Патент ссср 411334

 

4II334

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬРЕт ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 27.Xl l.1971 (№ 1729706/18-10) с присоеди(нением заявки. №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 15.!.1974. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 17Л .1974

М. Кл. 6 01l 21/34

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 531.788.732(088,8) Авторы изобретения

Л. Г. Берман, Е. Ф. Комаров, В. E. Королинский, Г. А, Ничипорович и И. Ф. Ханина

Заявитель

ВАКУУММЕТР

Изобретение предназначено для измерения низких давлений.

Известны магнитные электроразрядные вакууметры, содержащие магнитный электроразрядный манометрический датчик, разрядный ток которого является мерой давления, высоковольтный выпрямитель д(ля высоковольтного питания датчика, постоянное по величине балластное сопротивление в цепи высоковольтного питания и измеритель разрядного тока датчика.

Верхний предел давлений, измеряемых такими вакууметрами, ограничен тем, что в цепь высоковольтного питания датчика включено балластное сопротивление, которое ограничивает максимальный ток в цепи измерения величиной /о, не превышающей нескольких миллиампер. Это необходимо для исключения возможности перерастания разряда в дуговой, уменьшения катодного распыления, уменьшения мощности, выделяемой в манометре, и мощности источпика высокого напряжения.

Наличие балластного сопротивления приводит к тому, что с ростом давления разрядный ток перестает изменяться, когда его величина становится соизмеримой с током /о. В результате градуировочная характеристика вакуумметра, отражающая зависимость тока I в цепи измерения от давления, показывает, что верхний предел давлений, измеряемых вакуумметром, огр аничен.

Для расширения диапазона измерения в сторону более высоких давлений предлагаемый вакуумметр снабжен нелинейными сопротивлениями, например варисторами, включенными в анодную цепь датчика. Варисторы в отличие от постоянных сопротивлений имеют нелинейную вольт-амперную характеристику, 1О выражаемую следующим соотношением:

U = ЛИ где А и P — постоянные.

1s Значения постоянной р для различных типов варисторов лежит в пределах от 2 до 5.

На фиг. 1 показана блок-схема описываемого вакуумметра; на фиг. 2 — график зависимости тока в цепи измерения от давления P.

2о Цепочка варисторов подбирается так, чтобы падение напряжения на цепочке при токе /о было равно напряжению источника высоковольтного питания манометрического датчика.

Поэтому даже при коротком замыкании датчи25 ка ток в цепи измерения не превышает величину 1о. При понижении давления и уменьшении разрядного тока датчика величина падения напряжения на варисторах благодаря нелинейности их вольт-амперных характеристик будет уменьшаться медленнее, чем при посто3 янном балластном сопротивлении, Таким образом, напряжение на электродах датчика с уменьшением давления будет возрастать по более плавному закону, чем в случае постоянного балластного сопротивления, и градуирово шая характеристика принимает вид, соответствующий кривой 1!!;! фнг. 2. Верхнии предел измеряемых давлений Р„„ в этом случае сдвигается в сторону более высоких давле|шй по сравнению с Р„„ц (кривая II на фиг. 2).

На анод 1 магнитного электроразрядного датчика 2, в качестве которого можно использовать датчик пеннингского, инверсно-магнетронного типов, подается положительное высокое напряжение от высоковольтного выпрямителя 3 через балластное сопротивление 4 и варисторы 5.

Катод 6 датчика соединен со входом усилителя постоянного тока 7 и находится под нулевым потенциалом.

Варисторы могут быть включены как последовательно, так и параллельно. Типы варисторов 5 и схема их включения выбираются в соответствии с их вольт-амперными характери411334 с1иками àê, чтобы падение напряжения на суммарном балластном сопротивлении при токе I было равно напряжению высоковольтного выпрямителя 3.

Градуировочная характеристика вакуумметра с варисторами 5 представлена кривой 1 ьа фнг. 2; для сравнения прем,ставлена характеJ)!! cтll l

10 верхний предел давлений. измеряемых вакуумметром, ограничивается величиной Р„„п.

Предмет изобретения

15 Вакуумметр, содержащий магнитный электроразрядный манометрический датчик, высоковольтный выпрямитель, балластное сопротивление в анодной цепи датчика и измеритель разрядного тока, отличающийся тем, 20 что, с целью расширения диапазона измерения в сторону более высоких давлений, он снабжен нелинейными сопротивлениями, например варисторами. включенными в анодную цепь датика.

411334

1 пр.g: рпрф

Составитель О. Полев

Техред T. Ускова

Корректор А. Дзесова

Редактор И. Шубина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1121/14 Изд. № 1157 Тираж 750 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5