафрагмой по ходу электронного луча.

399937

Составитель И. Ратенберг

Техред Л. Богданова

Редактор А. Зииьковский

Корректор А. Васильева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 206/9 Изд. № 45 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Электронный микроскоп-анализатор Электронный микроскоп-анализатор Электронный микроскоп-анализатор 

 

Похожие патенты:

Ан ссср // 377922

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем
Наверх