Устадовка ддясраек*«.п.<;)лупроводни:ковых.приборов

 

ОП:КСАН И 5И Зф БР ЕТЕ Н:И Я:

Союз . Садр ких оциали тимеских

Ррспфблик

4I5757

К AIJ СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61} Зависимое от авт. свидетельства— (22), Заявлено 31.03.72 (21) 1766258/26-25, (51) М,Кл. Н Ol! 7/68 с,присоединением заявки №вЂ”

Гооударст енный комктет, Совета Иеиотроа СССР,, ло делам изобретеай., и открытий . (32), Приоритет— (53) УДК 621.382(088.8) Опубликовано 15.02.74. Бюллетень № 6

Дата.опубликования описания 04.10.74., (72) Авторы изобретения ) ТБ

Г, П; Кузьмнчев, К. В. Лепетило и И. П. Янович (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДДЯ СДЩ Щ1;,П9ЛУПРОВОДН ИКОВЫХ. ПРИЗОРОВ.:

Изобретение относится к производству по;. лупроводйиковых приборов и может бйть ис-, пользовано на операциях беспроволочной сборки методом. группового присоединения интегральных схем с консольными (балочны-: мн) выводами к подложкам микросхем,. а также восстановления полупроводниковых приборов после группового присоединения.

Присоединение может осуществляться различными способами: термокомпрессионной или ультразвуковой сваркой; пайкой и др.

Известны установки, для сборки полупроводниковых приборов с балочными выводами, содержащие инструментальную головку, установленную на вертикальном, валу с возможностью осевого перемещения, оснащенную специальным инструментом. для одновременнбго присоединения многочислейных выводов активного элемента к подложке,. механизм нагружения инструмента и предметный. стол.

Для расширения технологических возможностей установки.и повышенйя. качества сборки полупроводниковых приборов,в предлагаемой установке инструментальная головка выполнена револьверной, размещенной в корпусе с расположенным. в.ней механйзмом нагруженйя, содержащим,, по меньшей. мере, два нагружателя„.одцн из..которых, служит для восприятия. собственного веса головки с жестко закрепленными,в ней держателями с рабочиI

2. ми инструментами и фиксации ее на рабочей позиции, а другой — для передачи через корпус и держатели требуемого технологического усилия на рабочие: инструменты. В;корпусе вы5 полнены отверстия для фиксации инструментов на рабочей позиции.

На чертеже показана описываемая установка.

Установка содержит в корпусе 1 пнстру1О ментальную головку с жестью закрепленными держателями 2 — 4, оснащенными специальными инструментами 5=-7 для группового присоединения выводов активного элемента, присоединения одиночных выводов и удаления

15 с подложки бракованной интегральной схемы,; с выводами, соответственно. Корпус 1 установлен на вертикальном валу 8 в шариковых цилиндрических направляющих 9. На валу 8; жестко закреплен механизм нагружения, ьклюоо чающий нагружатель 10, передающий усилие на каждый инструмент отдельно, и нагружа-; тель,,11:, предназначенный для восприятия соб--. ственного веса револьверной головки и фиксации инструментов на рабочеи позиции по отверстиям 12 в корпусе 1. Перемещение вала

8 с механизмом нагружения и корпусом револьверной головки осуществляется приводом, 18; содержащим шаговый двигатель.14 и.вин.товую пару. качения 15,- кинематически связ0 занные, между собой зубчатой передачей 16.

415757

Установка работает следующим образом.

При помощи оптической системь, состоя-. щей из микроскопа (проектора) 17 и" полу; прозрачного зеркала 18 с двумя отражающими гранями 19 и 20, оператор производит сов-.. мещение активного элемента, расположенного в прозрачной кассете 21, и контактных площадок подложки микросхемы, расположенной на .рабочем столе 22, относительно торца инструмента 5. После этого револьверная;головка.с и1нструментом 5 опускается на позицию захвата активного элемента из кассеты 21. Активный элемент при помощи вакуумного присоса

28 удерживается в не посредственной бл|изости к торцу,и нсгрумента 5. Дальнейшим оаус канием:зыводы активного элемента вводятся в соприкосновение с контактными площадками подложки и благодаря применен ию необходимых технологических режимов (давления, ультразвука и др.) осуществляется,присоединение, после чего револьверная головка совершает обратный ход в исходное положение.

При необходимости ..проведения операций удаления бракованных активных элементов или присоединения отдельных выводов нужный инструмент подводят на рабочую позицию и фиксируют нагружателем 11 по овверстиям 12, 4после чего определяют совмещение. Цикл перемещения револьверной головки повторяется.

Предмет изобретения

Установка для сборки полупроводниковых приборов,- содержащая- инструментальную головку установленную на вертикально .:валу с

10 возможностью осевого перемещення,, мвханизм нагружения инструмента, предметный стол, отличающаяся:тем, что, с целью расширения технологических возможностей установки и повышения качества -сборки полупровадника15;вых приборов, инструментальная головка выполнена револьверной, размещенной-в корпусе с расположенным в ней механизмом нагружения, содержащим, по меньшей мере, два нагружателя, один из которых служит для вос20 приятия собственного веса головки с жестко закрепленными в ней держателями с рабочими инструментами и фиксации ее на рабочей позиции, а другой — для передачи. через корпус и держатели требуемого технологического

25 усилия на рабочие инструменты, причем,в,корпусе выполнены отверстия для фиксации инструментов на рабочей позиции.

415757

Составитель Н. Островская

Редактор А. Пейсочеико Техред Т. Ускова Корректор А. Васильева

Загорская типография

Заказ 3069 Изд. ¹ 1301

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и

Москва, 5К-35, Раушская

Тираж 760 Подписное

Совета Министров СССР открытий наб., д. 4/5