Гониометрическое устройствоmf? ил

 

())) 425243

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 24.11.71 (21) 1717411/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.04.74. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 26.09.74 (51) М. Кл. H Olj 37/26

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретениЯ и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения П. П. Барзилович, В. Л. Костроменко, Э. А. Шуляк, В. М. Яременко

В. Н. Капличный, В. К. Кононенко, И. С. Лялько и В. С. Гурин (71) Заявитель (54) ГОНИОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к электронно-микроскопической и электронно-графической àïïàратуре.

Известно гониометрическое устройство, содержащее корпус, установленный неподвижно на столике объектов, который снабжен осями в нижней своей части. Относительно осей производится наклон промежуточного корпуса при помощи приводного механизма. В промежуточном корпусе размещается третий корпус с держателем ооъекта так, что он может вращаться в промежуточном корпусе при помощи второго приводного механизма.

Однако известное устройство имеет недостаточно большой угол наклона объектов при большом размере канала полюсного наконечника; увеличение размера канала полюсного наконечника приводит к ухудшению разрешающей способности электронного микроскопа; сложное по конструкции и в изготовлении, так как содержит зубчатые и червячные передачи, посадки движения и другие сопряжения, надежная работа которых в гониометрическом устройст|ве возможно при отсутствии люфтов; затруднительное управление устройством в работе вследствие того, что угол наклона объекта осуществляется не только наклоном промежуточного корпуса, но и поворотом держателя объекта относительно оси, проходящей через центр объекта; оператор должен работать не только с рукоятками, управляющими работой гониометрического устройства, но и с рукоятками привода столика объектов.

Целью изобретения является упрощение конструкции устройства и увеличение угла наклона держателя объекта.

Для этого устройство снабжено двумя эксцентриками, закрепленными на приводном валу так, что их эксцентриситеты развернуты

10 один относительно другого на угол, равный

90, а оси эксцентриков пересекаются с осью приводного вала, кинематически связанного с приводом вращения и осевого перемещения, при этом на рабочие поверхности эксцентри15 ков опираются толкатели, выполненные с возможностью перемещения в направлении, параллельном электронному лучу, имеющие контакты с держателем объекта в отдельных точках, а держатель объекта соединен с непо20 движным корпусом карданным сочленением.

Изобретение пояснено чертежами, На фиг. 1 приведена конструкция гониометрического устройства в разрезе; на фиг. 2— то же, вид А; на фиг. 3 — конструкция кар25 данного сочленения между держателем объекта и неподвижным корпусом, à также точки контакта держателя объекта с толкателямп при помощи игл; на фиг. 4 — разрезы  — В и à — Г показывают разворот эксцентрисите30 тов обоих эксцентриков между собой, а на

425243

65 ьиде Д показан профиль хвостовиков, которымн толкатели опираются на рабочие поверхности эксцентриков.

Гониометрическое устройс гво содержит объективную линзу 1, полюсный наконечник 2, каретку 3 столика ооъектов, установочное кольцо 4, ограничительное кольцо 5, шарик 6, подпятник 7, приводной вал 8, штифт 9, подпятники 10, 11, корпус 12, мостик 13, держатель 14 объекта, объект 15, оси 16, 17, промежуточное кольцо 18, подпятники 19, 20, иглу

21, пружину 22. толкатель 23, пружину 24, разрезное кольцо 25, эксцентрик 26, толкатель

27, иглу 28, хвостовик 29, подпятники 30, 31, поворотную планку 32, хвостовик 33 (см. фиг. 2), иглу 34, эксцентрик 35, толкатель 36, подпятник 37 (см. фиг, 3), хвостовик (конец)

38 (см. фиг. 4), подпятник 39 (см, фиг. 3), оси 40, 41, рычаг привода 42 (см фиг. 2), иглу привода 43, штифты 44, 45, палец 46, пружину 47, опору 48, толкатсль 49, пружину

50, стержень 51, шарик 52.

В объективной линзе 1 с установленным в ней полюсным наконечником 2 размещена каретка 3 столика объектов при помощи установочного кольца 4, ограничительных колец

5, шариков 6 и подпятников 7. Пружины 47, расположенные между кареткой 3 и пальцами 46, закрепленными на объективной линзе 1, поджимают каретку 3 к линзе 1. Рычаг привода 42 и игла 43 (см, фиг. 2) служат для перемещения каретки 3 относительно ооъективной линзы 1.

Корпус 12 патрона гониометрического устройства установлен в конусной части мостика 13, который неподвижно закреплсн на каретке 3. Нижняя часть корпуса 12 размещена в канале полюсного након- 11IHKB 2, Держатель

14 объекта с объектом 15 соединен карданным сочленением с корпусом 12 при помощи осей 16 и 17 промежуточного кольца 18, подпятников 19 и 20, осей 40 и 41, а также подпятников 37 и 39, Разрезное кольцо 25 служит для крепления обскта 15 к держателю 14 объекта.

