Инверсный магнетронный манометр
359 56I
ОП ИСАЙЙЕ
И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 20.Ч11.1971 (№ 1686795/18-10) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 21.XI.1972. Бюллетень № 35
Дата опубликования описания 15.XII.1972
М. Кл. С 011 21/34
Комитет оо делам изооретений и открытий оси Совете Министров
СССР
УДК 531.788.732 (088.8) Г. А. Ничипорович, Г. М. Смирнов и И. Ф. Ханина, t )-, -:."-, Дти :,. ",.. :11 л1д„
> qr с-". ъй
Авторы изобретения
Заявитель
ИНВЕРСНЫЙ МАГНЕТРОННЫЙ МАНОМЕТР
Изюбретеви е опнооится к области,вакуумомецрии, в частности IK MBIIIHHTHbliM элекпроРаЗРЯД НЫМ MBIHOMeTIPBM HiHIBePCIHO-МаГНЕтРОНного твпа.
Изаеспные внве рсные мапн етрюнные манометры, содержавцне нюлый цилиндрический катюд, закрытый с торцю в крышками, с центIp ал ын ы ми о пве р стиля ми, спержн ев о и анюд, р,азмещенный,по оюи катода, и магнезит, обла; дают рядом недоетатков.
Н и жвий gpieiJleл давлен ий, измеряемых магHIHITIHblMH эле кпро равряд ными MBIHoIMIeTgвMIH, опра н и чен труд нюстью iBQIBIHtHKIHQBeIHIHiK IH поддержания разряда при низких давлениях.
Для зажягBIHIH5I и пюдде1ржBIHIHiH разряда, а также для обесп еч ен и я,высокой чувствипельности нео бхюди мы б,ольш,и е размеры раа,рядно го и роме?кутка и большое анодное напряжение U х )2,5 кв, При,высоких давлениях для,исключения возмюж ности,lleIpeIpBIQTBIHIHH ра зряда IB дуговой, у меньшения катод1нопо раопылевия, а та КжЕ )i M ßÍ Ûloe ÍIHIß,I1 OÙ|Í O CTiH, В ЫДЕЛЯ ЕМЮИ В манометр е,,и мсицноспи,исто1чн ика питания а нодно|го на пря?кен ия в цепь а иода включается балласпню е соп рюпивление, которое огра ничивает то к:в цепи HBMepIeIHHi5I вел ичиной Уб,:не п ревышаюацей IHecl 5 чувствительность MBIHQMeTp а пр и высоких давлен иях была как можно меньше. Для этого нео бходимы небольшие,размеры раз ря11ногo,промежутка H MBJloie анод нюх IHBIIip51?Кенее U А (2, 5 кв, чтю противоресит условиям, 10 iHeoi5xoI3!HMbIM для измерения ни эких да влен и й. Поэтому iHH?KIHiHЙ и редел да вл ен ий, измеря емых ма номет рами, пр едназ на ченным и для измерения высоких да влений, ле жит в облас1.= т11 10 — — 1:0- мм. рт. ст. II(pIH измер ени и в более ш и роком д иапаз.оее давлений иер еклкхча ют режим а нюд нюго пи1таяи я (высокое напря?кевине при низких давленяях, малое нап ряже н1ие прои высоких давлениях) ил и созда2о ют конструкции с двумя р,аз р яднымт1 промежутками большего и MåIíbiøåIco размера. Это услю?к ня ет <блок?с пи тавия, п р иводит к,оши бкам и зме1ре ния из-за,пер ехюд ных процессоров ,при переключен и и р ежи мов,питания, затруд95 няет п римене ние таких мано метрюв в автомат изHpoIBBIHHblx вакуумных cIHIclTeIMBx, усло?