Патент ссср 418748
,\
О П И С А Н И Е 418748
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советсеа
Социалистичесних
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 30.06.72 (№ 1803354/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.03.74. Бюллетень № 9
Дата опубликования описания 20.08.74 й1. Кл. б 01! 21,/00
Гасударственный комитет
Совета 1йнннстров СССР но долам изооретвннй . в открытий
УДК 531,788(088.8) Автор изобретения
В. К. Горшков
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЙ
Изобретение относится к опособам измерения низких давлений, например 10 — — 10 торр.
Известные способы измерения давлений в этом диапазоне не дают возможности замерять давление в любых точках вакуумной системы.
Предложенный способ свободен от этого недостатка. Сущность изобретения состоит в том, что в .вакуу.мный объем устанавливают и!редварителы1о облученное осколками деления тяжелых ядер:плоское сили!катное стекло. в момент измерения да вления с помощью электронагревателя стекло отжигают,при фиксиро ванпой тем перату ре, затем извлекают из вакуумного объема, травят в плави!ковой кислоте и по относительному уменьшению .размеров или числа кратеров, образова!вшихся от осколков деления на !поверхности стекла, судят о величине давления в вакуумном объеме.
Отжиг проводят при тем перату!ре 300 — 350 С.
Предварительное облучение детектора (плоского силикатного стекла) осуществляют,коллимированным пучочком ооколков деления (например, от твердого источника, содержащего деляющийся изотоп), падающим перпендикулярно поверхности детектора. В этом случае следы от осколков деления (кратеры) имеют к!руглую форму, и измерение размеров следо в сводится к измерению их диаметров. Облученные детекторы помещают на электронагреватели, которые устанавливают B тех точках вакуумной системы, где необходимо определить давление. После достижения соответствующего вакуума, в момент измерения давления в одной из указанных точек (или одновременно,в нескольких), проводят отжиг детектора (или детекторов) при одной и той жс температуре в течение определспного интервала времени. После этого детекто!ры извлекают
10 из вакуумного объема и вторично облучают (но в новой зоне поверхности детектора). Далее их травят в плавиковой кислоте. С помощью микроскопа измеряют величины диаметров кратеров и определяют средине пх
1 значения D, и D», соответствующие зонам предварительного и повторного облучения. Об относительной величине давления судят по
D, D =, а абсолютные значения давления оп 2
20 ределяют по D и градупровочной кривой зависимости D от давления Р, которую строят для тех же выбранных температуры н времени отжига детектора.
Если детекторы не:подвергаются повторно25 ну облучению, то травлепие их осущес1вляют в строго практических условиях, а о величине давления судят по средним значениях О!.
Предварительное облучение детекторов можно проводить О ско. к ам!! Де, 1е11ия, и а да!0!п11м I
30 под острыми углами к пх поверх!!осси. В са418748
Составитель О. Полев
Техред Е. Борисова
Редактор Т. Орловская
Корректор Л. Чуркина
Заказ 1771/13 Изд. № 551 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, -35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2.ком случае о величине давления судят 110 измеренному числу кратеров в облученных зонах детекторов.
Предмет изобретения
I. Способ измерения низких давлений преимущественно в области 10 — з — 10 торр, о тл ич а ю щ и и с,я тем, что, ic целью обеспсчения возможности измерения да вления,в л1обых
T0%KBx вакуумной системы, B BBKgvMHb1É объем устанавливают предварительно облучонное осколками деления тяжелых ядер плоское силикатное стекло, в момент измерения давления с,помощью электронагревателя стекло отжигают при фиксированной температуре, затем извлекают из вакуумного объема, травят в
5 плавиковой кислоте и lIlo относительному уменьшению размеров или числа кратеров, образовавшихся от осколков деления на,поверхности стекла, судят о величине давления в,вакуумном объеме.
10 2. Способ по п. 1, отл и ч а ю шийся тем, что стекло отжигают при температуре 300—
350 С.