Толкатели 27 и 36, находящиеся в контакте с держателем 14 объекта при помощи игл 28 и 34, а также подпятников 30 и 31 могут перемещаться поступательно в отверстиях корпуса 12 и предохраняются от проворота планкой 32, закрепленной на корпусе 12. Размещение подпятников 30 в держателе 14 объекта предусмотрено таким образом, чтобы между точками контактов подпятников 30 с иглами 28 и 34 и центром наклона держателя объекта был угол, равный 90, Хвостовикн 29 и 33, неподвижно установленные на толкателях, опираются па эксцентрики 26 и 35 и прижимаются к ним пружинами 24, причем опирающиеся на эксцентрики концы хвостовиков 38, имеют клинообразную форму с целью обеспечения контактов между хвостовиками и эксцентриками по окружно5

15

20 стям, перпендикулярным оси вращения эксцентриков в любом рабочем положении последних. Геометрическая форма эксцентриков

26 и 35 предусмотрена такой, что по всей длине эксцентриков их рабочие поверхности в плоскостях, перпендикулярных оси приводного вала, состояли из окружностей, расположенных эксцентрично относительно оси приводного вала. При этом эксцентриситеты этих окружностей изменяются от нуля до некоторой наибольшей величины за счет того, что оси рабочих поверхностей эксцентриков пересекаются с осью приводного вала, Толкатель 23, подпружиненный пружиной

22, контактирует с держателем 14 объекта посредством иглы 21, а также подпятников 10 и 11, прижимая держатель 14 объекта к толкателям 27 и 36 через иглы 28 и 34 в любом рабочем положении держателя 14 объекта.

Штифты 44 и 45 служат для установки патрона в мостик и его удаления при помощи манипулятора в процессе смены изучаемых объектов.

Штифт 9, установленный в корпусе 12, служит для фиксации требуемого положения патрона в процессе его переустановки.

Приводной вал 8, на котором жестко установлены эксцентрики 26 и 35, смонтированный в каретке 3 и опоре 48, соединен с приводом, который позволяет производить прецессию объекта, При этом эксцентрики так установлены на приводном валу, что их эксцентриситеты перпендикулярны между собой. Толкатель 49, соединенный с приводом для наклона ооъекта, позволяет производить поступательное перемещение приводного вала с эксцентриками.

Пружина 50 служит для подпружинивания приводного вала к толкателю 49 через стержень 51 и шарик 52.

Гониометрическое устройство работает следующим образом.

При включении привода, совершающего прецессию объекта, начинает вращаться приводной вал 8 с эксцентриками 26 и 35. Находящиеся в контакте с эксцентриками хвостовики 29 и 33, а также неподвижно с ними соединенные толкатели 27 и 36, получают перемещения, которые изменяются по закону синуса, причем перемещения обоих толкателей сдвинуты между собой по фазе на 90 .

В процессе своих перемещений толкатели

27 и 36 наклоняют держатель 14 объекта с объектом 15 на угол, определяемый эксцентриситетом рабочих окружностей, а направление — углом, на который повернулся приводной вал с эксцентриками, Таким образом, в процессе поворота вала происходит прецессия объекта. Во время прецессии держатель 14 объекта все время поджимается к толкателям

27 и 36 через иглы 28 и 34 при помощи толкатсля 23 с пружиной 22.

425243

Хвостовики 29 и ЗЗ также под>кимаются к эксцентрикам 2б и 35 пружинами 24. Таким образом, практически не возникает осевых люфтов между эксцентриками 2б и 35 и держателем объекта 14, соединенными между собой толкатслями 27 и Зб с хвостовиками 29 и 33, а также иглами 28 и 34. Радиальные же люфты во всех этих звеньях в работе практически не участвуют и поэтому на точности работы гониомстрического устройства не отражаются.

При включении привода для наклона объекта начинает вращаться толкатель 49. При этом отжимается приводной вал 8, а эксцентрики 2б и 35 пере..1ещаются относительно хвостовиков 29 и 33. Зкспентриситст рабочих окружностей эксцентриков 2б и 35 изменяется, вследствие чего изменяется угол наклона держателя 14 объекта с объектом 15 до требуемой величины. Включение любого из приводов не отражается на работе второго привода, Предмет изобретения

Гониометрическое устройство, содержащее корпус с держателем ооъекта и приводные механизмы, отличающееся тем, что, с целью упрощения el.o конструкции и увеличения угла наклона держателя ооъскта, оно снабжено двумя эксцентриками, закрепленными на приводном валу так, что их экспснтриситсты раз10 вернуты один относительно другого на угол, равный 90, а ос» эксцентриков пересекаются с осью приводного вала, кинематически связанного с приводом вращения и осевого перемещения, при этом на рабочие поверхности

15 эксцентриков опира1отся толкатели, выполненные с возмо>кност1ио перемещения в направлении, параллельном электронному Jl> 1у, имеющие контакты с держателем объекта в отдельшях точках, а держатель объекта соеди20 нен с неподви>кным кори,.сом карданным сочленением, 425243

Составитель И. Ратенберг

Редактор А. Зиньковский Техред Е. Борисова Корректор А. Дзесова

Заказ 2653/15 Изд, № 741 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2