Голографический способ контроля оптичеких поверхностей

 

ОПИСАНЙЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИЛЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик э Ф ф -

;.«Ф)» (63) Лополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 2Я05,72(2l) 1792967/25-28 с присое1иинениеие заявки И(23) Приоритет (43) Опубликовано 2502..78,Ьюллетень № 7 (45) дата опубликования описания 50 И Г8

Гоцдйротееииыи комитет

Сияете Мияиотрои СССР иа делам кэобретеииб и открытии

1.1. 2.8э (72) вторы изобретения О.1 .карлин, A.Â.ëóêèí, к.с.мустафин и P.A Рафиков (7f) Заявитель (54) ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ

ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

1 /1

3! — — — + np (— — — ) (2 а) оя yi рк - i,g » g» ) Ь И вЂ” = — +„М вЂ” — —, (T)

1 1 1

R.- Rb 9c я

Изобретение относится к бесконтактным способам контроля оптических поверхностей и может быть применено в оптическом приборостроении.

Известен голографический способ контроля оптических поверхностей, преимущественно асферических,- заключающийся в преобразовании асферического волнового фронта от контролируемой поверхности в сферической или цилиндрический с помощью искусственной компенсационной голограммэ.

Предлагаемый способ отличается тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей и упрощения процесса синтезирования голограммы голограмму рассчитывают и изготавливают для света длиной волны пЛ, где п - целое число, восстанавливают ее светом длиной волны А в и -ом по- .р рядке дифракции. уравнение, связывающее расстояния от центра голограмэы до источника объектной волны Н, до источника референтной волны Я, до восстанав- 25 ливающего источника R и до изображения Я имеет вид

2 где ц--д Л, и Ль л света при голографировании и вос:T,l новлении .соответственно; верхний знак относится к мнимому, а нижний — дей— ствительному иэображению.

Коэффициент сферической аберрации при этом имеет вид

1 1 11

Другие аберрации не рассматриваютс.я, так как исключается случай косого освещения.

Иэ формул 1 и 2 видно, что при

Р = 1 и Р = М„ для мнимого иэображе" ния имеем + + и Д = О. и

Таким образом, для мнимого изображения сферическая аберрация равна нулю. В случае использования L --го порядка дифракции вместо формул 1 и 2 имеем ц (1 } (1 ) Теперь, если R = R и пр i, то для мнимого изображения R„Р, и коэффициент сферической аберрации

Pcn =

413374

Формула изобретения

Составитель. Н.Лобэова

Редакто О.Ю кова Тех ед Й.Андрейчук Корректор Е.Папп

Заказ 640/2 Тираж 702 Подпи сн ое

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и сткрытий

113035 Москва Ж-35 Ра ская наб. . 4 5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Это обстоятельство предлагается использовать для упрощения расчета и изготовления искусственных голограмм.

Из условия npi = 1 следует, что Л,=

- паь

Таким образом, если рассчитать и. 5 изготовить голограмму для длины волны ,аЛ, то при восстановлении светом длийой волны Д в и -ндм порядке дифракции получим неискаженную сигналь ную волну. При :ем, теперь как частота, J0 так и общее число. полос голограммы будут уменьшены в и раэ по сравнению со случаем, когда используется первый порядок дифракции. Как расчет, так и изготовление таких голограмм значительно проще.

Максимальное значение и., которое может быть использовано в устройствах реализующих предлагаемый способ, опре- деляется допустимым значением отноше.ния сигнал-шум. Следует, однако, отметить, что, .регулируя форму профиля штрихов при изготовлении искусственных голограмм, можно обеспечить удовлетворительные условия контроля и для случая и Ъ 5-10. Этого вполне,достаточно, чтобы обеспечить контроль грактически всех видов асферических поверхностей.

Голографический способ контроля оптических поверхностей, преимущественно асферических, заключающийся в преобразовании асферического волнового фронта от контролируемой поверхности в сферический или цилиндрический с помощью искусственной компенсациснной голограммы, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей и упрощения процесса синтезирования голограммы, голограмму рассчитывают и изготавливают для света длиной волны

nh., где n — целое число, восстанавливают ее светом длиной волны Jl. в и -ом порядке дифракции.