Станок для шлифования плоских поверхностей
() 42I476
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 28.0?.72 (21) 1817265 29-33 (51) М. Кл. В 24b 21 04
В 24Ь 7/22 с присоединением заявки X—
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (32) Приоритет—
Опубликовано 30.03.74. Бюллетень ¹ 12
1(ятя опубликования описания 20.1!.74 (53) УДК 679.8.052 (088.8) (72) Л вторы и з о б 1) с т (. н н; !
Д, И. Рыжков, В. С. Тюнин, В. С. Панфилов и А. П. Кураев (71) 3 а я!)и Тел!
ПТ (54) СТАНОК ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ ПЛОСКИХ l108EPXHOCTEA
Изобретение относится к области станкостроения и предназначается для шлифования нластинчатых твердых материалов, например пластин кремния, германия и др.
Известны станки для шлифования листовых и плоских заготовок из различных тверДЬ)Х Ы(1ТЕРИ ЯЛОВ, СОДЕРЖЯЩИС 13ЕРТНК!IЛЬН1>!й пшиндель со шлифовальным инструментом, Н)ЛИфОР>ЯЛЬН>> 10 Г07ОВК>), )И(ДИКЯТОР il 3 70 >I0llты приводя.
Однако Р, известных станках отсу гствует 1>> Ветт)ИТС.71>ПОСТ!> П()ДЯ П1 К ВОЗР!1(Т!!10!ЦЕМ>> усилию резания 13 процессе зятуплсния инструмента.
Это приводит к возникновению вибрации системы станок — деталь — инструмент, снижению чистоты поверхности и точности обработки, повышению глубины нарушенштго слоя, скОлям и полом! .Ям оорабатывяемых изде лий.
Цель изобретения — повышение качества и производительности обработки за счет увеill>I0НИЯ >!УРСТ13ИТ0..1Ь!1Ост!! ПОДЯЧИ К 3, CÈ 7ÈIO резания и повьппения виброустойчивости ишинделя шлифова1ьной головки.
Цель достигается тем, что корпус шлифовального шпинделя через резьбовой хвостовик связан с гайкой-нониусом, взаимодействующей через упорньш подшипник с ходовой парой винт-ганка, обеспечивающей быструю
li точную настройку алмазного круга со шпинделем, связанным с двуплечим рычагом, сн()б)женным устройством для гашения колебаний рычага If контактирующим со штоком индн5 I clTopB в процессе обработки заготовок., )„711 устранения осевых колебаний ншинделя 110
Ого консоги ной чясгн усT 11!1 черте)ке нзобряж01! Опи(.! IВВС»(ьнl стя 10 нок. С1 я но! Содсржи Г П1 7 и (1)ОВЯ1ы11>lй 1п пи идель 1, расположенный в корпусе 2, который > (1 Н 013 1CII Г> ПОДI)СИIСННОМ СОСТОЯНИИ 11;l Р(>ЗЬ()0 гайки-нониуся ), обеспечивающей пода>1) ! 5 кор уса 2 со шшшделем 1 до контякTIIpol)BI»III алм".зного круга -1 с заготовкой. Быстрый подъем и опускание корпуса со шпинделем 1 осуществляется при помощи винта 5 и комбинированной гайки б, взаимодсй2О ствующей с гайкой-нониусом 8 через упорный подшипник 7. Корпус 2 шпинделя 1 размещается во втулке 8, копцентрично с которой установлен упор 9. Величина объема материала измеряет25 ся микронным индикатором 10, шток которо10 I .OIITBI(TIIp > 0T В Ilp0110CC0 Ооработки заl ОТОвок с плечом рычага 11, закрепленного ня корпусе 2. Для гашения колебаний рычага испо II 3)ЗО ется устройст)30, Выполненное в ьнде полого 3 виггга 12 с винтовой пружгшой И, усыновленной il полости соосно с упором 14. Упор 14 проходит через отверстие втулки 15, выполненной из материала, поглощающего энергию колебггггггй 1) ыч ага 1 и lE poIEc F c Оора ботки за г отовок. Для гашения осевых колебаний шпинделя 1 используется виброгаснтель, установленньш на консольной части корпуса 2, на резиновой прокладке 16 и вьшолнeííûé в виде ,7Eloг:а 17, EE E Станок работает следующим образом. Прн движении гайки б по виггту б весь узел ншннделя 1 под действием собственного веса Опускается. С помощью гайки-нопнуса 8 производят подачу шпинделя 1 до контактировання алмазного круга 4 с заготовкой. Когда алмазный круг 4 находится в соприкосновении со шлифуемымн пластинами, закреплен iiIII на столике, п упирается в них, тогда при повороте гайки-ноннуса 3 на 0,01 — 0,2 .гг,1г шпиндель 1 остается неподвижен, а гайка 8 совмещается вверх на величину заданной iio;I,à Iè. Давление на шлифуемыс пластины равно весу узла шпинделя. Так как подача инструмента осуществляется в процессе работы станка, то в первоначальный момент подачи, например, на 0,01 ллг, алмазньш круг 4 давит на пластины с силой веса шпинделя 1. По мере снятия слоя материала на заданlIi Io величину подачи aëìàçíûé круг 4 со шпинделем 1 постепенно опускается до упора 9. При этом давление инструмента на пластины постепенно снижается до нуля. Постепенное снижение давления инструмента на шлпфуемые пластины умеш шает глубину нарушенного слоя на пластинах, гго осооенно 4 обработке нолупроводниковы." важно нрн материалов. Предлагаемое конструктивное решение шлнфовальной головки с использованием гантелей колебаний позволяет получать плалины полхцрокодггнковых материалов с чистотой новерхносги 11 — 12 к,тассов. Пред»cò изобретения 10! . CT 1IIoK длЯ Ill. IEiôoÂßнггЯ ii Eoodèõ (lo верхио, н;шрнмер подложек полупроводниковых материалов, содержащгш вертикальный шпиндель o шлифовальным инструменг5 том, шлифовальную головку, иггдикатор для измерения величины снимаемого слоя и элементы привода, OT.ãè÷à>olëlèéñÿ тем, что, с целью повьпнения качества и производительности обработки, корпус шлифовального 20 ншинделя через резьбовой хвостовик связан с гайкой-нониусом, взаимодействующей через упорный подшипник с ходовои парой вшгггайка и с двуплечим рычагом, снабженным устройством для гашения собственных коле25 бггяш и контактирующим со штоком индикатора в процессе обработки подложек, а на консольной части корпуса шпинделя устаног; лен гаситель его осевых колебании. 2. Станок по и. 1, от.ггл гаюгцийся тем, что, 30 гаситель осевых колебаний шпинделя выполнен в виде диска, в кольцевой концентриче. ской канавке которого свободно ориентированы инерционные элементы в форме шарикоF, 3. C iàíoê»o пп. 1, 2, or ггл галогллглглся тем, ;5 что устройство для гашения колебагпш рычага выполнено в виде полого винта, ввертываемого в корпус сташ и и воздействующего через винтовую пружггну, расположенную соосно и полости, на упор, проходящий через аО втулку и контактирующий с плечом рычага, взаимодействующим со штоком индикатора. 421476 Редактор А. Купрвкова Корректор О. Тюрина Заказ 4419 Изд. № 1433 Тираж 875 Подписное LIHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва., Ж-35, Раушская иаб., д. 4, 5 МОТ, Загорский цех Составитель В. Сгиыслов Текред Т. Курилко /4 /8 