княет конструкцию манюметра, делает невосп рюизводимыми его ха ракте р исти1с?1,,после разююрки и сборки эл ект роднюй системы из-за Зо трудности фиксациями элекпродов отноаи тель359561 йо друг друга и OIIHOCIHneJIBIHO м апн и1пного поля. Для расапи рен ия ра бочего диапазояа измеряемых дaIBJICHIHH, повыш,анния точяост и,и упро щен ия,конструкциями в п р едлаваемом ияверсном мапнепровнам ма нометр е катод выполнен в ваде пол ого цили ндрическо го магнита, а к рышии — в виде полюс ных яакояе чiHIHIMolB из мапн итомягкого мапе рвала:и об разуют;вместе,мапнигпную оиспему MBIHометра, Капод для исключ ен и я утечек между BIHioдом IH катодом мо жет быть изолиро ва|н от корпуса маяоме|тра. На фиг. 1:изображена схема мано мепра; па ф и г. 2 — график зависимости разрядного тока 1 от давления P. Элекпр|одяая си спема ма1наметра содержит катод 1 и BIHtop 2. Капстад 1 представляет с о!бой полый цил и нд р и чесиий .мапнит, .выполвеяный, например, из сплава ЮНД.К вЂ” 24Т2, закрытый с то рцо|в полюсными |наконечниками 8,,и зготовленяымя из ма пнитомяпкого ма1теркала, например, из сплава «atpMHo». Полюоные яаzoIHewIHtHH 8 удерж иваются на мапн и те (катоде 1) мапн ипяым п р ипя жением iH могут cIHHматься с IMBIIHIHITB,. Анод 2 представляет Go бой стержень, проходящий iso оси,катода 1 через опверспия,в полюаных IHaко нечниках 8 катода. Для пр и соед и нен|и я к IBBK) мному объему. элекпроды cMIQIHпироBaiHbI IHB .фланце 4, имеют ем д ва ввода IHB IHIBOJItKTо рах 5. OgllHIH из вводов явля ется otIIHQBfpeMCJHIHto спе ржяевьгм а нодом 2, другой ввод б служи т вводом катода .1,и соед иня епся с кольцом 7, к копо!рояу с помо|щью кожуха 8 крепится катод 1. Для допол н итель но го кр|епл е ни я коль4 ца 7 мо гу т,быть использ о ва ны до полниаельяые изоля по ры 9 с I.JIyJIIHIMIH яо жкам и 10. Ра боч и и режим раба ты маяомет ра может быть сл едую щим: tHatIIpHImeIHIHte яа а иоде 0л =2,5 кв; ,катод, соедия е н ный с уоил ител ем поетояя ного тока, наход ится под нулевым потенциал ом; н а п р яжен но сть мапни пяопо поля 1р Н = 106Оэ. Под д ейптввем перееека ющ ихся мапнипного и элекпринеекого,полей iB маяометр е воз н1ика еп га зовый разряд. По в ели чи не разрядво|го тока судят о давлея и и газа (см. фиг, 2) . Иа нометр мажино легко разо б р ать для чести и 3JIteIKò ptoäîB. Для этОпО сн имаЮт кожух 8, а полюс ные на кон еч ники 8 отсоедияяютоя от цилинд р ического ма гни та. Пр и, обо рке элекпродов положен и е катода 1 отн осителыно а иода 2 ф и коиpvetTtcH с помощью посадоч нопо MtetcTB яа кольце 7 П р ед м ет из о б рет ея ия HIHBIepQHbIH магяетро нный ма номепр, содержапци и цили ндр и чесиий катод, закрытый с то р|цо в крышка ми с:цен тральн nMiH о1пверстиями, и сщрж н е вой BIHод, ра змецценный .по оси ЗО кагпода, отличающийся тем, что, с целью расш и р е ния,ра бочего д иапазо|на повышения точност и |и упрощения конспрукц ии, в нем ка тод выпол н ен в IBIHlpte полого ц илиядри ч еского мапни па, а крышки — B вИдЕ ПОлЮаиых накОз5 нечн иков из MBIItHIHmtMtarHtoIO мапмр иала и с бразуют вместе MBIDHипную сиспему ма но метра. 3, 10 10 10 10 10 10 10 N Составитель О. Полев Редактор С. Хейфиц Техред Л. Богданова Корректоры Л. Чуркина и Е. Михеева Заказ 5665 Изд. № 1774 Тираж 406 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5 Загорская типография
