Патент ссср 411171
1:
О П -H-C АН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
4III7I
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельств а ¹
Заявлено 17.1У.1971 (№ 1659373/22-1) 1Ч. Кл. С 23с 13/08 с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 15.1.1974. Бюллетень ¹ 2
Государственный комете.
Совета Министров СССР оа делам изобретений и открытий! I ДК 621 793 14 002 52 (088.8) Дата опубликования описания 8Лт.1974
Автор изобретения
A. Ю. Абеле
Заяв:1тель
Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ
Предмет изобретения
Изобретение относится к области вакуумных покрытий.
Известно шлюзовое устройство для вакуумных систем, содержащее корпус и затвор.
Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что затвор выполнен в виде чулкообразной диафрагмы из эла тичного материала и герметично уплотнен по периметру корпуса в местах фланцсвого соединения с вакуумной камерой, причем полость, образованная корпусом и затвором, соединена с пневмосистемой, а затвор зажат в крахних точках горизонтального диаметра зажимами, связанными с рычажной системой, имеющей общий привод с пневмосистсмой. Зто обеспечивает надежную работу устройства.
На фиг. 1 показано описываемое устройство в закрытом положении, поперечный разрез и разрез по А — А; на фиг. 2 — устройство в открытом положении, поперечньнi разрез и разрез по Б — Б.
Устройство включает корпус 1, внутри которого смо1 тирован затвор 2 в виде чулкообразпой диафрагмы из эластичного материала, герметично уплотненный по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной камерой 3. Полость, образов"*IIIaII «орпусом 1 и затвором 2, соединена с пнсвмосистемой. Затвор зажат в крайних точках горизон"ального диаметра зажимами 4, связанными с рычажной системой 5, имеющей общий привод с пневмосистемой.
Дл-. закрытия затвора в объем 6 корпуса через па-.рубок 7 (патрубок 8 закрыт) подается сжатыи воздух, сжимающий своим давление lI затвор 2; одновременно срабатывает рыча>кна",система 5,,заставляющая затвор заня;ь определенное положение и плотно перекрыть сечение корпуса.
Дл, открытия корпуса объем 6 через патрубок 8 (патрубок 7 закрыт) сообщается с вакуумнь1;1 насосом, и одновременно срабатывает рычажная система 5. Под действием упругих сил затвора 2 и направляющих действий рычажной систе vIbl 5 корпус открывается.
1. Шл1озовое устройство для вакуумных систем, содержащее корпус и затвор, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы, затвор выполнен в виде чулкообразной диафрагмы из эластичного материала и герметично уплотнен по IIepI»IcI py корпуса в местах фланцсвого соединения с вакуумной камерой, причем полость, образованная корпусом 11 затвором, осдннсна с ш1свмосистемой.
411171
Составитель А. Смирнова
Техред T. Курилко
Корректор О. Тюрина
Редактор Н. Корченко
Заказ 1104/7 Изд. № 1192 Тираж 875 Подписное
Ц1-1ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, %-35, Раушская наб„д. 4/5
Типография, нр. Сапунова, 2
2, Устройство по п. 1, отличающееся тем, что затвор зажат в крайних точках горизонтального диаметра зажимами, связанными с рычажной системой, имеющей общий привод с пневмосистемой.
