Патент ссср 411038

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Совв Советское

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.Х.1971 (№ 1708593/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.1,1974. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 5Х1.1974

М. Кл. С Olh 33/18

Гасударственный камитет

Саввта Министров СССР аа делам иэабретений и аткрытий

УДК 621.382.002 (088.8) Авторы изобретения

В. В. Селин, А. Г. Петрик и В. И. Бакуменко

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКОВ И НАПЫЛЕННЫХ

ИЗДЕЛИЙ ИЗ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ

А

Изобретение относится к области химической технологии, причем получаемая двуокись кремния может найти применение как полировочный материал, в полупроводниковой технике, в технологии изготовления изделий из синтетического кварцевого стекла и т. д.

Известен способ получения порошков из двуокиси кремния методом парогазового гидролиза тетрахлорсилана. По этому способу пары тетрахлорсилана подают в пламя горелки, получаемое сжиганием в кислороде водорода илн водородсодержащего газа. Образующуюся в пламени двуокись кремния либо собирают в виде порошка, либо осаждают на вращающейся оправке. Однако указанный процесс характеризуется малой скоростью осаждения двуокиси кремния и не обеспечигает регулирования диспсрспости порошков и плотности напыленного слоя.

Для интенсификации процесса, получения более плотных пленок, а также регулирования дисперсности предлагается получать двуокись кремния сжиганием смеси паров трихлорсилана с водородом в кислороде.

По описываемому способу в центральный канал трехканальной горелки внешнего смешения подают смесь паров трихлорсилана с водородом, в средний канал — кислород и в наружнын канал — водород. Изменением количества водорода в парогазовой смеси можно в широких пределах регулировать температуру в зоне образования и осаждения двуокиси кремния. Наилучшие результаты полу чают при подаче в горелку смеси трихлорсилана и водорода при молярном отношении

31НС1 . Н, равном 0,04 — 0,5, н прн скорости

5 истечения смеси 20 — 100 м/сек. Для получения гомогенной смеси перед подачей в тарелку ее подогревают. Применение трихлорсилана в смеси с водородом позволяет резко увеличить скорость осаждения двуокиси

10 кремния прн напылении сс на оправки. Так, например, прн расходе трихлорсилана 50 г/м скорость осаждения равна 6,5 г, мнн, тогда как по известному способу (где используется четыреххлорнстый кремний) она равна лишь

15 3,5 г/мнн.

Пример, Получение н осажденне двуокиси кремния производят прн помощи трехканальной горелки внешнего смещения. 1 азмсры горелки: диаметр внутреннего канала

20 б мм; ширина зазоров среднего и наружного каналов 1,5 мм; длина каналов 100 м.а.

Расход реагентов следующий: трихлорсилана 40 — 50 г/мин; водорода с парогазовой смесью 0,5 — 5 нм " /час; водорода по наружно25 му каналу горелки 1,0 нм", час. Двуокись кремния осаждают на вращающуюся никелевую оправку. Скорость вращения оправки

120 об/мпн.

Изменение расхода водорода в предела.

30 0,5 5 нм,час приводит к увелнчснио температуры на поверхности осаждения с 500 до

1000 С. При этом плотность наныляемой дву411038

Составитель К. Усаторре

Корректор Л. Орлова

Редактор H. Корченко

Техред Е. Борисова

Заказ 1271i 7 Изд. № 1243 Тираж 537 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-Û5, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

3 окиси кремния изменяется с 0,15 до 0,9 г/см .

Скорость осаждения 6,0 г/мип. Все изделия имеют ровную гладкую поверхность. Вес напыленных изделий 100 — 200 г.

Предмет изобретения

Способ получения порошков и напыленных изделий из двуокиси кремния путем сжигания паров соединений кремния в токе кислорода, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и получения продукта с регулируемой дисперсностью и плот10 ностыо, сжиганию в кислороде подвергают смесь паров трихлорсилана с водородом при молярном отношении ЯНС1з. Ho=0 04 — 0,5 и при скорости подачи смеси 20 †1 м/сек.