Патент ссср 417702

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

-о""-щиалистичеоои

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

М. Кл. Ci 01l 21. 34

Заявлено 26.VI1.1972 (М 1814595/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.11.1974. Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 10Х11.1974

Гасударственный квинтет

Ссввта е1нннстрсв СССР вв делви изссретеннй к сткрытнй

УДК 531.788.782 (088.8) Авторы изобретения

Г. А. Ничипорович и И. Ф. Ханина

Заявитель

HHBEPCHO-МАГНЕТРОННЫЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к области вакуумметрии, в частности к магнитным электрозарядным манометрам инверсно-магнетронного типа.

Известны инверсно-магнетронные манометры, электродная система которых содержит цилиндрический катод, закрытый с торцов крышками, и стержневой анод, размещенный по оси катода. Однако B таких манометрах невозможна очистка анода ионной бомбардировкой непосредственно,на вакуум ной установке.

При работе магнитных электроразрядных манометров в вакуумных установках, содержащих пары масел, электроды манометров покрываются пленками масел, продуктами их крекинга и полимеризации. Рабочие участки катода в процессе работы манометра очищаются под действием ионной бомбардировки, в то время как анод не очищается.

В результате наблюдается затрудненное зажигание разряда в манометре и изменение его чувствительности. Для восстановления характеристик манометра приходится снимать его с установки и проводить механическую или химическую очистку анода, поэтому конструкция манометра должна быть разборной.

Непосредственно на вакуумной установке очистка анода была бы возможна ионной бомбардировкой при переполюсовке электродов манометра. Однако в инверсно-магнетронном манометре при отрицательном потенциале анода относительно катода разряд не зажигается, так как электроны, попавшие в разряд5 ный промежуток манометра, не удерживаются в пем, а сразу уходят вдоль магни1ного поля, направленного по оси электродной системы, на то1хцовые крышки катода.

Цель изобретения — обеспечение возможно1Q сти очистки анода от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой.

Это достигается тем, что .манометр снабжен двумя или большим количеством шайб, размещенных на аноде в цилиндрической поло15 сти катода с зазором относительно друг друга.

В такой конструкции при отрицательном потенциале анода отпосп1ельно катода электроны, перемещаясь вдоль магнитного поля, 20 попадают в тормозящее электрическое поле анодных шайб и удерживаются в разрядном промежутке манометра. Благодаря этому создаются условия для зажигания и поддержания разряда, а, следовательно, для очистки

25 анода в области, расположенной между шайбами, ионной бомбардировкой.

На фиг. 1 показана электродная система манометра; на фиг. 2 — график зависимости

30 разрядного тока от давления.

117702

Фиг.1

Составитель О. Полев

Текред 3. Тараненко

Корректор В. Брыксина

Редактор T. Рыбалова

Заказ 1568/11 Изд. № 1314 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Электродная система манометра содержит катод 1 и анод 2. Катод представляет сооой цилиндр, закрытый с торцов крышками, анод — стержень, проходящий по оси катода через отверстия в торцовых крышках. На аноде в цилиндрической полости катода раз»ещены две шайбы 3 на равном расстоянии от торцовых крышек катода. Магпит11ос поле Н направлено вдоль оси электродов, Диаметр шайо и расстовние между ними выбирают из следующих соображений. Без шайб градуировочная характеристика манометра в нормальном режиме работы имеет вид, соответствующий кривой Л (фиг. 2), а разряд после переполюсовки электродов не зажигается. При наличии шайб градуировочпая характеристика в нормальном режиме принимает вид, соответствующий кривой Б, и разряд после переполюсовки зажигается при давлении Рь а зависимость его разрядного тока от давления иллюстрируется кривой В.

С увеличением диаметра шайб наклон градуировочной характеристики увеличивается (1оривая Б), а разряд после переполюсовки зажигается при более низких давлениях. Та. ким образом, с увеличением диаметра шайб ухудшаются градуировочные характеристики, но возможна очистка анода при меньших давлениях. С уменьшением расстояния между шайбами разряд прн переполюсовке электродов зажигается при более низких давлениях, однако очистке подвергаются меньшие участки анода. На градупровочную характсристику манометра в нормальном, режиме расстояние между шайбами влияет мало. Возможно размещение на аноде и большего коли.ества шайб.

5 В режиме измерения на анод подают поло>кительное относительно катода напряжение

Up, равное нескользким киловольтам. Для очистки анода ионный бомбардировкой периодически (периодичность определяется при

10 конкретных условиях эксплуатации) при давлениях, больших Р, (например, во время откачки вакуумной системы) на анод подают отрицательное относительно катода напряжение в несколько киловольт. Для упрощения

15 схемы питания целесообразно чтобы абсолютная величина этого напряжения была равна раоочему напряжению U„. Очистку анода в этом режиме проводят в течение нескольких минут, затем манометр включают в режим

20 измерения.

Предмет изобретения

Инверсно-магнетронный манометр, электродная система которого содержит цилинд25 рический катод, закрытый с торцов кры шками, и стержневой анод, размещенный по оси катода, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности очистки анода от диэлектрической пленки ионной бомбардиров30 кой, он снабжен двумя или большим количеством шайб, размещенных на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно друг друга.